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"9-point"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
When the wafer W is lifted up by the support pins 9 to mount the wafer W on the susceptor 7, the top face of each pin 9 point-contacts the back surface of the wafer W and hence particles depositing to the top face of the pin 9 are very few, even if the particles are deposited on the wafer W backside.例文帳に追加
ウェハＷをサセプタ７上に載置すべく各支持ピン９により当該ウェハＷを持ち上げたときには、支持ピン９の上面とウェハＷの裏面は点接触の状態となるので、ウェハＷの裏面にパーティクルが付着されていても、支持ピン９の上面に付着するパーティクルは極めて少ない。 - 特許庁
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