セーフサーチ：オン
control lableの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
During this cleaning process, the discharging fluid control lable of charging is supplied to the semiconductor wafer W and charges are removed from the front surface side of the semiconductor wafer W at the time of cleaning.例文帳に追加
この洗浄処理工程中において、帯電量が制御可能な帯電された除電用流体を半導体ウエハＷに供給して、洗浄処理工程の際に半導体ウエハＷの表面側に帯電する電荷を除去する。 - 特許庁
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