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snubber tankの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
In this resist film forming process, a snubber tank 60 communicated with the liquid tank 20 to store the resist agent is provided to suppress fluctuation of the level of the resist agent in the liquid tank while the resist agent is applied to the coated surface.例文帳に追加
このレジスト膜形成工程において、前記液槽２０と連通し、レジスト剤を収容する緩衝槽６０を配置することにより、被塗布面へのレジスト剤の塗布中は、液槽内のレジスト剤の液面高さの変動を抑制する。 - 特許庁
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