「Pattern Accuracy」を含む例文一覧(1788)
＜前へ 1 2 .... 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 次へ＞- To form an original die for barrier rib transfer having a barrier rib pattern with side walls suitably tapered with stable high accuracy by the use of a photosensitive material and by applying exposure light from an oblique direction through a photomask to the photosensitive material.
感光性材料を用いて、その感光性材料にフォトマスクを介して斜め方向から露光光を照射することにより、側壁に適切なテーパの付いた隔壁パターンを有する隔壁転写用元型を安定した高い精度で形成する。 - 特許庁 - To provide a multilayer wiring board which can prevent occurrence of cracks at edges of a wiring layer and excels in dimensional accuracy even when a laminate having a wiring pattern with a high area ratio relative to that of a green sheet is used, and to provide a method for manufacturing the same.
グリーンシートの面積に対して面積割合の高い配線パターンを有している積層体を適用しても、配線層の端部のクラックの発生を防止できるとともに、寸法精度の高い多層配線基板とその製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a probe card production method improving the positioning accuracy of probe units having a contact probe formed on a substrate in a process of forming the probe units on a wiring substrate in accordance with an arrangement pattern of an electric circuit on an inspection substrate.
コンタクトプローブが基板上に形成されたプローブユニットを検査基板上の電子回路の配置態様に合わせて配線基板上に形成する際のプローブユニット間の位置精度を向上させることができるプローブカードの製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a biometric authentication unit in which deterioration of authentication accuracy is sufficiently suppressed by detecting a placement state of a finger of an authentication object person on a placement base and performing personal authentication by a finger vein pattern using the detected placement state of the finger.
載置台における認証対象者の指の載置状態を検知し、ここで検知した指の載置状態を用いて、指静脈パターンによる本人認証を行うことで、認証精度の低下を十分に抑えた生体認証ユニットを提供する。 - 特許庁 - According to the method of manufacturing the surface acoustic wave element 22, the electrode pattern 20 having a high size accuracy is easily manufactured, compared with the conventional manufacturing method needing a deposition processing of an antireflective film, taking a much labor and time.
すなわち、この弾性表面波素子２２の製造方法によれば、多大な手間と時間を要する反射防止膜の成膜処理が必要な従来の製造方法に比べて、寸法精度の高い電極パターン２０を容易に作製することができる。 - 特許庁 - To provide a mask for vapor deposition, which can cope with highly precise patterning by correcting nonuniformity such as a temperature change and a temperature distribution due to an effect of radiant heat, in order to remove the adverse effect of the radiant heat on pattern location accuracy.
蒸着用マスクにおいて、輻射熱によるパターン位置精度に対する悪影響を極力排除すべく、その輻射熱の影響による温度変化や温度分布等の不均一化を是正して、高精度なパターニングに対応することを可能にする。 - 特許庁 - To provide a frame of a new structure which is capable of connecting and decorating a plurality of photos or the like in an optional pattern with a high flexibility, and sufficiently securing the mutual positioning accuracy and connecting strength when being connected to each other.
複数の写真等を大きな自由度をもって任意のパターンで連結して飾ることが出来ると共に、連結時の相互の位置決め精度や連結強度も十分に確保することが出来る、新規な構造の額縁を提供することを、目的とする。 - 特許庁 - To provide an electron beam exposure apparatus for applying electron beam scanning onto a wafer to detect a positioning mark and determining a proper scanning condition of the electron beam for generating a pattern of elements in the vicinity of the positioning mark with high accuracy.
電子ビームをウエハ上で走査し、位置合わせマークを検出する電子線露光装置において、位置合わせマーク近傍の素子のパターンを高精度に作成するための電子ビームの適切な走査条件を決定する電子線露光装置を得ること。 - 特許庁 - To provide an inspection apparatus capable of improving measuring accuracy by reducing the effects of parasitic capacitance caused by probes and a wiring pattern connected to the probes when electric characteristics of a capacitance detection type gyro sensor is inspected.
