To provide a method for manufacturing a sheet-laminated aluminum profile wherein only a sheet material is cut relatively simply and accurately without cutting the profile, there is no problem of generation of cutting chips or a product defect, and a resin sheet material is integrally laminated on the surface of the profile, and also to provide an apparatus therefor. 形材を切断することなくシート材料だけを比較的簡単にかつ精度良く切断でき、切粉の発生や製品不良の問題もなく形材表面に樹脂シート材料が一体的にラミネートされたシート貼着アルミニウム形材を製造できる方法及び装置を提供する。 - 特許庁
To improve a semiconductor device in transistor characteristic, by a method wherein the element isolation film of the semiconductor device is lessened in crystal defect and interface level so as to restrain a leakage current from occurring in it, and a rapid thermal annealing is carried out so as not to affect an impurity profile. 半導体装置における素子分離絶縁膜での結晶欠陥及び界面準位を改善して素子分離絶縁膜におけるリーク電流を抑制するとともに、不純物プロファイルへの影響を無くしてトランジスタ特性を改善した半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
To eliminate troubles, such as discharge trouble and shortened life of an AC discharger, resulting from the output of the AC discharger which is set high not to cause cleaning defects due to temporal characteristic change of a cleaning brush and a cleaning defect in the conventional technology. クリーニングブラシの経時的な特性変化に起因する清掃不良や、従来技術において、前記清掃不良を発生させないため、AC除電器の出力を高く設定していることによる、放電障害、AC除電器の短寿命化といった不具合をなくする。 - 特許庁
When respective peaks P12, P13 are obtained in order of negativity and positivity after the first peak P11 having positivity out of the received signal 34 of a lower end part 32 in the defect 3, the first peak 11 is detected as the peak corresponding to the lower end part. 欠陥3の下端部32の受信信号34のうち、正極性を有する最初の頂点P11の次に、負極性および正極性の各頂点P12,P13がこの順序で得られるとき、最初の頂点P11を、下端部に対応する頂点であるものとして検出する。 - 特許庁
To provide an electrophotographic photoreceptor which can maintain good electrophotographic characteristics without the occurrence of an image defect due to the the flaw, wear, toner fusion, etc., of the photoreceptor surface layer even if the photoreceptor is repetitively used under severe conditions under which such abnormality of the photoreceptor surface layer is liable to arise. 感光体表面層の傷、磨耗及びトナー融着等が発生しやすい厳しい条件下で繰り返し使用しても、このような感光体表面層の異常に起因する画像欠陥が発生せず、良好な電子写真特性を維持することができる電子写真感光体を提供する。 - 特許庁
To provide a fluid-sealed type vibration control device with a novel structure, which allows a partition member made of synthetic resin with low strength to be fitted and fixed in a second attachment member easily, and avoids a defect upon assembly due to errors of dimensions in the partition member or the second attachment member. 低強度な合成樹脂製の仕切部材を第二の取付部材に容易に嵌着固定することが出来ると共に、仕切部材や第二の取付部材の寸法誤差等に起因する組付け時の不具合を回避出来る、新規な構造の流体封入式防振装置を提供すること。 - 特許庁
A CCD 105 is provided with a summing read function, that reads pixel information of unit pixel while summing the pixel information items and with a pixel information correction function that corrects the pixel information after summation based on unit pixel defect information stored in an EEPROM 112. CCD105に対して単位画素の画素情報を複数個加算しつつ読み出す加算読み出し機能と、EEPROM112に記憶されている単位画素欠陥情報に基づいて加算後の画素情報に対する補正を行う画素情報補正機能が設けられている。 - 特許庁
To manufacture easily and in a simple process nitride based III-V compound semiconductor substrates on which nitride based III-V compound semiconductor layers exhibiting a low defect density and a high quality can be grown, and to manufacture high-performance and long-life semiconductor devices by using them. 欠陥密度が低い高品質の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させることができる窒化物系III−V族化合物半導体基板を簡単なプロセスで容易に製造し、これを用いて高性能かつ長寿命の半導体装置を製造する。 - 特許庁
