「Diffusion method」を含む例文一覧(3044)
＜前へ 1 2 .... 49 50 51 52 53 54 55 56 57 .... 60 61 次へ＞- To provide a semiconductor device wherein a copper oxide is sufficiently removed from copper wiring and an insulating film for preventing the diffusion of a water content and Cu can be made of a low-dielectric-constant insulating material, and to provide its manufacturing method.
半導体装置及びその製造方法に関し、銅配線上の酸化銅を十分に除去しつつ、水分及びＣｕ拡散防止用の絶縁膜を低誘電率絶縁材料により形成しうる半導体装置及びその製造方法を提供する。 - 特許庁 - The method for forming the pattern formation buried oxide film comprises a step of carrying out implantation into a substrate, a step of forming a mask at least on part of the substrate in order to control implantation diffusion, and a step of annealing the substrate and forming a buried oxide.
パターン形成埋込み酸化膜を形成する方法は、基板への注入を実行するステップと、注入拡散を制御するために基板の少なくとも一部分の上にマスクを形成するステップと、基板をアニールして埋込み酸化物を形成するステップとを含む。 - 特許庁 - To provide a semiconductor integrated circuit for which wiring or a diffusion layer is formed using a high accuracy mask even while the performance of a high speed circuit part is not lowered or is equivalent and using the low accuracy mask of accuracy lower than that, and to provide a manufacturing method thereof.
高速回路部分の性能は下げないか同等でありながら高精度マスクを用いると共にこれより精度の低い低精度マスクを用いて配線もしくは拡散層を形成した半導体集積回路及びその製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method and an apparatus for purifying contaminated soil or groundwater which can increase a diffusion area of a fine bubble-containing liquid injected into soil contaminated with volatile organic compounds, such as benzene, and can promote the activation of microorganisms.
ベンゼン等の揮発性有機化合物で汚染された土壌に注入される微細気泡液の拡散範囲を拡げることができ、しかも微生物の活性化を促進させることができる汚染土壌または地下水の浄化方法および装置を提供する。 - 特許庁 - CATALYST LAYER FORMING MATERIAL FOR FUEL CELL, CATALYST LAYER FOR FUEL CELL, CATALYST LAYER TRANSCRIPTION SHEET FOR FUEL CELL, GAS DIFFUSION ELECTRODE FOR FUEL CELL, MEMBRANE ELECTRODE ASSEMBLY FOR FUEL CELL, THEIR MANUFACTURING METHOD, AND FUEL CELL USING THEM
燃料電池用触媒層形成材料、燃料電池用触媒層、燃料電池用触媒層転写シート、燃料電池用ガス拡散電極、および燃料電池用膜電極接合体、それらの製造方法、並びに、それらを使用した燃料電池。 - 特許庁 - There are applications including all manufacturing method including the formation of air-gaps in microelectronics and microtechnology, especially the decomposition of a sacrificial material by diffusion of a chemical substance through a film permeable to the chemical substance for manufacture of air-gap interconnects in an integrated circuit.
応用例：マイクロエレクトロニクスおよびマイクロテクノロジーにおけるエアギャップの形成、特に集積回路のエアギャップ相互接続の製造のための化学物質を透過する膜からの化学物質の拡散による犠牲材料の分解を含む全ての製造方法。 - 特許庁 - To provide a method for forming a silicon nitride oxide film which can stably form a thin silicon nitride oxide film having excellent characteristics, and can reliably suppress diffusion of boron atoms during formation of a gate electrode of a P type semiconductor element.
優れた特性を有する薄いシリコン窒化酸化膜を安定して形成することができ、しかも、ｐ形半導体素子のゲート電極形成におけるボロン原子の拡散を確実に抑制することを可能にするシリコン窒化酸化膜の形成方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an insolubilization material of heavy metals, which can inhibit diffusion to the periphery of heavy metals to not only a heavy metal in the form of a cation but also to heavy metals in the form of an anion; and to provide an insolubilization method of heavy metals using the same.
