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SLG2を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 3件
Each of transmissive patterns SLG1, SLG2 includes slots SLa or slots SLb in the same number which are regularly and equally spaced in a sub-scanning direction.例文帳に追加
透過パターンSLG1,SLG2のそれぞれは、副走査方向に等間隔で規則的に配置された同数のスロットSLaまたはスロットSLbを有する。 - 特許庁
By this exposure scanning, a region irradiated with the pulse light transmitting through the transmissive pattern SLG1 is then irradiated with pulse light transmitting through the transmissive pattern SLG2 after a predetermined period has passed.例文帳に追加
この露光走査によれば、透過パターンSLG1を透過したパルス光が照射された領域には、所定時間経過後に、透過パターンSLG2を透過したパルス光が照射される。 - 特許庁
When a pattern drawing device 100 scans an exposure unit 30 equipped with a mask 361 to the (+Y) side of the main scanning direction with respect to a substrate 9, the drawing device exposes a resist layer of a substrate 9 through the transmissive patterns SLG1, SLG2 at the same time.例文帳に追加
パターン描画装置100は、マスク361を備えた露後部30を、基板9に対して主走査方向の(+Y)側へ走査させる場合、透過パターンSLG1,SLG2とを同時に介して基板9のレジスト層を露光する。 - 特許庁
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