By forming a contact hole 30 at a position above a drain electrode D on the first insulating film 27 where the film is not thinned, above the auxiliary capacitor electrode 18a so as to electrically connect the pixel electrode 20 and the drain electrode D, a bright spot defect during manufacture is reduced. なお、コンタクトホール30を補助容量電極18a上の薄肉化されていない第1の絶縁膜27上のドレイン電極D上に位置するように形成して画素電極20とドレイン電極Dとを電気的に接続すると、製造時の輝点不良も減少する。 - 特許庁
To provide an adhesive film for protecting display screen enabling the defect inspection of various display screens, good in wettability, easy in foam escape, and stickable by hand, through using an adhesive based on an inexpensive acrylic adhesive rather than an expensive silicone-based adhesive. 高価なシリコーン系の粘着剤を用いることなく、安価なアクリル系粘着剤を主とする粘着剤を用いて、各種ディスプレイ表面の欠陥検査が可能であり、濡れ性がよく、気泡が抜け易く、手張りが可能なディスプレイ表面保護フィルムを提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a forging method with a punch stroke length, in which working is done with a die of good shaft reduction capability, capable of preventing a forming defect of jamming, etc. suitable for an arbitrary working condition and in a non-steady deformation region, so as to obtain good shaft reduction without generating jamming. 押し詰まりなどの成形不良を防止でき任意の加工条件に適する軸絞り性の良い金型および非定常変形領域で加工を行い押し詰まりが発生しない良好な軸絞り性が得られるパンチのストローク長さで鍛造する方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a compound semiconductor thin film for suppressing that a bottom electrode and a metal substrate are excessively made into a group VI while being densified in high temperature, and manufacturing a high quality IB-IIIA-VIA system compound semiconductor thin film with less VI group defect. 高温中で緻密化を図りつつ、下部電極や金属基板が過剰にVI族化されることを抑制し、且つVI族欠陥の少ない高品質なIB−IIIA−VIA族系化合物半導体薄膜を製造することができる化合物半導体薄膜の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a stamper having high wear resistance and durability and formed with low defect without damaging a fine groove formed by a resist mask method, when the stamper is formed from a glass master disk wherein a fine pattern is formed by the resist mask method using water soluble resin. 水溶性樹脂を用いたレジストマスク法によって微細パターンを形成されたガラス原盤からスタンパを作成する場合にレジストマスク法によって形成された微細溝を損なうことなく低欠陥でスタンパ化するとともに、高い耐磨耗性および耐久性を持ったスタンパを提供する。 - 特許庁
To accurately detect only either vertical waves or horizontal waves included in an acoustic signal, and to accurately calculate a partial discharge position based on the detection signal in detecting the partial discharge position due to a defect of power cable connecting part or the like with an ultrasonic sensor. 電力ケーブル接続部等の欠陥による部分放電位置を超音波センサにより検出する際に、音響信号に含まれる縦波と横波のいずれか一方のみを正確に検出してその検出信号に基づいて部分放電位置を正確に算出する。 - 特許庁
In the repair method for the turbine rotor, build up welding is performed while the turbine rotor 10 including a horizontally-supported rotating shaft is rotated around the rotating shaft, and while the build up welding is performed, defect inspection of a welded portion is performed by an electromagnetic acoustic transducer 20 sequentially. 回転軸が水平に支持されたタービンロータ10をその回転軸を中心に回転させながら肉盛り溶接を行うとともに、肉盛り溶接を行いながら溶接された部位を電磁超音波探触子20により欠陥検査を順次行うタービンロータの補修方法。 - 特許庁
To provide an aluminum alloy brazing sheet, which suppresses a brazing defect in a joint between the tube and a plate and erosion produced when plate solder flows through a molding groove formed at the tube, in brazing performed at about 600°C in a heat exchanger using a brazing type tube. ろう付タイプチューブを用いた熱交換器の約600℃で行われるろう付において、チューブとプレートの接合部におけるろう付不良およびチューブに形成された成形溝をプレートろうが流れる際に生起するエロージョンを抑制することができるアルミニウム合金ブレージングシートを提供する。 - 特許庁
To provide a defect detection method and detector capable of detecting, for example, microdefects caused on a reduction roll circumferential surface in inspection, so that a steel sheet (rolled material) of good surface quality can be produced, and to provide a grinding device and grinding method for achieving this method. 表面品質のよい鋼板(圧延材)を製造できるようにするため、例えば検査時に圧延ロール外周表面に生じた微小の欠陥を検出することができる欠陥検出方法、装置並びにその方法を実現できるような研削装置、研削方法を得る。 - 特許庁