陽イオンの形態の重金属のみならず、陰イオンの形態の重金属類に対しても、重金属類の周辺への拡散を防止することができる重金属類の不溶化材、および、それを用いた重金属類の不溶化方法を提供する。 - 特許庁 - CATALYST LAYER FOR FUEL CELL, CATALYST LAYER FOR FUEL CELL PROVIDED WITH SUBSTRATE USING THE SAME, GAS DIFFUSION ELECTRODE FOR FUEL CELL, LAMINATE OF CATALYST LAYER FOR FUEL CELL AND ELECTROLYTE MEMBRANE, MEMBRANE ELECTRODE ASSEMBLY FOR FUEL CELL, FUEL CELL AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
燃料電池用触媒層、及びそれを用いた基材付き燃料電池用触媒層、燃料電池用ガス拡散電極、燃料電池用触媒層−電解質膜積層体、燃料電池用膜電極接合体と燃料電池、並びにその製造方法 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing sponge titanium by which the diffusion of nickel from a reduction vessel directly or via molten magnesium into sponge titanium can be suppressed over a long period and recently demanded quality can be satisfied and also manufacturing can be done in high yield.
還元容器からニッケルが直接または溶融マグネシウムを介してスポンジチタン中に拡散することを長期間に亘り抑制して、今日要求される品質を満足し歩留まりよく製造できるスポンジチタン製造方法の提供を目的としている。 - 特許庁 - In the method of forming a wiring pattern of graphite film having a graphene structure, an alloy layer or a catalyst layer consisting of a laminate capable of reducing aggregation of catalyst layer and adjusting the diffusion velocity of carbon appropriately is utilized.
触媒層の凝集を抑制し、また炭素の拡散速度を適切に速度に調節することができる合金層又は積層体からなる触媒層を利用して、グラフェン構造を有するグラファイト膜で構成された配線パターンの形成方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for restoring polluted soil which can recover pollutants from the soil polluted with heavy metals and radionuclides at an original position and can actively materialize the diffusion prevention, long-term stabilization, and capture of the unrecovered pollutants.
重金属および放射性核種に汚染された土壌から汚染物質を原位置で回収でき、かつ、未回収の汚染物質の拡散防止、長期安定化、および捕捉を能動的に実現することができる汚染土壌の修復方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a diffusion layer for a fuel cell, whereby a lowering of output resulting from contamination of water in the fuel cell is not easily caused, no wiring in a water system becomes complicated, and the fuel cell can be made inexpensive, and to provide its manufacturing method, and the fuel cell.
燃料電池内の水の汚染による出力の低下が起こりにくく、水系統の配管も複雑とならず、燃料電池の低廉化が可能な燃料電池用拡散層、燃料電池用拡散層の製造方法及び燃料電池を提供する。 - 特許庁 - To provide a woven or knitted fabric in a multilayer-structure having excellent water absorption and diffusion evaporative property, rapidly absorbing perspired sweat, contacted water and fed water and enabling the water to be dried in a short time, to provide a method for producing the woven or knitted fabric, and to provide a fiber product.
多量に発汗した汗や接触した水分、供給される水分を速やかに吸収し短時間で乾燥が可能な、吸水性と拡散蒸発性に優れる多層構造織編物およびその製造方法および繊維製品を提供する。 - 特許庁 - To provide an ink set, which can obtain a high quality image by controlling the penetration/diffusion of a vehicular component into a recording medium and consequently bleeding and, at the same time, the clogging of nozzles can be prevented from developing, and an inkjet recording method employing the ink set.
ビヒクル成分の記録媒体への浸透・拡散を制御し、滲みを抑制することで、高品質の画像を得ることができると共に、ノズル詰まりを防止することの可能なインクセット、及び該インクセットを用いたインクジェット記録方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide a target assembly in which the crystal structure and crystal orientation properties of a target material are maintained, also, the strength of a backing plate is secured even after diffusion joining, and the deformation of the taraget material and the backing plate is not generated, and to provide its producing method.
拡散接合後でも、ターゲット材の結晶組織、結晶配向性が維持され且つバッキングプレート材の強度が確保されており、そしてターゲット材及びバッキングプレート材の変形が生じていないターゲット組立て体、及びその製造方法の提供。 - 特許庁 - To provide a sputtering target assembly the crystal structure and crystal orientation properties of a target material are maintained, also, the strength of a backing plate is secured, even after diffusion joining, and the deformation of the target material and the backing plate material is not generated, and to provided its producing method.