静電容量検出方式のジャイロセンサの電気的特性を検査するに際し、プローブおよびプローブに接続された配線パターンによって生じる寄生容量の影響を低減し、測定精度を向上させることができる検査装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a portable information terminal which estimates the time when a user enters an out-of-service area , on the basis of a daily behavior pattern of the user and accesses a web, thereby enhancing the accuracy of detecting an access to the out-of-service area without frequent web access.
ユーザの日々の行動パターンに基づいて圏外への接近時間を予測してウェブアクセスを行うことにより、頻繁にウェブアクセスを行うことがなく、圏外への接近の検出精度を高めることが可能な携帯情報端末を提供する。 - 特許庁 - To provide an alignment control system for members capable of performing high-accuracy pattern matching, even if a camera recognizes the mark images attached to both members is placed at any position and at any angle, and acquiring and transmitting their positional relation to an assembling device.
どのような位置・角度に置かれたカメラで両部材に付されたマークを画像認識しても、高精度なパターンマッチングを行ってその位置関係を把握して組立装置に伝達することができる部材同士の位置合わせ制御システムを提供する。 - 特許庁 - To provide a method of generating an exposure pattern that reduces the total number of drawing figures by changing a rectangles containing transverse lines to a one containing no transverse lines in consideration of an angle and a width through the use of two parameters to improve throughput while maintaining accuracy.
２つのパラメータで角度、幅を配慮して、斜め線を含む矩形を斜め線を含まない矩形に変更することで総描画図形数を減らし、精度を保持したままスループットを向上させる露光パターン生成方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a radiation sensitive resin composition capable of forming a chemically amplified resist film which effectively responds to electron beams or extreme ultraviolet rays and has excellent nano edge roughness, sensitivity, and resolution to stably produce a fine pattern with a high degree of accuracy.
電子線や極紫外線に有効に感応し、ナノエッジラフネス、感度及び解像度に優れ、微細パターンを高精度に且つ安定して形成可能な化学増幅型レジスト膜を成膜することができる感放射線性組成物を提供する。 - 特許庁 - To provide an automatic focusing system having a quick control function capable of determining a focusing position from the image information of a sheet of frame, and capable of surely focusing with high accuracy even to a horizontal pattern image.
本発明の課題は、１枚のフレーム画像情報から合焦位置を割り出すことができる迅速な制御機能と、水平方向のパターン画像においても確実に合焦動作を精度よく行なうことが出来る自動焦点システムを提供することにある。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method of a multilayer wiring board with built-in capacitor improved in the accuracy of the capacitance of a capacitor by preventing a pattern form of a dielectric material in a manufacturing method of a multilayer wiring board with built-in capacitor.
キャパシタ内蔵多層配線基板の製造方法において、誘電材のパターン形状のバラツキを防止させ、膜厚精度を向上させて、キャパシタ容量の精度を向上させた、キャパシタ内蔵多層配線基板の製造方法を提供することにある。 - 特許庁 - To provide a reflective mask blank having uniform thickness and high flatness when mounted as a reflective mask on an electrostatic chuck of an exposure apparatus, and capable of achieving high pattern transfer accuracy.
本発明は、その厚みが均一であり、反射型マスクとされた際に露光装置の静電チャックへ装着した場合の平坦性が高く、高いパターン転写精度を実現することが可能な反射型マスクブランクスを提供することを主目的とする。 - 特許庁 - To provide an image forming device which detects the concentration distribution of a test pattern with high sensitivity by using a reflection-type optical sensor of a simple configuration, and corrects an image forming position of a recording head with high accuracy, and to provide a method of correcting the image forming position.
簡易な構成の反射型の光学センサを用いてテストパターンの濃度分布を高感度で検出し、記録ヘッドの画像形成位置を高い精度で補正することができる画像形成装置と画像形成位置の補正方法とを提供する。 - 特許庁 - The sealing portion 16 is segmented by the auxiliary pattern 39 before the adhesive is cured, and the large glass substrates can be cut along the scheduled cutting line by using a conventional cutting device without using a new high accuracy cutting device such as a laser cutting device.
補助パターン39によってシール部16を接着剤の硬化前に分断し、レーザによる割断装置などの高精度の新たな割断設備を用いることなく従来の割断装置を用いて割断予定線に沿って大判ガラス基板を割断できる。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method of a silicone device, which is capable of highly accurately forming a thin film pattern on a silicone substrate, and a manufacturing method of an ink jet recording head, which is capable of forming a piezo-electric element consisting of thin films with high density and high accuracy.