Further, in the semiconductor device, the barrier film and the seed film are specified, and a proportion (frequency) of a corresponding (CSL) grain boundary in which the grain boundary Σ value is 3 in the whole crystal grain boundary of the Cu wiring is set at ≥40%, thereby an effect similar to surface defect reduction can be acquired. または、該半導体装置において、バリア膜及びシード膜を特定すると共に、Cu配線の全ての結晶粒界に占める、粒界Σ値3の対応(CSL)粒界の割合(頻度)を40%以上とすることにより、表面欠陥低減の同様の効果を得ることができる。 - 特許庁
To provide a method of hot-rolling a bar material for manufacturing bar-material products which satisfies severe warranty of surface defect in the late years by suppressing the generation of fine surface defects caused by rolling deformation in a hot-rolling stage of the bar material such as a wire rod, bar steel and a square material. 線材、棒鋼、角材などの条材の熱間圧延工程での圧延変形による微細な表面疵の発生を抑制し、近年の厳しい表面疵保証を満足する条材製品を製造するための条材の熱間圧延方法を提供することである。 - 特許庁
For example, after a correction film 8 is formed in the region including a white defect, the correction film 8 is partially removed according to the form and/or arrangement which produces the gray tone effect equivalent to the normal pattern to form a correction pattern 3a', 3b' having mutually different widths and position from the normal pattern 3a, 3b. 例えば、白欠陥を含む領域に修正膜8を形成した後、正常パターンと同等のグレートーン効果を奏する形状及び/又は配列にて前記修正膜8を部分的に除去して、正常パターン3a、3bとは幅や位置が異なる修正パターン3a’、3b’を形成する。 - 特許庁
To provide a method for producing a health food solving such a problem that many of vegetable or microbial natural food materials for producing health foods making users have uncomfortable taste when eaten because of their peculiar grassy or microbial smell and thereby such a defect largely hinders continuous intake of the material. 健康食品を作るための植物系あるいは微生物系の天然食品素材には、特有の青くさ臭や微生物臭を有するものが多く、このために食用に際して風味的に抵抗感があり、継続的に摂取することの大きな妨げとなっている。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a lithographic printing plate which can form a sharp image of high definition without generating any defect at the image part, can exhibit constant performance even if a photosensitive layer component is dissolved in it, and suppress production of development dregs due to an image forming layer component. 画像部に欠陥を与えることなく、高鮮鋭で鮮明な画像を形成し得、且つ感光層成分が溶け込んでも、一定の性能を発揮することができ、画像形成層成分に起因する現像カスの発生を抑えることができる、平版印刷版の製版方法を提供する。 - 特許庁
To highly improve product defect rate without quality of product (planograph printing plate) being affected by the deformation of a cut chip (selvage) when a strip web with the slip sheet in tight contact is continuously cut by a slitter in the carrying direction and strip-formed cut chips are carried to a cut chip processor. 合紙が密着された帯状のウェブを搬送方向にスリッタで連続裁断し、裁断した帯状の裁断屑を裁断屑処理機へ搬送する際に、裁断屑(耳)の変形により製品(平版印刷版)の品質が影響を受けず、製品歩留りを高く維持する。 - 特許庁
To provide a production process of an oxide magnetic substance, capable of enhancing remanent magnetic flux density, which has been considered difficult in prior art, by improving the "the ratio of (remanent magnetization/saturation magnetization)" which has been said as being a defect in dry molding, having a higher molding speed, as compared with wet molding. 湿式成形に比べて成形速度が速い乾式成形において、乾式成形の欠点であるといわれる「(残留磁化/飽和磁化)の比」を改善して、従来より困難であるとされていた残留磁束密度を向上させることのできる酸化物磁性体の製造方法を提供する。 - 特許庁
The sheet is discriminated after detecting the defect. 本発明は、レーザー透過式検出機、CCDカメラ、ならびにレーザー式反射検出機および/または接触式変位検出機により、シートの欠陥を検出することを特徴とするシート欠陥検出方法および当該欠陥検出後に当該シートを分別することを特徴とするシート分別方法である。 - 特許庁
To prevent the occurrence of defect such as uneven thickness of a pipe and the cold shut on a casting skin, caused by the disturbance of molten metal flow in a mold, and to supply the molten metal smoothly and forcedly along the axial direction of the mold in a centrifugal casting apparatus. 遠心鋳造装置において、モールド内の湯流れの乱れに起因する、管の厚みの不均一さの発生や、鋳肌における湯境などの不良の発生を防止できるようにするとともに、溶湯をモールドの軸心方向に沿って良好な勢いで供給できるようにする。 - 特許庁
