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superstructure thin filmとは 意味・読み方・使い方
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To form a superstructure film at high throughput by continuously forming thin films, whose compositions and thicknesses are different from each other, on a substrate using one surface wave plasma CVD apparatus.例文帳に追加
１台の表面波プラズマＣＤＶ装置を用いて、組成および厚さの異なる薄膜を基板に連続成膜し、高スループットで超構造膜を形成する。 - 特許庁
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