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Wusを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
In this apparatus, an optical measuring device 40 is provided on the device 20 to optically measure a state of the surface WUS of the wafer W from the upper part through measuring openings 27 formed on the pad 25.例文帳に追加
そして、パッド保持装置２０に、研磨パッド２５に形成した測定用開口２７を通して、上方からウエハＷの被研磨面ＷUSの状態を光学的に測定する光学測定装置４０が設けられている。 - 特許庁
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