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気化平衡法の部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
窒素及び酸素の混合ガスを、非平衡大気圧プラズマ化して反応性ガスとし、気化した有機亜鉛化合物と混合させ、該有機亜鉛化合物を分解し、基板上に堆積させる窒素含有酸化亜鉛膜の製造方法である。例文帳に追加
The method for producing a nitrogen-containing zinc oxide film includes: plasmatizing a mixed gas of nitrogen and oxygen into a reactive gas at non-equilibrium atmospheric pressure, mixing it with a vaporized organic zinc compound, and decomposing and depositing the organic zinc compound on a substrate. - 特許庁
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