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tungstenumを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
Then, an adherence layer and a tungstenum film are formed on the base plate and, thereafter, a conductor plug 121a, consisting of a polysilicon film, and a conductor plug 122 which consists of an adherence layer and the tungsten film, are formed simultaneously by CMP.例文帳に追加
その後、基板上に密着層及びタングステン膜を形成した後、ＣＭＰによりポリシリコン膜からなる導体プラグ１２１ａと、密着層及びタングステン膜からなる導体プラグ１２２とを同時に形成する。 - 特許庁
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