METHOD FOR FORMING PHASESHIFT MASK 位相シフトマスクの形成方法 - 特許庁
MANUFACTURING METHOD OF PHASESHIFT MASK 位相シフトマスクの製造方法 - 特許庁
METHOD FOR FABRICATING PHASESHIFT MASK, AND PHASESHIFT MASK 位相シフトマスクを製作するための方法および位相シフトマスク - 特許庁
HALFTONE-PHASE SHIFT MASK BLANK AND THE HALFTONE-PHASE SHIFT MASK ハーフトーン型位相シフトマスクブランク及びハーフトーン型位相シフトマスク - 特許庁
PHASESHIFT MASK BLANK, PHASESHIFT MASK AND METHOD FOR PRODUCING THESE 位相シフトマスクブランク、位相シフトマスク及びこれらの製造方法 - 特許庁
CHROMELESS PHASESHIFT MASK AND METHOD FOR PRODUCING CHROMELESS PHASESHIFT MASK クロムレス位相シフトマスク及びクロムレス位相シフトマスクの製造方法 - 特許庁
METHOD FOR DESIGNING PHASESHIFT MASK 位相シフトマスクの設計方法 - 特許庁
PHASESHIFT MASK, METHOD FOR MANUFACTURING PHASESHIFT MASK AND EXPOSURE METHOD 位相シフトマスク、位相シフトマスクの製造方法及び露光方法 - 特許庁
To provide a phaseshift oscillation circuit that can arbitrarily shift a phase. 発振回路において、任意に位相シフトできるようにする。 - 特許庁
METHOD OF REPAIRING PHASESHIFT MASK 位相シフトマスクの修理方法 - 特許庁
PHASESHIFT MASK BLANK, PHASESHIFT MASK AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME 位相シフトマスクブランク、位相シフトマスク及びこれらの製造方法 - 特許庁
PHASESHIFT MASK BLANK, PHASESHIFT MASK AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME 位相シフトマスクブランク、位相シフトマスク及びこれらの製造方法 - 特許庁
METHOD FOR INSPECTION OF PHASESHIFT MASK 位相シフトマスクの検査方法 - 特許庁
HALF TONE TYPE PHASESHIFT MASK BLANK AND HALF TONE TYPE PHASESHIFT MASK ハーフトーン型位相シフトマスクブランク及びハーフトーン型位相シフトマスク - 特許庁
METHOD FOR DESIGNING AND MANUFACTURING PHASESHIFT MASK, AND APPARATUS FOR DESIGNING THE PHASESHIFT MASK 位相シフトマスクの設計方法/製造方法/設計装置 - 特許庁
PHASESHIFT MASK BLANK AND HALF TONE TYPE PHASESHIFT MASK BLANK, PHASESHIFT MASK AND PATTERN TRANSFERRING METHOD 位相シフトマスクブランク、及びハーフトーン型位相シフトマスクブランクと、位相シフトマスク、及びパターン転写方法 - 特許庁
PHASESHIFT MASK, METHOD OF MANUFACTURING THE PHASESHIFT MASK, AND EXPOSURE METHOD USING THE PHASESHIFT MASK 位相シフトマスク、その位相シフトマスクの製造方法およびその位相シフトマスクを用いた露光方法 - 特許庁
PHASESHIFT GRATING FOR PHASESHIFT DIFFERENTIAL PUSH-PULL TRACKING 位相シフト差動プッシュプル・トラッキングのための位相シフト回折格子 - 特許庁
PHASESHIFT MASK BLANK, PHASESHIFT MASK, METHOD FOR MANUFACTURING PHASESHIFT MASK BLANK, AND METHOD FOR TRANSFERRING PATTERN 位相シフトマスクブランク、位相シフトマスク、位相シフトマスクブランクの製造方法、及びパターン転写方法 - 特許庁
PHASESHIFT DETECTION METHOD FOR TWO-PHASE OSCILLATOR AND PHASESHIFT DETECTION APPARATUS THEREOF 2相発振器の位相ずれ検出方法およびその位相ずれ検出装置 - 特許庁
PHASESHIFT ELEMENT AND OPTICAL ELEMENT 位相差素子および光学素子 - 特許庁
MANUFACTURING METHOD OF PHASESHIFT RETICLE 位相シフトレチクルの製造方法 - 特許庁