シリコン基板上に薄膜パターンを高精度に形成することができるシリコンデバイスの製造方法及び薄膜からなる圧電素子を高密度且つ高精度に形成することのできるインクジェット式記録ヘッドの製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a work chuck, a work holding method and an exposure apparatus for preventing color irregularity or the like in an exposure pattern of a color filter and achieving exposure with high accuracy and high throughput even when the size of a work for multi-face exposure of the color filter is increased.
カラーフィルタの多面取り露光等ワークが大型化した状態においも、カラーフィルタの露光パターンにおける色むら等を防止して、高精度、高スループットの露光を達成するためのワークチャック、ワーク保持方法及び露光装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a resin composition for positive photoresist, in which a polymer itself can be solubilized upon irradiation with light, even if the polymer has an adamantane skeleton, and which has high etching resistance (in particular, high dry etching resistance) and can form a fine pattern, using a simple composition with high accuracy.
アダマンタン骨格を有していても、光照射によりポリマーそのものを可溶化でき、耐エッチング性（特に耐ドライエッチング性）が高く、簡単な組成で微細なパターンを高い精度で形成できるポジ型フォトレジスト用樹脂組成物を提供する。 - 特許庁 - To provide an epoxy resin composition capable of being utilized for an electronic circuit part and a substrate without generating the deterioration of molding property caused by a reduction of its flowing property, capable of transcribing a circuit pattern formed by a stamper in a good accuracy and capable of being extrusion molded.
流動性低下による成形性悪化を起こすことなく、電子回路部品および基盤用途に利用可能で、スタンパーに形成した回路パターンを精度よく転写することが可能な射出成形可能なエポキシ樹脂組成物を提供する。 - 特許庁 - To provide a control method and a control device for an electric motor for realizing high positioning accuracy by reducing generating vibration since rigidity of a control object is low, and securing vibration damping performance without depending on a characteristic of a command pattern and the control object.
制御対象の剛性が低いため発生する振動を低減し、指令パターン及び制御対象の特性に依らず制振性能を確保し、高い位置決め精度を実現する電動機の制御方法及び制御装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a stencil mask in which the transfer of a defect of the stencil mask to a material to be exposed is reduced and the positional accuracy of a circuit pattern to be transferred to the material to be exposed can be improved, and to provide a method of exposing and a method for manufacturing a semiconductor device.
ステンシルマスクの欠陥が被露光体へ転写されるのを低減し、かつ、被露光体へ転写される回路パターンの位置精度を向上させることができるステンシルマスク、露光方法、および半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a photosensitive paste composition from which a barrier rib pattern having high resolution and high accuracy by exposure to light only once can be prepared, while using an organic component which is not harmful to the human body, is inexpensive, is generally easily obtained, and succumbs readily to thermal decomposition.
人体に無害であり、コストが低く、容易に購入でき、熱分解特性にも優れた有機成分を使用しながら、１回の露光で高解像度及び高精度のバリアリブパターンを製造できる感光性ペースト組成物を提供する。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method of a stamper and a master for magnetic transfer for improving releasability and pattern accuracy compatibly and to provide the stamper and the master for magnetic transfer manufactured by the manufacturing method.
本発明は、剥離性の向上とパターン精度の向上を両立することができるスタンパおよび磁気転写用マスターの製造方法と、この製造方法を用いて製造されるスタンパおよび磁気転写用マスターを提供することを課題とする。 - 特許庁 - To provide a stable self alignment type phase shift mask which can prevent deterioration in transfer accuracy caused by multiple reflection on a wafer surface and a light shielding pattern surface, which has excellent phase shift mask characteristics, and which requires a short manufacturing process, and to provide a method for manufacturing the mask.
ウェハー面と遮光パターン表面で多重反射による転写精度の劣化を防止し、位相シフトマスク特性に優れ、製造工程が短く、安定した自己整合型位相シフトマスク及びその製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a mask assembly capable of improving vapor deposition accuracy by preventing its pattern from deforming due to the weight of a substrate during a deposition process, and to provide a vapor deposition apparatus for a flat panel display device using the assembly.
