This alignment mark is formed in a manner whereby a a first film (insulating film) 2 transparent to light for mask alignment is formed on the prescribed region of a semiconductor substrate, and a second film (conductive film) 4 which is formed like a diffraction grating pattern composed of islands and provided on the first film 2 to reflect the mask aligning light. 半導体基板1上の所定の領域に、マスク合わせ用の光に対して透明性の第1の膜(絶縁膜2)を形成し、その第1の膜上に、複数の島状体からなる回折格子パターンで、マスク合わせ用の光を反射する第2の膜(導電膜4)を形成する。 - 特許庁
The refractive index of an irradiated part, after being irradiated with the ultraviolet light beam, has a distribution form L3 similar to distribution form L1 of the refractive index at a non-irradiated part, because the variation in the refractive index is nearly constant, and the short wavelength loss of the diffraction grating is suppressed fully. 屈折率の変化量が略一定であるため、紫外域光照射後の照射部の屈折率は、非照射部での屈折率の分布形状L_1と同様な形状L_3で分布することとなり、回折格子における短波長損失が十分に抑制される。 - 特許庁
The low magnetic black pigment powder is a mixed-phase crystalline, having a rutile-type TiO2 phase as a base, wherein the base is characterized by a particle structure covered with Fe2TiO4 phase, and having a peak of Fe2TiO4 with the rutile-type TiO2 as a main peak in X-ray diffraction. 本発明に関わる低磁性黒色顔料粉末は、ルチル型TiO_2相を基体とし、該基体がFe_2TiO_4相で被覆された粒子構造を特徴とし、X線回折においてルチル型TiO_2をメインピ−クとして、Fe_2TiO_4のピ−クを含む混合相結晶である。 - 特許庁
Luminous flux emitted from a laser beam source 10 and reflected successively on 1st, 2nd, 3rd and 4th curved surface mirrors 21, 22, 31 and 32 is made incident on a diffraction branching element 40 as parallel beams and branched into plural beams, and made incident on the 5th curved mirror 51 of a propagation optical system 50. レーザー光源10から発し、第1、第2、第3、第4の曲面ミラー21,22,31,32により順に反射された光束は、平行光として回折分岐素子40に入射して複数本に分岐され、伝搬光学系50の第5の曲面ミラー51に入射する。 - 特許庁
Besides, because achromatism or the correction of spherical aberration or the like can be performed with a few number of optical elements by bringing out the diffraction effect appropriately by using the difference in level formed on the optical surface of the optical element, the optical element is suitable for an optical pickup device to be miniaturized. 又、前記光学素子の光学面に形成された段差を用いて回折効果を適切に発揮させれば、少ない数の光学素子で例えば色消しや球面収差補正などを行うことが出来るので、前記光学素子は、コンパクト化を図りたい光ピックアップ装置に好適である。 - 特許庁
Light of wavelengths λ2, λ3 condensed by the optical system 112 is reflected by reflection parts 132, 133 inserted to the condensed position, is collimated by the optical system 112, is condensed by the optical system 111 through the diffraction grating element 121 and is made incident to the end surface of the optical fiber 12. 光学系112により集光された波長λ2,λ3の光は、集光位置に挿入された反射部132,133により反射され、光学系112によりコリメートされ、回折格子素子121を経て、光学系111により集光されて光ファイバ12の端面に入射する。 - 特許庁
A diffraction grating 17 is formed so that coupled-light temperature characteristics showing the light intensity change in a specified diffractive order of light coupled to the end part of the light transmission path 12 in accordance with the change in operating environment temperature of the photoelectric conversion element 8 may be within a prescribed allowable limit. 回折格子17が、光電変換素子8の使用環境温度の変化にともなう光伝送路12の端部に結合される特定の回折次数の光の強度の変化を示す結合光温度特性を、所定の許容限度内に抑制するように形成されていること。 - 特許庁
To provide an optical wavelength multiplexer/demultiplexer circuit composed of an array waveguide diffraction grating which has a broad and flat passband characteristic and a low wavelength dispersion characteristic, necessary for a high speed and high quality transmission, and also has an improved manufacturing stability and a low loss characteristic, as compared with a conventional type. 高速で高品質な伝送に必要な、広く平坦な通過帯域特性および低波長分散特性を有し、かつ製造安定性および損失特性が従来よりも向上した、アレイ導波路回折格子で構成された光波長合分波回路を提供すること。 - 特許庁
