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trend analysis chartとは 意味・読み方・使い方
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該当件数 : 1件
The semiconductor manufacturing device management system for managing the processing characteristics of the substrate comprises: analysis means 13 for extracting a protruding position of trend chart data for the control parameters; condition setting means 12 for setting determination conditions of a protrusion degree to be extracted; and storage means 14 for storing protrusion data and the like matching the determination conditions.例文帳に追加
基板の処理特性を管理する半導体製造装置管理システムであって、制御パラメータのトレンドチャートデータの突出位置を抽出する解析手段１３と、抽出すべき突出度合いの判定条件を設定する条件設定手段１２と、判定条件に一致する突出データ等を保存する保存手段１４とを備える。 - 特許庁
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