darkfield microscopeの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
The light released by the illumination light source 11 for alignment is guided to an alignment light exit section 13 for darkfield illumination across an optical fiber 14 and irradiates a work mark WAM from outside the optical path of the imaging system of the alignment microscope 1.例文帳に追加
アライメント用照明光源11が放出する光は、光ファイバ14を介して暗視野照明用アライメント光出射部13に導かれ、アライメント顕微鏡1の結像系の光路外からワークマークWAMを照明する。 - 特許庁
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