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近隣結合法の部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
ワークピース近隣でのプラズマ使用、ウェーハとチャッキング回路との結合、あるいは電源の追加等を行うことなく、静電チャックとワークピース間の静電力を自動的に平衡化する装置および付随方法を提供する。例文帳に追加
To obtain a device and a method for automatically balancing electrostatic power between an electrostatic chuck and a workpiece, without using plasma nearby the workpiece, coupling a wafer with a chucking circuit, and adding electric power. - 特許庁
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