拡散接合後でも、ターゲット材の結晶組織、結晶配向性が維持され且つバッキングプレート材の強度が確保されており、そしてターゲット材及びバッキングプレート材の変形が生じていないスパッタリングターゲット組立て体、及びその製造方法の提供。 - 特許庁 - To provide a method for producing an Ni-Ti based shape memory alloy by continuously producing an Ni-Ti laminated metallic strip with a desired shape in industrially, sufficiently practicable technical ranges, i.e., at ordinary temperature and low rolling ratio and performing heating diffusion treatment.
工業的に十分実用可能な技術の範囲で、即ち、常温において低い圧延率で所望の形状をもったNi-Ti積層金属帯を連続生産し、加熱拡散処理を施してNi-Ti系の形状記憶合金を製造する方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a planographic printing plate of a silver complex diffusion and transfer method having excellent printing resistance, especially excellent joining properties of aluminum and silver, free from image skipping due to the peeling of a silver image and free from image deterioration (having high cleaner resistance) even by sweeping and wiping treatment using an acid cleaner liquid and the like.
耐刷、特にアルミニウムと銀との接合性に優れ、銀画像の剥離による画像の飛びが無く、また酸性クリーナー液等による払い拭き処理によっても画像劣化の無い（クリーナー耐性が高い）銀錯塩拡散転写法の平版印刷版を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for preventing the stain of a print and the lowering of the ink receptivity of an image area due to flaws by flawing in handling during the operation from the reproduction process of a planographic printing plate utilizing a silver complex salt diffusion transfer process after development to a printing step.
銀錯塩拡散転写法を利用した平版印刷版の現像槽後の製版処理から印刷工程に至るまでの作業で、取扱中にキズに入るキズによる印刷物の汚れや画像部のインキのり低下を防止する方法を提供するものである。 - 特許庁 - To provide a soldering method of an electronic component to a terminal fitting, capable of preventing solder from adhering to the terminal fitting in an icicle-like form, preventing diffusion of flux into a molten solder bath, and preventing a liquid surface of molten solder from contacting an unintended part.
端子金具にツララ状にはんだが付着することを防止でき、溶融はんだ槽へのフラックスの拡散を防止することができ、意図せぬ部分に溶融はんだの液面が接触することを防止する電子部品の端子金具へのはんだ付け方法の提供。 - 特許庁 - To obtain a method of measuring the film thickness of the surface layer of an electrophotographic photoreceptor which is unaffected by the light diffusion of fillers, suitable for measurement of a layer to be measured smaller in light absorption quantity and capable of measuring the film thickness of the surface layer even in a laminated state.
電子写真感光体における表面層の膜厚測定方法において、フィラーの光拡散の影響を受けず、吸光量が少ない被測定層の測定にも適し、更に積層状態でも表面層の膜厚測定が可能な測定方法を得る。 - 特許庁 - A method for manufacturing the semiconductor device comprises a step of forming an epitaxial layer 35a as a base layer of the bipolar transistor, in a state in which a gate electrode 31 of the insulated gate field effect transistor having at least a compound film of a high melting point metal is covered with a diffusion preventive film 57 of the high melting point metal.
高融点金属の化合物膜を少なくとも含む絶縁ゲート型電界効果トランジスタのゲート電極３１を高融点金属の拡散防止膜５７で覆った状態で、バイポーラトランジスタのベース層としてのエピタキシャル層３５ａを形成する。 - 特許庁 - To provide a coral-breeding method by which planulae incapable of contributing to the breeding of coral due to the advection and diffusion of the planulae to an offshore and a land can effectively be used to imbed at a high imbedding rate and simply realize the breeding of the coral at a low cost.
沖合や陸地に移流・拡散してしまい、サンゴの増殖に寄与し得ないプラヌラ幼生の有効利用を図り、高い着生率で着生し得るとともに、簡易かつ低コストでサンゴの増殖を実現し得るサンゴの増殖方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method of a light guide plate for a backlight unit which can promote uniformization of luminance over the entire surface of the light guide plate itself, and which can exhibit function thereof while ensuring sufficient light transmissiveness for a diffusion sheet arranged on the light guide plate.
導光板自体の全面に亘る輝度の均一化を促進でき、かつ導光板上に配置される拡散シートに十分な光透過性を確保しつつその機能を発生させることのできるバックライトユニット用導光板の製造方法等を提供する。 - 特許庁 - To provide a panel for a sound-proof wall and its attaching method which can be easily installed from a track side or a road side without assembling a scaffold even when an attaching place is in a high place, preventing noise or having an effect on diffusion of noise, and preventing flaking of chips.
