sunflower stateとは 意味・読み方・使い方

In the pattern forming method by immersion lithography, a resist film 102 is formed on a wafer 101, and then pattern exposure is performed by selectively irradiating the resist film 102 with exposure light 104 in a state where a liquid 103 including sunflower oil or olive oil containing an unsaturated fatty acid, for example, an oleic acid, is disposed on the formed resist film 102.例文帳に追加

液浸リソグラフィによるパターン形成方法は、ウエハ１０１の上にレジスト膜１０２を形成し、続いて、形成されたレジスト膜１０２の上に不飽和脂肪酸、例えばオレイン酸を含むひまわり油又はオリーブ油等を含む液体１０３を配した状態で、レジスト膜１０２に対して露光光１０４を選択的に照射することによりパターン露光を行なう。 - 特許庁

This pattern forming method by immersion lithography forms a resist film 102 form on a wafer 101, and then pattern exposure is performed by selectively irradiating the resist film 102 with exposure light 104 in a state that liquid 103 is disposed on the formed resist film 102, which includes sunflower oil or olive oil including an unsaturated fatty acid, for example, an oleic acid.例文帳に追加

液浸リソグラフィによるパターン形成方法は、ウエハ１０１の上にレジスト膜１０２を形成し、続いて、形成されたレジスト膜１０２の上に不飽和脂肪酸、例えばオレイン酸を含むひまわり油又はオリーブ油等を含む液体１０３を配した状態で、レジスト膜１０２に対して露光光１０４を選択的に照射することによりパターン露光を行なう。 - 特許庁