In an array waveguide diffraction grating (AWG) including input waveguides to the number of M and output waveguides to the number of N, the output waveguides are arranged so that each transmission wavelength has an interval of Δλ, and the input waveguides are arranged so that each transmission wavelength has an interval of Δλ+u. M本の入力導波路とN本の出力導波路を備えるアレイ導波路回折格子(AWG)において、出力導波路は、各透過波長がΔλ間隔になるように配置されており、入力導波路は、各透過波長がΔλ+u間隔になるように配置される。 - 特許庁
A light-emitting element array 11, where a light-emitting element 6 is inserted in a light-emitting element through hole provided on a silicon substrate, a semiconductor calculation circuit chip 17, and a glass substrate 16 comprising a diffraction-type optical element, are provided. 光情報処理装置を、シリコン基板に設けた発光素子用貫通穴に発光素子6を挿入して形成した発光素子アレイ11と、半導体演算回路チップ17と、回折型光学素子を備えた回折型光学素子付ガラス基板16とからなる構成とする。 - 特許庁
To obtain an optical pickup device in which aberration can be corrected with simple constitution, a recording and reproducing device having this optical pickup device, optical element, recording and reproducing method of information, optical system, lens, diffraction optical system for optical disk, a reproducing device, and an objective lens for the optical pickup device. 簡単な構成により収差の補正が可能な光ピックアップ装置、この光ピックアップ装置を備えた記録再生装置、光学素子、情報の記録再生方法、光学系、レンズ、光ディスク用回折光学系、再生装置及び光ピックアップ装置用対物レンズを得る。 - 特許庁
The carbonaceous substance is obtained by mixing the metals or compounds containing the metals with a carbonaceous raw material having an interplanar spacing d_002 of 0.344-0.365 as measured by X-ray diffraction, then holding the resulting mixture for at least 10 min at 500-1,300°C and washing/drying the heat treated mixture. このものはX線回折で測定される面間隔d_002が0.344〜0.365nmの炭素質原料に上記の金属又はこれを含む化合物を混合して、500〜1300℃に10分間以上保持したのち水洗・乾燥することにより入手できる。 - 特許庁
The input signal of an ILS receiver is obtained by adding the direct wave, the reflecting wave and the diffraction wave, having two frequencies, respectively. (1)メッシュのデータ列から反射点を推定し、(2)反射点、GPアンテナ虚像及び受信点からの伝搬経路を求め、(3)積雪の反射係数を求め、(4)直接波を求め、(5)GP反射面の前方に位置する前方地形が形成する前方地形データから前方地形の回折波を求める。 - 特許庁
In the substrate for flexible print circuit having a crystalline thin film layer of copper on a sheet-like substrate, composed of aromatic polyamide, X-ray diffraction intensity ratio of the (200) face, and the (111) face of copper crystal is in the range of 0.3≤I(200)/I(111)≤1.0. 芳香族ポリアミドからなるシート状基材上に結晶性の銅の薄膜層を有するフレキシブルプリント回路用基板であって、銅結晶の(200)面と(111)面のX線回折強度比が0.3≦I(200)/I(111)≦1.0の範囲であることを特徴とするフレキシブルプリント回路用基板。 - 特許庁
In the electrode catalyst in which a conductive carrier carries a catalyst metal, a ratio of peak intensity I of a surface (111) to peak intensity II of a surface (200), namely (I_(111)/II_(200)), obtained by X-ray diffraction of catalyst particles carried by the conductive carrier is 1.8 to 7.0. 導電性担体に触媒金属が担持されてなる触媒触媒であって、前記導電性担体に担持された触媒微粒子のX線回折による(111)面のピーク強度Iと(200)面のピ−ク強度IIとの比率(I_(111)/II_(200))が1.8〜7.0であることを特徴とする。 - 特許庁
The plating film for electromagnetic shielding includes at least either of a Cu plating film containing a carbon nanotube, having a crystal orientation whose ratio [(220)/(111)] of the peak intensity of (220) plane and the peak intensity of (111) plane obtained by X-ray diffraction is 1 or more, and an Ni plating film containing a carbon nanotube. X線回折で得られる(220)面のピーク強度と(111)面のピーク強度の比[(220)/(111)]が1以上である結晶配向を有し、カーボンナノチューブを含有するCuめっき膜と、カーボンナノチューブを含有するNiめっき膜の、少なくとも一方からなる。 - 特許庁