取付場所が高所であっても足場を組まずに、軌道側あるいは道路側から容易に設置でき、騒音の防止ないしは拡散に効果があり、小片の剥落の生じる恐れのない防音壁用パネルおよびその取付方法を提供する。 - 特許庁 - In the manufacturing method of the gas diffusion layer electrode base material for the polymer electrolyte fuel cell, a paper-shaped body including carbon short fiber is impregnated with carbon precursor resin to harden it, through-holes with different densities and/or pore sizes in the plane direction are opened on it, and later, it is carbonized.
炭素短繊維を含む紙状体に炭素前駆体樹脂を含浸して硬化し、密度及び／又は孔径が面方向に異なる貫通孔を開け、その後に炭素化する高分子電解質型燃料電池用ガス拡散層電極基材の製造方法。 - 特許庁 - A method of manufacturing a solar cell is characterized in that an insulating film is formed on the surface of a silicon substrate, a plurality of holes are formed in the surface of the insulating film by a wet etching and then, a diffusion layer is formed in the surface of the silicon substrate via these holes.
シリコン基板の表面に絶縁膜を形成し、ウェットエッチングにより絶縁膜の表面に複数の穴を形成し、次いで、それらの穴を介してシリコン基板の表面に拡散層を形成することを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 特許庁 - To provide a solid high polymer type fuel cell with a separator, in which the separator can be brought into electrical contact with diffusion layers very satisfactorily without application of high pressure and no dispersion or aging effects in contact resistance occurs, and provide a method for fabricating the separator.
高い圧力を加えることなくセパレータと拡散層とを電気的に極めて好適に接触させ、接触抵抗のばらつきや経時変化が生じないセパレータを備えた固体高分子型燃料電池と同セパレータの製造方法を提供する。 - 特許庁 - A semiconductor device is one constituted by connecting a semiconductor element 1 to a wiring board 3 by a flip-chip bonding method and the joint of a cap 5 provided on the board 3 with the rear of the surface of the element 1 provided with an active layer, is conducted through a metal solid phase diffusion joint layer 91.
半導体装置は、半導体素子１と配線板３をフリップチップ接続したもので、配線板３に設けたキャップ５と半導体素子の能動層を設けた面の裏面との接合が、金属の固相拡散接合層９１で行われている。 - 特許庁 - As an example of application, the method is used in microelectronics, micro technology, or the like, in all the manufacturing methods, including formation of an air gap, particularly decomposition of a sacrificial material by the diffusion of the chemical substance, through a film which permeates the chemical substance for manufacturing air gap interconnection of an integrated circuit.
応用例：エアギャップの形成、特に集積回路のエアギャップ相互接続の製造のための化学物質を透過する膜を通じた化学物質の拡散による犠牲材料の分解を含む全ての製造方法におけるマイクロエレクトロニクス及びマイクロテクノロジー。 - 特許庁 - To provide the fume-controlling method for a building that prevents the burning of a fume fan while utilizing a function for maintaining a machine fume function in a disaster-stricken and fire-prevention section and at the same time prevents the diffusion of smoke, and achieving fire-fighting team activity support.
被災防火区画における機械排煙機能を長期間維持可能にするという機能を生かしながら、排煙ファンの焼付きを防止すると共に煙拡散の防止と消防隊活動支援を可能にする建物の排煙制御方法を提供する。 - 特許庁 - M-value image data are quantized into N(M>N>2)-value data by using a multi-valued error diffusion processing or a multi-valued least mean error method, and the image data are outputted by an output apparatus capable of outputting the three or more number of gradation on the basis of the quantized data.
Ｍ値画像データを、多値誤差拡散処理または多値平均誤差最小法を用いてＮ（Ｍ＞Ｎ＞２）値に量子化し、その量子化したデータに基づいて、３値以上の階調数を出力可能な出力装置によって画像データを出力する。 - 特許庁 - To provide a method for generating a charged particle beam such as an electron beam, etc. for focusing the electron beam by suppressing the diffusion of the electron beam due to a space charge effect even when an electron density in the electron beam is increased and even when an exposure speed is accelerated, and to provide a charged particle beam device.