To provide a windmill blade and a method for manufacturing the same, shortening the time for correction of malfunction and lamination work by suppressing manufacturing defect generation such as misalignment and crease of fiber when manufacturing the windmill blade with a spar cap interposed between the layers of an outer skin or in the inner side thereof. 外皮の層間または内側にスパーキャップを介装した風車翼の製造時において、ずれや繊維の皺などの製造欠陥の発生を抑制し、かかる不具合の修正や積層作業の時間を短縮可能にした、風車翼及びこれの製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a descaling method in hot rolling by which a scale type defect of the so-called red scale is prevented by removing the scale containing Si or the like which bites into an base iron in a wedge shape together with the scale of Fe_2O_3 or the like generated during rough rolling. 地鉄にくさび状に食い込んだSi等を含むスケールを粗圧延中に生成するFe_2O_3などのスケールとともに除去することにより、所謂赤スケールと呼ばれるスケール性欠陥を防止することができる熱間圧延におけるデスケーリング方法を提供する。 - 特許庁
In the method of manufacturing the microfluid device in which the cavity is formed at the inside, a hardened coating film which is composed of an energy beam hardening composition and which comprises the defect part is formed on a coating support, the hardening coating film is laminated on, and bonded to, another member by using an adhesive, and the support is removed. 塗工支持体上にエネルギー線硬化性組成物から成る、欠損部を有する硬化塗膜を形成し、該硬化塗膜を接着剤を用いて他の部材に積層して接着し、支持体を除去することにより、内部に空洞が形成されたマイクロ流体デバイスの製造方法。 - 特許庁
To produce a silicon single crystal wafer which has extremely low defect density throughout the whole surface region of the crystal and particularly from which small pits are eliminated and which has excellent oxide film dielectric strength characteristics, under high-rate production conditions having wide control width and easy controllability, while maintaining high productivity, by using a CZ(Czochraliski) method. 高速下に制御幅が広く、制御し易い製造条件の下で、結晶の全面の領域において極低欠陥密度で、特に小ピットを排除した、酸化膜耐圧特性に優れたCZ法によるシリコン単結晶ウエーハを高生産性を維持して製造する。 - 特許庁
To solve such problems that, if power source lines and grounding lines are commonly wired to a plurality of systems, the noise of the pulses to drive another system is liable to enter one system and a sharpness defect occurs due to the noise and the wobble of the respective potentials of the power source lines and the grounding lines accompanying the noise. 複数の系に対して電源ラインおよび接地ラインを共通に配線すると、一方の系に対して他方の系を駆動するパルスのノイズが入り易くなり、ノイズや当該ノイズに伴う電源ラインおよび接地ラインの各電位の揺れに起因して画質不良が発生する。 - 特許庁
To provide an insert connecting and disconnecting type end mill capable of certainly using another cutting blade by preventing extension of a defect to the cutting blade of an insert even when a cutting blade used for cutting work is defective in cutting work and the insert used for this insert connecting and disconnecting type end mill. 切削加工時に、切削加工に使用される切刃が欠損した場合であっても、インサートの他の切刃への欠損の拡大を防止し、他の切刃を確実に使用できるインサート着脱式エンドミル及びこのインサート着脱式エンドミルに使用されるインサートを提供する。 - 特許庁
To enable lightweight smooth open-close door operation at a low cost by the disposal of a small slider section in consideration of the defect of a conventional example which has used a large-sized expensive sliding rail in a device in which a sliding door is installed to a storage box so that the opening section of the storage box is fully opened freely. 収納ボックスに、その開口部が全開自在となるようスライド扉を取り付ける装置にあって、大型で高価なスライドレールを用いている従来例の欠陥に鑑み、小さなスライダ部の配設で軽量かつ安価で円滑な開閉扉操作を可能とする。 - 特許庁
Thus, the unacceptable internal pressure can be detected by the reduction of the liquid surface even in a case of a plastic container such as the PET bottle 2 for which the hot pack filling or the retort processing has been performed, and the internal pressure defect can be detected from the outside of the case even for a container for which the tapping inspection cannot be applied such as a plastic container. これにより、ホットパック充填やレトルトされたPETボトル2などのプラスチック容器でも、液面の低下から内圧不良であることを検出することができ、打検法が適用できないプラスチック容器などの容器でもケースの外部から内圧不良を検出することができる。 - 特許庁
