イクスチェンジを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
薬液部であるサイドキャビネット2において、薬液供給系から処理部1のエージングユニット(DAS)21およびソルベントイクスチェンジユニット(DSE)11にそれぞれアンモニアおよびHMDSを供給し、処理後の排気および排液は排気・排液処理系で処理される。例文帳に追加
For the side cabinet 2 which is a chemical liquid part, ammonia and HMDS is supplied to an aging unit (DAS) 21 and a solvent exchange unit (DSE) 11, respectively, from the chemical liquid supply system, while exhausting and liquid-discharging after process are done with the exhausting/liquid- discharging process system. - 特許庁
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