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ttl alignment methodの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
With a TTL method that uses the projection optical system 14, a mark MK for alignment that is directly provided on the semiconductor substrate Waf is detected.例文帳に追加
かつ、投影光学系１４を介するＴＴＬ方式で、直接半導体基板Ｗａｆ上に設けられた位置合わせ用のマークＭＫを検出する。 - 特許庁
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