To provide a method with which silicon carbide monocrystal which is excellent in dielectric breakdown property, heat resistance and radiation resistance, etc., is suitable for electronic and optical device, etc., is free from the contamination of polycrystal and polymorphism and the defect such as micropipe and is high quality can be efficiently manufactured in the form of large diameter in the state having no breakage, etc. 絶縁破壊特性、耐熱性、耐放射線性等に優れ、電子・光学デバイス等に好適で、多結晶や多型の混入やマイクロパイプ等の欠陥のない高品質な炭化ケイ素単結晶を割れ等がない状態で大口径に効率よく製造し得る方法の提供。 - 特許庁
Further, the imaging device includes a memory 109 which stores the position of a defect pixel of the imaging element 102 or the position of a test signal as an expected value, and a determination unit 106 which determines a suitable delay amount using the image signal input by the input unit 105 and the expected value stored in the memory 106. また、撮像素子102の欠陥画素の位置または試験信号の位置を期待値として格納するメモリ109と、取り込み部105により取り込まれただ画像信号と、メモリ109に格納された期待値とを用いて適正な遅延量を判定する判定部106とを備える。 - 特許庁
To provide a speaker whose total height is lowered for the purpose of downsizing, with excellent frequency and input withstanding characteristics wherein no defect such as production of abnormal sound at the reception of a high level input takes place, about the speaker being a small diameter speaker and a micro speaker provided with a dome diaphragm. ドーム振動板を備えた小口径のスピーカーおよびマイクロスピーカーについて、小型化にあたってスピーカの全高を低く抑え、同時に、周波数特性および耐入力特性に優れ、大入力時に異音が発生する等のスピーカー不良が生じないスピーカーを提供する。 - 特許庁
To provide a periodic defect detecting device for band shape materials etc. and its method capable of using even if the generation period of defects changed and capable of precisely determining periodic defects generated not only at the last rolling roll, but also generated at a plurality of rolls of different diameters. 欠陥の発生周期が変わっても用いることができ、また、最終圧延ロールだけでなく異なる径の複数のロールで発生する周期性欠陥を高精度で判定することができる帯状体等の周期性欠陥検出装置及びその方法を提供する。 - 特許庁
To provide an artificial leather breaking through the restriction relating to the exfoliate paper in dry method, preventing penetration of an adhesive into a foundation cloth and emboss return of surface leather which are the defects of the calendering method, and restraining the quantity of using a volatile organic solvent which is a defect of the wet method. 乾式法の離型紙に関係する制約を解消するとともに、カレンダー法の欠点である基布への接着剤の浸み込みと、表皮のエンボス戻りを防止すること、および湿式法の欠点である揮発性有機溶剤の使用量を抑制した合成皮革を提供する。 - 特許庁
The X-ray diagnostic imaging apparatus is provided with: a part 9 for calculating the frequency of the moire included in the diagnostic image; and a defect correction pixel selection part 10 for selecting a pixel to be used for defective pixel correction from the frequency of the moire calculated in the moire frequency calculation part 9. 上記課題は、診断画像中に含まれるモアレ周波数算出部9と、前記モアレ周波数算出部9にて算出されたモアレの周波数から欠損画素補正に用いる画素を選択する欠損補正画素選択部10とを備えることによって解決される。 - 特許庁
As a result, the optical recording medium of which the defects projects largely from the surface of the light transmission layer 3 can be effectively expelled and therefore the optical recording medium having a high possibility of such defect coming into collision against an objective lens or a support for supporting the same can be expelled. これにより、光透過層3の表面から欠陥が大きく突き出している光記録媒体を効果的に排除することができるので、かかる欠陥が対物レンズやこれを支持する支持体に接触するおそれの高い光記録媒体を排除することが可能となる。 - 特許庁
To provide a thin film transistor which can inhibit increase in leakage current via a surface of an extension part of an ohmic contact film from a source electrode and a drain electrode and in leakage current via a defect at a bonded side face part between the ohmic contact film and a semiconductor active film. ソース電極およびドレイン電極からのオーミックコンタクト膜の延在部分の表面を介したリーク電流、およびオーミックコンタクト膜と半導体能動膜との接合側面部での欠陥を介したリーク電流を増大させないことが可能な薄膜トランジスタを提供することにある。 - 特許庁
