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"component of strain"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
Many alignment marks given to a plurality of shots on a wafer are previously detected and a plurality of (conditions for) models where a nonlinear component of strain of the wafer is described are determined based upon precise detection results thereof.例文帳に追加
予め、ウエハ上の複数のショットに付設された多数のアライメントマークを検出し、その精密な検出結果に基づいてウエハの歪みの非線形成分を記述するモデル(に対する条件)を複数決定しておく。 - 特許庁
例文 (1件) |
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