interbeddedを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2件
A polycrystal Si to be a heating resistor section, an interbedded insulation film 36, a metallic wiring pattern layer and a surface protection film 41 are formed on an SI substrate, then the interbedded insulation film 36 and surface protection film 41 are removed by a dry-etching method to open a pit 8 to form an opening.例文帳に追加
Si基板上に発熱抵抗体部となる多結晶Si、層間絶縁膜36、金属配線層、表面保護膜41などを形成後、層間絶縁膜36および表面保護膜41をドライエッチングによって除去し、ピット8を開口させる。 - 特許庁
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