電子ビーム中の電子密度を増加させても露光速度を上げても、空間電荷効果による電子ビームの拡散を抑制して電子ビームを集束させる電子ビーム等の荷電粒子線の発生方法および荷電粒子線装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a method and an apparatus for forming a high-quality, stable, and low-resistance (high concentration) p-type semiconductor layer, having a sheet resistance of 25 Ω/(square) or lower, by conducting a thermal diffusion of arsenic which is consistent in a silicon wafer or in a lot, using a high purity BBr_3 liquid source.
高純度のBBr_3液体ソースを用い、シリコン基板内やロット内でのバラツキを抑制した硼素の熱拡散を行い高品質且つ安定で、シート抵抗が25Ω/□を下回る低抵抗(高濃度)のp型半導体層を形成する方法および装置を提供する。 - 特許庁 - In quantization processing by error diffusion method, an error buffer is initialized by the same width as that of right and left blank pixels included in input raster data in order to prevent image quality at the upper end of the image from deteriorating due to the error from above through the partial blank.
誤差拡散法による量子化処理において、部分的な空白を挟んだ上方からの誤差による画像上端の画質低下を防ぐために、入力ラスタデータに含まれる左右の空白ピクセルと同じ幅だけ上記誤差バッファを初期化する。 - 特許庁 - To provide a dross covering member, by which a rod is not distorted by the high-pressure injection pressure of solidifying-material slurry, the underwater diffusion of dross is prevented and the solidifying-material slurry is not diluted when dross deposited on the bottom of the water is solidified and treated by a high-pressure jet mixing method.
水底に堆積する浮泥を高圧噴射攪拌工法で固化処理する際に、固化材スラリの高圧噴射圧によりロッドがしなることがなく、浮泥の水中拡散を防止し、そして、固化材スラリが希釈されることのない浮泥覆い部材を提供する。 - 特許庁 - The surface cloth as a diffusion reflection layer is woven in the thickness of 150-200μm, for instance, by the density of about 100 threads/inch by using a thread where titanium oxide, a white pigment or a fluorescent dye are mixed, and surface roughness (SMD) by a KES method is set, for instance, 0.4-0.5 micron.
拡散反射層としての表地は、酸化チタン、白色顔料または蛍光染料を練り込んだ糸を用い、例えば、約１００本／インチの密度で１５０〜２００μｍの厚みに製織したものであり、KES法による表面粗さ(SMD)が例えば０．４〜０．５micronである。 - 特許庁 - To provide a light emitting device in which the color tone unevenness of light to emit is decreased without using a light diffusion material entirely, thereby an emission efficiency is markedly improved than that of a conventional one, and a facility space and a facility cost are alleviated, and also to provide a method of manufacturing the same.
発する光の色調ムラを、光拡散材を一切使わないで低減することによって発光効率を従来よりも格段に向上させ、設備空間及び設備費用の軽減された発光装置及びその製造方法を提供する。 - 特許庁 - To enable a void shape analysis to be applied to the reserve part of a (W) plug-attached Al alloy wiring, based on current heat transfer analysis and diffusion analysis of atoms in a crystal grain structure, in an analysis method of wiring faults accompanied with a form change in a wiring.
電流伝熱解析と結晶粒組織中の原子の拡散の解析から、配線の形状変化を伴う配線故障解析方法において、タングステン（W)プラグ付きAl合金配線のリザーバー部にもボイドの形状解析を適用できるようにすること。 - 特許庁 - Next, the piezoelectric layer is formed on the upper face of the anti-diffusion layer formed with the lower electrode by the AD method (S106), and successively the piezoelectric layer is heated at 850°C, thereby performing an annealing processing which grows a crystal of a piezoelectric material constituting the piezoelectric layer (S107).
次に、下部電極が形成された拡散防止層の上面にＡＤ法により圧電層を形成し（Ｓ１０６）、続いて、圧電層を８５０℃で加熱することにより、圧電層を構成する圧電材料の結晶を成長させるアニール処理を行う（Ｓ１０７）。 - 特許庁 - To provide a semiconductor device which can suitably be used as a semiconductor chip to be mounted on an MCP, suppresses diffusion of heavy metal from the backside of the semiconductor device to nearby an element active area, and has high mechanical strength; and to provide a manufacturing method thereof.
