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The wafer dicing method with the dicing jig that divides wafer 1 stuck on sheet 3 along a scheduled break apart line 2 with lattice-like shape makes the upper surface of dicing jig 10 contact and glide on the undersurface of a sheet 3 while locally carrying out vacuum suction of the sheet 3 by vacuum suction mouth 13 formed in the upper surface on the straight line.例文帳に追加
シート３に貼着されたウェーハ１を格子状の割断予定線２に沿って分割するウェーハ分割方法、分割治具で、シート３の下面に分割治具１０の上面を摺動させ、上面に一直線上に形成した真空吸引口１３でシート３を局部的に真空吸引する。 - 特許庁
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