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particalを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
In this charged particle beam exposure system, a reticle 1 on which a pattern is formed is illuminated with a charged particle beam, the charged partical beam which passes the reticle and is patterned is made to form an image on a sensitive substrate, and a pattern is transferred.例文帳に追加
本荷電粒子ビーム露光装置は、パターンを形成したレチクル１を荷電ビームで照明し、レチクルを通過してパターン化された荷電ビームを感応基板上に結像させてパターンを転写する装置である。 - 特許庁
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