蒸着工程時基板の重量によりマスク組立体のパターンが変形されることを防止して、蒸着精密度を向上させることができるマスク組立体及びこれを利用した平板表示装置用蒸着装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a high-accuracy, short-time, low-environmental-load and economical circuit board manufacturing method in forming a pattern of a wiring circuit provided in a circuit board regarding a circuit board manufacturing method for an electronic tag or the like.
本発明の課題とするところは電子タグ等の回路基板の製造方法において、回路基板が備える配線回路のパターンの形成に当たり、高精度、短時間、低環境負荷かつ経済的な回路基板の製造方法を提供することである。 - 特許庁 - To provide an ultrasonic development processing method allowing development in low impact, and capable of achieving reduction of a development time and improvement of development accuracy, and achieving improvement of a removal effect of scum remaining in a circuit pattern part; and a device therefor.
低インパクトでの現像を可能にすると共に、現像時間の短縮及び現像精度の向上が図れ、かつ、回路パターン部に残渣するスカムの除去効果の向上が図れるようにした超音波現像処理方法及びその装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a circuit board such as an electronic tag capable of forming a wiring circuit pattern for a circuit board with high accuracy, less time, low environmental impact and low cost.
本発明の課題とするところは電子タグ等の回路基板の製造方法において、回路基板が備える配線回路のパターンの形成に当たり、高精度、短時間、低環境負荷かつ経済的な回路基板の製造方法を提供することである。 - 特許庁 - To provide an image forming apparatus which can prevent the deterioration of the detection accuracy of a toner pattern detecting sensor caused by the wave undulation of a transfer belt or the change of a distance between a sensor and a transfer belt, and can stably adjust a color slurring over a long period of time.
転写ベルトの波打ちや、センサと転写ベルトとの距離の変動によるトナーパターン検知センサの検知精度の低下を防止し、長期に渡り安定して色ずれ調整を行うことが可能な画像形成装置を提供する。 - 特許庁 - Thus, stress from squeeze of a seal plate is mitigated, the physical torsion of a mesh constituting the seal plate is reduced as much as possible and the dispersion of the printing accuracy, especially the line width, of the main seal pattern 2 inside the liquid crystal panel is suppressed to be extremely small.
これにより、シール版のスキージからの応力を緩和でき、シール版を構成するメッシュの物理的なねじれが極力少なくなり、液晶パネル内の本シールパターン２の印刷精度、特に線幅のばらつきが非常に小さく抑えられる。 - 特許庁 - To reduce vibration at recording of a servo pattern signal and enhance the positioning accuracy without the need for remarkable revision of a manufacturing process for the STW employing a pre-write system and for increasing the number of the manufacturing processes.
サーボパターン信号の記録時の振動を低減し、位置決め精度の向上を図り、更にプリライト方式を用いたＳＴＷの製造工程を大幅に変更することなく、且つ製造工程を増やすことなくサーボパターン書き込みをすること。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method of a silicone device, which is capable of highly accurately forming a thin film pattern on a silicone substrate, and a manufacturing method of an ink jet recording head, which is capable of forming a piezo-electric element consisting of a thin film with high density and high accuracy.
シリコン基板上に薄膜パターンを高精度に形成することができるシリコンデバイスの製造方法及び薄膜からなる圧電素子を高密度且つ高精度に形成することのできるインクジェット式記録ヘッドの製造方法を提供する。 - 特許庁 - To perform selective growth of a solid on a fine scale of nano meter with high accuracy in a short time, by readily conducting drawing of a high resolution pattern at a high speed and a low cost, when a solid s selectively grown on a substrate surface.
基材上に固体を選択的に成長させる場合のパターンの描画を、高速にかつ高解像度で、また低コストで容易に行い、固体の選択成長をナノメーターの微細なスケールで高精度にかつ短時間で行えるようにする。 - 特許庁 - To provide a method for producing a photo-alignment layer, by which pattern exposure with high accuracy can be easily carried out without depending on a conveying direction of a resin substrate even when an inexpensive and simple apparatus or non-parallel beams are used and a continuously conveyed long resin substrate is used.
