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arc secの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
When a target material is evaporated from a target by arc discharge and deposited on a substrate, the target is cooled during the arc discharge, and the target is rotated so that the component of the tangential direction of the rotational speed of the discharge part of the target is controlled to ≥5 mm/sec.例文帳に追加
アーク放電により、ターゲットからターゲット材料を蒸発させ、基板上に堆積させるに際し、アーク放電中にターゲットを冷却し、ターゲットの放電部の回転速度の接線方向成分が５ｍｍ／秒以上になるようにターゲットを回転させる。 - 特許庁
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