Etching End-Point Detectorとは 意味・読み方・使い方

END POINT DETECTOR FOR PLASMA ETCHING SYSTEM例文帳に追加

プラズマエッチング装置用終点検出装置 - 特許庁

END-POINT DETECTOR AND DRY ETCHING APPARATUS例文帳に追加

終点検出装置及びドライエッチング装置 - 特許庁

An end point detector 9 which becomes an etching stopper for the dry etching in pattern-forming the core 3 is formed.例文帳に追加

更に、コア３をパターン形成する際のドライエッチングのエッチングストッパーとなるエンド・ポイント・ディテクター９が形成されている。 - 特許庁

Since the microscope 16 is focused to the bottom face B of a pattern at the end point of etching, a signal indicative of focusing to the bottom face B of a pattern at the end point of etching can be detected by the detector 21 when the pattern depth reaches the etching end point depth D.例文帳に追加

顕微鏡１６はエッチング終点におけるパターン底面Ｂに合焦するように設定されているので、パターン深さがエッチング終点深さＤとなったときに、検出器２１によりエッチング終点時のパターン底面Ｂへの合焦を示す信号が検出可能となる。 - 特許庁

Difference of variation of plasma light emission is measured by a synchronous detector 5 in order to remove noise and the end point of etching is detected based on that difference.例文帳に追加

同期検波器５で、このプラズマ発光の変化の差を計測してノイズを除去し、この差に基づいてエッチングの終点を検出する。 - 特許庁

The dry etching system comprises, on the wall surface of an etching chamber 1 in which plasma is kept, a transmission window 9 of light transmissive material for detecting the end point of etching, and a detector 11 which measures the light intensity of specific wavelength emitted from plasma through the transmission window 9.例文帳に追加

本発明のドライエッチング装置は、プラズマが維持されるエッチング室１の壁面に、透光性材料からなるエッチング終点検知用の透過窓９と、プラズマから放射される特定波長の光強度を、透過窓９を通じて計測する検出器１１とを備える。 - 特許庁

Thus, entering of outside light into the detector 11 is prevented for surely detecting the etching end point due to minute changes in emission intensity.例文帳に追加

これにより、検出器１１への外光の入射を防止でき、微小な発光強度の変化によるエッチング終点の検出を確実に行うことができる。 - 特許庁