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By re-irradiating a part 116, where a first direction and a second direction of the surface of the to-be-cleaved substrate are crossed, with a laser beam, the part of the scribing region where the first direction and the second direction are crossed is rewelded.例文帳に追加
被割断基板の表面の第１の方向と第２の方向とが交差した部分１１６にレーザビームに再照射し、第１の方向と第２の方向とが交差したスクライブ領域部分を再溶着する。 - 特許庁
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