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unactedを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
Before unacted ClF_3 intrudes into the silicon substrate, etching gas supply is stopped and purge gas is supplied in order to desorb/remove unacted ClF_3 from the surface of the silicon substrate.例文帳に追加
そして未反応のＣｌＦ_3等がシリコン基板内部に侵入する前に、エッチングガスの供給を止め、未反応のＣｌＦ_3等をシリコン基板表面から脱離・除去するためのパージガスの供給を行う。 - 特許庁
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