CORRECTING METHOD OF PHASESHIFT MASK AND CORRECTING DEVICE OF PHASESHIFT MASK 位相シフトマスクの修正方法と位相シフトマスクの修正装置 - 特許庁
HALFTONE PHASESHIFT MASK AND MANUFACTURING METHOD OF HALFTONE PHASESHIFT MASK ハーフトーン位相シフトマスク及びハーフトーン位相シフトマスクの製造方法 - 特許庁
BLANK FOR HALFTONE TYPE PHASESHIFT MASK AND HALFTONE TYPE PHASESHIFT MASK ハーフトーン型位相シフトマスク用ブランク及びハーフトーン型位相シフトマスク - 特許庁
PHOTOMASK BLANK AND PHASESHIFT MASK フォトマスクブランク及び位相シフトマスク - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING PHASESHIFT MASK AND METHOD OF INSPECTING PHASESHIFT MASK 位相シフトマスクの製造方法および位相シフトマスクの検査方法 - 特許庁
METHOD OF INSPECTING PHASESHIFT MASK, METHOD OF MAKING PHASESHIFT MASK AND PATTERN EXPOSURE METHOD BY PHASESHIFT MASK 位相シフトマスクの検査方法、位相シフトマスクの作製方法、位相シフトマスクによるパターン露光方法 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING HALFTONE PHASESHIFT MASK BLANK, HALFTONE PHASESHIFT MASK BLANK AND HALFTONE PHASESHIFT MASK ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造方法、ハーフトーン型位相シフトマスクブランク及びハーフトーン型位相シフトマスク - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING BLANK FOR PHASESHIFT MASK, METHOD OF MANUFACTURING PHASESHIFT MASK AND BLANK FOR PHASESHIFT MASK 位相シフトマスク用ブランクスの製造方法、位相シフトマスクの製造方法及び位相シフトマスク用ブランクス - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING PHASESHIFT MASK, PHASESHIFT MASK, PHASESHIFT MASK BLANK AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE 位相シフトマスクの製造方法、位相シフトマスク、位相シフトマスクブランクス及び半導体装置の製造方法 - 特許庁
PHOTOMASK BLANK FOR CHROMELESS PHASESHIFT MASK, CHROMELESS PHASESHIFT MASK, AND METHOD FOR MANUFACTURING CHROMELESS PHASESHIFT MASK クロムレス位相シフトマスク用フォトマスクブランク、クロムレス位相シフトマスク、及びクロムレス位相シフトマスクの製造方法 - 特許庁
SIGNAL NON-PHASE SHIFT FEED CIRCUIT 信号無移相供給回路 - 特許庁
PHASESHIFT MASK FOR PREVENTING HAZE ヘイズ防止のための位相シフトマスク - 特許庁
PHASESHIFT MASK BLANK, PHASESHIFT MASK, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME 位相シフトマスクブランクおよび位相シフトマスクならびにこれらの製造方法 - 特許庁
PHASESHIFT MASK BLANK AND PHASESHIFT MASK AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME 位相シフトマスクブランク及び位相シフトマスク並びにこれらの製造方法 - 特許庁
PHASESHIFT MASK BLANK AND PHASESHIFT MASK, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME 位相シフトマスクブランク及び位相シフトマスク並びにそれらの製造方法 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING PHASESHIFT MASK BLANK, AND METHOD OF MANUFACTURING PHASESHIFT MASK 位相シフトマスクブランクの製造方法及び位相シフトマスクの製造方法 - 特許庁
DEFECT REPAIR METHOD FOR PHASESHIFT MASK, PHASESHIFT MASK AND EXPOSURE METHOD 位相シフトマスクの欠陥修正方法、位相シフトマスク及び露光方法 - 特許庁