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heat-treated structuresの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
To enable intra-plane uniform heating when applying heat treatment through a light-irradiating wafer heater to a wafer to be treated, with which the structures of different light absorption quantities such as fine/coarse patterns, layouts and laminated structures are mixed.例文帳に追加
パターンの疎密やレイアウト、積層構造などの光吸収量の異なる構造が混在する被処理基板を、光照射基板加熱装置にて加熱処理する際に、面内均一に加熱するを可能にする。 - 特許庁
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