replace sbとは 意味・読み方・使い方

A semiconductor substrate SB having an interlayer insulating film 3 formed thereon is accommodated in a chamber, and a large quantity of a nitrogen gas is introduced into the chamber to purge air or the like in the chamber and to replace an atmospheric gas in the chamber with a nitrogen gas.例文帳に追加

層間絶縁膜３を形成した状態の半導体基板ＳＢをチャンバー内に収容し、大量の窒素ガスをチャンバー内に導入してチャンバー内の空気等をパージし、チャンバー内の雰囲気ガスを窒素ガスに置換する。 - 特許庁