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single catalysisとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 単一触媒
「single catalysis」の部分一致の例文検索結果
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Activated hydrogen, such as hydrogen radicals and hydrogen ions, is formed by a plasma method or a catalysis method, and the contaminants containing the single bond of carbon in a gate insulating film are gasified for removal by the activated hydrogen.例文帳に追加
水素ラジカルや水素イオンなどの活性化した水素を、プラズマ法または触媒法によって形成し、その活性化した水素によってゲート絶縁膜中の炭素の一重結合を含む汚染物をガス化して除去する。 - 特許庁
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