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When the substrate W is transferred from the holding member 52 to the holding member 200, the holding member 52 descends toward the holding member 200 so that the substrate W soft lands on the supporting part 201.例文帳に追加
保持部材５２から保持部材２０１へ基板Ｗを移載する際は、保持部材５２が保持部材２０１に向かって下降する事により、基板Ｗを支持部材２０１に軟着下させる。 - 特許庁
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