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unsputteredを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
To solve a problem that a target made by a prior art leaves its peripheral part unsputtered and consequently uneroded, when sputtered after having been mounted on a sputtering apparatus and surrounded by an earth shield, because when plasma is generated, an electric current passes to the earth shield from the target and the plasma is not formed on the surface of the peripheral part of the target.例文帳に追加
従来技術にかかるターゲットをスパッタリング装置に装着し、ターゲットの周囲にアースシールドを設けると、プラズマを発生させた際に、ターゲットからアースシールドへと電流が流れるため、ターゲットの外周縁部の表面ではプラズマが形成されず、ターゲットの外周縁部がスパッタされない非侵食領域として残る。 - 特許庁
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