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diruthenium complexの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
The material for chemical vapor deposition includes a diruthenium complex such as tetra(μ-formato)diruthenium(II,II), and tetra(μ-formato)(dihydrate)diruthenium(II,II); and a ruthenium film is formed by the chemical vapor deposition using this material.例文帳に追加
テトラ（μ−ホルマト）ジルテニウム（ＩＩ，ＩＩ）、テトラ（μ−フォルマト）（２水和物）ジルテニウム（ＩＩ，ＩＩ）の如きジルテニウム錯体からなる化学気相成長材料およびそれを用いて化学気相成長法によりルテニウム膜を形成する方法。 - 特許庁
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