安価で簡便な装置や非平行光を用いて、連続搬送する長尺状の樹脂基材を用いても容易に、かつ、搬送方向に囚われずに高精度なパターン状の露光が可能な光配向膜の製造方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide a method for scanning exposure by which multiple exposure can be performed even by means of a step-and-scan projection aligner and the coherence factor and exposure of a lighting system can be adjusted at every focal point needed for optimizing the multiple exposure and, in addition, the accuracy of pattern transfer can be improved.
ステップアンドスキャン方式においても多重露光を行うことができ、且つ多重露光の最適化に必要な焦点位置毎の照明系のコヒーレンシーファクタや露光量の調整を行うことができ、パターン転写精度の向上をはかる。 - 特許庁 - To provide a molding method of moldings such as various optical products by which a high outer shape precision is obtained, a fine pattern can be transferred with high accuracy and molding burrs are not generated by using a preliminary body for molding having a simple shape.
各種光学製品などの成形品を、単純な形状を有する成形予備体を用いて、外観形状精度が高く、かつ微細パターンを高精度に転写しうると共に、成形バリが生じないようにモールド成形する方法を提供する。 - 特許庁 - Therefore, not only positioning of the patterns is avoided, but also accuracy of the pattern and picture quality of a plasma panel are improved, and further, a manufacturing process is simplified and manufacturing efficiency is improved to lower a consumption volume of production materials, investment on devices and production cost.
従って、パターンの位置合わせを避けるだけでなく、パターンの精度、およびプラズマパネルの画質を向上させ、さらに製造工程を簡略化し、製造効率を向上させ、生産材料の消費量、装置の投資および生産コストを低減する。 - 特許庁 - To provide a counterfeit preventing structure which provides: a first region comprising a pattern reflection layer; and a second region comprising a part of a pattern optical layer having an optical effect, with sufficient position accuracy, is high in design, and confirms various changes in the second region with sufficient visibility, and also to provide a method for manufacturing the same.
パターン反射層で構成される第一領域と、光学効果を有するパターン光学層の一部で構成される第二領域とを位置精度良く設けることが可能であり、意匠性が高く、第二領域における種々の変化を視認性良好な状態で確認することができるようにした偽造防止構造体、及びその製造方法の提供を課題とする。 - 特許庁 - In the membrane mask manufacturing method whereby an absorber 14 is formed on a membrane 12, a stress of a lower absorber 14a is adjusted and the thickness of the lower absorber 14a is determined according to a typical pattern size W to reduce the stress distribution in the thickness direction of the absorber 14, thereby obtaining a membrane mask having an absorber pattern formed at a high position accuracy.
メンブレン１２上に吸収体１４を成膜するメンブレンマスクの製造方法において、下部吸収体１４ａの応力を調整し、下部吸収体１４ａの厚さは代表的パターンサイズＷに対応して決定することによって、吸収体１４の厚さ方向の応力分布を小さくし、吸収体パターンが高位置精度のメンブレンマスクを得る。 - 特許庁 - To provide: a new conductive paste for intaglio offset printing, which can form an electrode pattern having a sufficient thickness and which excels in three-dimensional shape accuracy and conductivity on a surface of a substrate by increasing a transfer rate in a first transfer process out of an electrode pattern forming processes using an intaglio offset printing method; and a method of manufacturing an electrode substrate using it.
凹版オフセット印刷法を利用した電極パターンの形成工程のうち、１回目の転写工程での転写率を高めて、基板の表面に、十分な厚みを有し、三次元の形状精度と導電性に優れた電極パターンを形成することができる、新規な凹版オフセット印刷用導電ペーストと、それを用いた電極基板の製造方法とを提供する。 - 特許庁 - To form a very fine mesh pattern with high accuracy and to easily manufacture an electromagnetic shielding light transmitting window material with a conductive mesh pattern 5 excellent in durability and adhesion to a transparent board 1 having a numerical aperture of 75% or above.
