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| 意味 | 例文 (3件) |
トロイダルプラズマを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 3件
プラズマ処理のためのトロイダルプラズマ源例文帳に追加
TOROIDAL PLASMA SOURCE FOR PLASMA PROCESSING - 特許庁
基板処理チャンバ（１０）内にはトロイダルプラズマ源（２８）がある。例文帳に追加
A toroidal plasma source (28) is located within a substrate processing chamber (10). - 特許庁
| 意味 | 例文 (3件) |
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