etching gasとは 意味・読み方・使い方

DRY ETCHING EXHAUST GAS TREATMENT APPARATUS例文帳に追加

ドライエッチング排ガス処理装置 - 特許庁

It is preferable that the second etching gas contains the gas for which the etching gas is diluted by the Ar gas.例文帳に追加

第２エッチングガスは、エッチングガスをＡｒガスで希釈したガスを含むことが好ましい。 - 特許庁

SYSTEM FOR PROCESSING EXHAUST GAS OF DRY ETCHING例文帳に追加

ドライエッチング排ガス処理装置 - 特許庁

As the etching gas, halogen-based gas is used.例文帳に追加

また、エッチングガスとして、ハロゲン系ガスを用いる。 - 特許庁

GAS INJECTOR AND ETCHING APPARATUS PROVIDED WITH THE GAS INJECTOR例文帳に追加

ガスインジェクタおよびこれを有するエッチング装置 - 特許庁

GAS DISPERSING PLATE OF DRY ETCHING APPARATUS例文帳に追加

ドライエッチング装置のガス分散板 - 特許庁

As an etching gas, a gas mixture containing a halogen gas and an oxygen gas is used.例文帳に追加

エッチングガスとしてハロゲンガスと酸素ガスを含む混合ガスを用いる。 - 特許庁

A mixed gas of Cl_2 gas with O_2 gas is used as the etching gas.例文帳に追加

エッチングガスには、Ｃｌ_2ガスおよびＯ_2ガスを含む混合ガスを用いる。 - 特許庁