透明基板上に、溶剤に対して可溶な物質によってパターンを形成した後、該溶剤に対して不溶な導電材料よりなる導電層を形成し、次いで、該溶剤により、該パターン及び該パターン上の導電層を除去して導電性パターンを形成する電磁波シールド性光透過窓材の製造方法において、透明基板への導電性パターンの密着耐久性を高める。 - 特許庁 - This method fetches an image about a check object having a regularly linear pattern by an image pickup device, applies differential processing to the fetched gradation image to detect a defective candidate, cuts out the original image of the defective candidate part, performs labeling processing of the cut out image, performs redecision according to the characteristic of the pattern and classifies and detects the defect and the type of the defect with high accuracy.
規則的な直線状パターンを持つ検査対象についてその画像を撮像素子にて取り込み、取り込んだ濃淡画像に対して差分処理を行って欠陥候補を検出し、欠陥候補部分の原画像を切り出し、切り出した画像のラベリング処理を行い、そのパターンの特徴によって再判定を行い、欠陥を精度良くかつ欠陥の種類を分別して検出する。 - 特許庁 - Surprisingly, when forming a titanium compressor impeller using the hybrid or two-step process, the technical complexity of each step (pattern forming and machining) is substantially lower, distortion of the wax blades during pattern casting is reduced, casting of titanium is simplified, the process allows itself to be fully automated, and the dimensional accuracy of the final product is greater than with conventional techniques.
意外にも、ハイブリッドまたは２段階法を使用してチタン圧縮機翼車１を形成すると、各ステップ（パターン形成および切削）の技術的複雑性は実質的に低く、パターン鋳造中のワックスブレードのねじれは減少し、チタンの鋳造は簡単になり、方法自体を完全自動化することができ、最終製品の寸法精度は従来の技法よりも高くなる。 - 特許庁 - To provide a recorder capable of acquiring a recording position adjusting value without bothering a user by reading out a recording position adjusting pattern recorded on a recording medium and capable of optimally adjusting the recording position by reading out the recording position adjusting pattern with high accuracy, and to provide a method for setting the recording position adjusting value and a recording method.
記録媒体に記録した記録位置調整用パターンを読み取ることによって、ユーザを煩わすことなく、記録位置を調整するための調整値を取得することができ、しかも記録位置調整用パターンを高精度に読み取って、記録位置を最適に調整することができる記録装置、記録位置調整値の設定方法、および記録方法を提供すること。 - 特許庁 - Since a patterned light blocking film 102 is formed on the rear side of a substrate 101 and used as a photomask for forming a pattern of the gate electrode 103 and a pattern of the source and drain electrodes 108 on the front side of the substrate, the number of photomasks is reduced, and self-alignment between the gate electrode and the source and drain electrodes is carried out, thereby improving the alignment accuracy of these electrodes.
パターニングされた遮光膜１０２を基板１０１裏面側に形成し、基板表面側に形成されるゲート電極１０３およびソース・ドレイン電極１０８のパターン形成用のフォトマスクとして共用することにより、フォトマスク数が低減されると共に、ゲート電極とソース・ドレイン電極の位置合わせが自己整合的に行われるため互いの合わせ精度が向上する。 - 特許庁 - To provide a multilayer ceramic substrate, wherein when a resistor film and a conductive film are formed along an interface between identical ceramic layers in a state that the resistor film and the conductive film come into contact with each other, an excellent pattern accuracy can be obtained in both of the resistor film and the conductive film.
多層セラミック基板において、抵抗体膜および導体膜が互いに接触した状態で同じセラミック層間の界面に沿って形成される場合、これら抵抗体膜および導体膜のいずれについても、優れたパターン精度が得られるようにする。 - 特許庁 - To provide a landing pattern adjusting apparatus and a cathode-ray tube manufacturing method, which can eliminate correcting magnets in the rear side of the cathode-ray tube, at the same time, can correct landing with excellent accuracy and can simplify the landing correction process when manufacturing the cathode-ray tube.
陰極線管の裏面側に貼着する補正用磁石を削除すると共に、ランディングを精度よく補正でき、陰極線管の製造時のランディング補正工程が容易なランディングパターン調整装置及びそれを用いた陰極線管製造方法とする。 - 特許庁
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