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意味・対訳 リパルピング; リパルプ
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該当件数 : 1件
The manufacturing process of the polymer compound for photoresists for immersion exposure comprises precipitating, using an organic solvent, a polymer containing a monomer unit having a group part of which is eliminated with an acid to show alkaline solubility and re-precipitating, rinsing or re-pulping it using an aqueous solvent.例文帳に追加
液浸露光用フォトレジスト用高分子化合物の製造法は、酸によりその一部が脱離してアルカリ可溶性機能を発現する基を有するモノマー単位を含むポリマーを有機溶媒による沈殿に付した後、さらに水性溶媒による再沈殿、リンス又はリパルプ操作に付すことを特徴とする。 - 特許庁
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