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radiator maskとは 意味・読み方・使い方
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The test is conducted by using a tester having a test mask and an radiator to emit light and an objective lens to observe the test mask and a reference grid provided in a pattern observing area of the test mask.例文帳に追加
テストマスクと、テストマスクの、パターンを観察する領域に、光を照射する照射手段と、テストマスクを観察するための対物レンズと、基準格子と、観察手段とを備える検査装置を用いて、検査を行う。 - 特許庁
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