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Liewを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
The transport part 9 is provided with a first main transport mechanism T_IDM transporting substrates W to cassettes C and the treatment part 3, and a first spare transport mechanism T_IDS transporting substrates W to the cassettes C and the treatment part 3 in liew of the first main transport mechanism T_IDM.例文帳に追加
搬送部９はカセットＣと処理部３とに対して基板Ｗを搬送する第１主搬送機構Ｔ_ＩＤＭと、第１主搬送機構Ｔ_ＩＤＭに替わってカセットＣと処理部３とに対して基板Ｗを搬送する第１予備搬送機構Ｔ_ＩＤＳと、を備えている。 - 特許庁
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