To provide a video signal processing apparatus capable of controlling luminance based on an inputted video signal and achieving prevention of a display defect by a voltage drop due to resistance of a common electrode and reduction of power consumption, a video signal processing method, a program, and a display device. 入力される映像信号に基づいて輝度を制御し、共通電極の抵抗に起因する電圧降下による表示不良の防止と消費電力の低減とを図ることが可能な映像信号処理装置、映像信号処理方法、プログラム、および表示装置を提供する。 - 特許庁
In the process of forming a thin film having a different lattice constant on the substrate 1, the semiconductor containing Sb is first formed and a buffer layer to vary the lattice constant is formed as an overlay, which facilitates formation of a thin film having no crystal defect using the buffer layer that is thinner than a conventional layer. 基板1上に格子定数の異なる薄膜を形成する際に、まずSbを含む半導体を形成し、その上層に格子定数を変化させるためのバッファ層を形成することで、従来に比べ薄いバッファ層で結晶欠陥のない薄膜形成が可能となる。 - 特許庁
To form a passivation layer made of an organic insulating material, thereby to minimize a parasitic capacity generated due to overlapping of a pixel electrode on a gate line and a data line, to smoothly carry out a repair process when disconnection defect occurs, and to improve the production yield of the final product. 画素電極がゲート配線及びデータ配線と重なることによって発生する寄生容量を最小化するために有機絶縁物質で構成された保護層を形成すると共に、断線不良発生時の修理工程を円滑に進行させ、最終製品の生産収率を向上させる。 - 特許庁
To provide an apparatus and a method for determining the shape of the end of a bead, which obtain the image of the bead in synchronism with a welding process to determine a hole defect in the end of the bead with high accuracy in an extremely short time immediately after the welding process. 本発明の目的は、溶接プロセスと同期してビードの画像を取得し、溶接プロセス直後の極めて短い時間でビードの終端部の穴欠陥を高精度に判定することが可能なビードの終端部の形状を判定する装置及びその方法を提供することにある。 - 特許庁
To contrive dropping prevention at the time of connecting and disconnecting work of an optical element and an optical element holding member and to restrain a defect of the optical element and damage of the optical element holding member on the optical element holding member to be used for single lens work of the optical element of a spherical shape or flat surface shape lens, etc. 球面形状あるいは平面形状のレンズ等の光学素子の単玉加工に使用される光学素子保持部材において、光学素子および光学素子保持部材の着脱作業時における落下防止を図り、光学素子の欠損や光学素子保持部材の損傷を抑える。 - 特許庁
To provide an excellent electrophotographic developing roller having high interlayer adhesion between a conductive shaft body and a cover layer, preventing peeling of the cover layer even when a large number of sheets (for instance, 5,000 sheets) are printed and providing a high-quality print image without an image defect in a halftone image part. 導電性軸体と被覆層との層間接着性が良好で、多数枚(例えば、5000枚)プリントを行っても被覆層の剥がれが発生せず、ハーフトーン画像部に画像欠陥の無い高品質のプリント画像が継続して得られる優れた電子写真用現像ローラの提供。 - 特許庁
To provide an inspection method of a gray tone mask by which performance evaluation and defect inspection of a gray tone mask can be preferably carried out, to provide a method for manufacturing a gray tone mask for manufacturing a liquid crystal device by using the inspection method of a gray tone mask, and to provide a pattern transfer method. グレートーンマスクの性能評価及び欠陥検査を良好に行うことができるグレートーンマスクの検査方法を提供し、また、このグレートーンマスクの検査方法を用いた液晶装置製造用グレートーンマスクの製造方法及びパターン転写方法を提供する。 - 特許庁
This device has a constitution wherein p-polarized illumination is used as illumination light, and an illumination means is arranged so that light enters the surface of an inspection object at a Brewster angle, and thereby reflected light is greatly attenuated at a normal spot, and reflected light appears only when a defect exists. 照明光としてp偏光照明を用い、さらに検査対象物の表面に対してブリュースター角で入射するように照明手段を配置することにより、正常個所では反射光が著しく減衰し、欠陥がある場合のみ反射光が現れるように構成した。 - 特許庁