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relative diffusionの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 51件
A relative position, between the plurality of holes 9 in the gas diffusion plate 3 and the coil 4, can be made movable.例文帳に追加
プラズマ処理装置の構成を、減圧自在な処理室1と、複数の開孔9を有するガス分散板3と、ガス分散板3の複数の開孔9を通して処理室1にプロセスガスを供給するガス供給路2と、処理室1で発生するガスを処理室1から排出するガス排出路7と、ガス分散板3と対向して設けられ、処理室1の内部にプロセスガスのプラズマ放電を発生させるコイル4とを含み、ガス分散板3の複数の開孔9とコイル4との相対位置が移動自在である構成とする。 - 特許庁
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