ＭＣＰに搭載される半導体チップとして好適に使用でき、半導体装置の裏面から素子活性領域の近傍への重金属の拡散を抑制し、且つ高い機械的強度を有する半導体装置、及び、その製造方法を提供する。 - 特許庁 - The method for making a planographic printing plate is carried out by exposing a photographic material having a silver halide emulsion layer, developing (without including a process of silver complex salt diffusion transfer development), and then treating with a treating liquid containing a pyridine-N-oxide compound having a mercapto group in the molecule.
ハロゲン化銀乳剤層を有する写真材料を露光し、現像処理（銀錯塩拡散転写現像を含まない）後、分子中にメルカプト基を有するピリジン−Ｎ−オキシド化合物を含有する処理液で処理する平版印刷版の作成方法。 - 特許庁 - To provide a membrane separation activated sludge processing apparatus and a membrane surface washing method of the membrane separation activated sludge processing apparatus which does not require complicated operation management, makes such highly efficient membrane surface washing as to hardly cause membrane surface blocking possible and does not accompany air diffusion of excessive air amount.
複雑な運転管理を必要とせず、膜面閉塞の少ない高効率な膜面洗浄を行うことができると共に、過大な空気量の散気を伴わない省コストな膜分離活性汚泥装置及びその膜面洗浄方法を提供する。 - 特許庁 - In the processing method for the optical recording medium, the recording layer with recorded information of the optical recording medium having at least the recording layer wherein the information is recorded by using holography is irradiated with processing light passed through a light diffusion member of 70 to 100% in haze value.
ホログラフィを利用して情報を記録する記録層を少なくとも有する光記録媒体の情報を記録した該記録層に対し、曇価が７０〜１００％である光拡散部材を通した処理光を照射する光記録媒体の処理方法である。 - 特許庁 - A rear projection display device is constituted of a projection type screen consisting of a Fresnel lens for converging light by total reflection or a method mixing both of total reflection and refraction and translucent diffusion plate as the minimum number of constitutional elements and a projector.
全反射あるいは全反射と屈折両方を混在させた方式で光線を集光するフレネルレンズと、透過型拡散板とを最低構成要素とする投写型スクリーンとプロジェクタからなる事を特徴とする背面投写型ディスプレイ装置である。 - 特許庁 - To provide such a field-effect transistor having an active layer composed of an oxide semiconductor that is capable of suppressing diffusion of electrode material into the active layer, achieving low electric resistance of the electrode material, and reducing damage to the active layer, and to provide a method of manufacturing the field-effect transistor.
活性層中への電極材の拡散の抑制、電極材の低電気抵抗化、さらには活性層へのダメージ低減を図ることができる、酸化物半導体からなる活性層を有する電界効果型トランジスタ及びその製造方法を提供すること。 - 特許庁 - A functional fabric comprises a water absorbing processing agent and a water repellent processing agent applied to one surface of a fiber fabric, and the surface applied with these processing agents has a water absorption performance (measured by a dropping method according to JIS L 1097) of 5 to 30 seconds and a water absorption diffusion ratio of 1:1 to 1:3.
繊維布帛の同一面に、吸水性加工剤と撥水性加工剤を付与させてなり、該加工剤が付与されている面の吸水性能（ＪＩＳ Ｌ １０９７ 滴下法）が５〜３０秒であり、吸水拡散比率が１：１〜１：３である機能性布帛。 - 特許庁 - To provide an underground water drainage structure which is cost effective both in terms of construction and maintenance and makes efficient water collection and drainage possible even when an ambient underground water level is low in an original position confinement construction method for surely preventing the diffusion of polluted soil.
汚染土壌の拡散を確実に防止するための原位置封じ込め工法において、施工面、維持管理面の両者において経済的であり、周辺地下水位が低い場合でも効率的な集排水が可能な地下水集排水構造を提供する。 - 特許庁 - To provide a method and a device where, in the case a semiconductor wafer or the like is plated with a metal film, for the purpose of solving the problem that ununiform electrodeposition occurs by the diffusion of plating current and the ununiformity of a fluid distribution, an electric field distribution and a fluid flow are controlled.
半導体ウェーハなどに金属フィルムをメッキする場合、メッキ電流の拡散や、流体分布の不均一によって、不均一な電着を生じる問題を解決するために、電界分布や流体フローを制御する方法および装置を提供する。 - 特許庁
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