sample size dependenceとは 意味・読み方・使い方

To solve the problem, wherein when the resolution of a scanning electron microscope is monitored, preparation of a sample and employment of measurement algorithm capable of reducing the pattern dependence of resolution index value to be measured is required for accurately measuring the change in the size of electron beam.例文帳に追加

走査電子顕微鏡の分解能をモニタする場合，計測する分解能指標値のパターン依存性を低減できるようなサンプルの準備と計測アルゴリズムの採用が，電子ビームサイズの変化を高精度に計測するために必要である。 - 特許庁