titanium getter pumpとは 意味・読み方・使い方

To provide a getter pump capable of preventing an evaporated getter material from being deposited on an unnecessary part even if a getter material such as titanium is evaporated; a decompression structure; a reaction device; and a power generation device and an electronic apparatus using them.例文帳に追加

チタン等のゲッター材を蒸発させても、蒸発したゲッター材が不必要な箇所に蒸着することを防止できるゲッターポンプ、減圧構造及び反応装置並びにそれらを用いた発電装置及び電子機器を提供する。 - 特許庁