The oral administration adsorbent is composed of activated clay obtained by acid treatment of dioctahedral smectite-based clay and has a surface weighted average particle diameter, measured by the laser diffraction scattering method, of 10-700 μm and a specific surface area in the range of 100-400 m^2/g. ジオクタヘドラル型スメクタイト系粘土の酸処理により得られた活性白土からなり、レーザ回折散乱法により測定される表面重み付平均粒子径が10乃至700μmであり、比表面積が100乃至400m^2/gの範囲にあることを特徴とする。 - 特許庁
At the time of playing a DVD-ROM, the diffraction element 2 divides the light emitted from the light source 1 being the semiconductor laser into three beams, transmitted through a beam splitter 3, reflected by a starting mirror 4 provided behind the beam splitter and focused on the optical disk 8 through an objective lens 6. DVD−ROMの再生時には半導体レーザである光源1から出射された光を回折素子2により3ビームに分割し、ビームスプリッタ3を透過させて、その後方に設けられた立ち上げミラー4で反射して対物レンズ6を通して光ディスク8へ集光する。 - 特許庁
A dispersion liquid composed of oxide particles, and a dispersion medium comprising water as a principal constituent is treated by heating under a hydrothermal condition to obtain oxide particles having maximum peak intensity of not less than 1.2 times by the heat treatment when the diffraction pattern of the oxide particles is measured with an X-ray diffractometer. 酸化物粒子と主成分が水である分散媒とからなる分散液に、水熱条件下で加熱処理を施し、X線回折装置で酸化物粒子の回折パターンを測定したときに、最強ピークの強度が、加熱処理により1.2倍以上大きい酸化物粒子を得る。 - 特許庁
To provide a display which is so fully secure as to make forgery difficult and allows more reliable validity judgement, with respect to a display in which a substrate surface is divided in a matrix shape and a diffraction grating pattern is formed in a cell within each element of the matrix to constitute a display image. 基材表面をマトリクス状に分割し、マトリクスの各要素の内部のセルに回折格子パターンを形成して表示画像を構成するディスプレイにおいて、よりセキュリティ性が高く偽造が困難で、真偽判定がより一層確実に行えるディスプレイを実現する。 - 特許庁
Subsequently, by using an Ar ion etching technology, in addition to normal lithographic technology, the Ni thin film 3 is formed into an Ni thin-film pattern 4 of a diffraction grating pattern by a two-dimensional photonic crystal, having a basic unit of a triangle of one piece of 230 nm with a column diameter of 100 nm (Fig.1(b)). 続いて、通常のリソグラフィ技術にArイオンエッチング技術を用いて、Ni薄膜3を、直径100nmの柱径で、一片が230nmの三角形を基本単位とする2次元フォトニック結晶による回折格子パターン状のNi薄膜パターン4に形成する(図1(b))。 - 特許庁
An optical detector plane is divided into two with a vertical line in the direction of a recording track, return light from an optical disc 4 is focused on the detector plane so as to be divided into two, and resolution is enhanced as far as within diffraction limitation by taking the difference of light amount irradiated on both sides. 光検出面を記録トラック方向に垂直な線で2分割し、光ディスク4からの戻り光を上記検出面で2分割されるように結像させ、両面にあたる光量の差をとることにより回折限界内にまでに分解能を向上させる。 - 特許庁
In this quantitative determination method for the phase structure of the polymer blend, only a sea component of the non-compatible polymer blend A having the sea-island structure is dissolved into an organic solvent S, and the sizes of the dispersed particles are measured in a suspension comprising the dispersed particles of an island component, by a laser diffraction/scattering measuring method. 海−島構造を有する非相溶系ポリマーブレンド(A)の海成分のみを有機溶剤(S)に溶かし、島成分の分散粒子からなる懸濁液を、レーザ回折/散乱測定法により分散粒径の測定を行うポリマーブレンド相構造の定量化方法。 - 特許庁
The inspection light source comprises a semiconductor light-emitting element 10 and an optical waveguide 30, and is arranged at a position of being irradiated with a light from the semiconductor light-emitting element and is provided with a diffraction grating 35, whose reflection wavelength width is 1 nm or larger, which is arranged at a prescribed section. この検査光光源は、半導体発光素子10と、この半導体発光素子から出射した光が入射する位置に配置され、反射波長幅が約1nm以上の回折格子35が所定部位に設けられた光導波路30とを有している。 - 特許庁
The Bragg angles of a plurality of diffraction surfaces are measured and a lattice constant a(θ) is calculated from the obtained Bragg angles θ, and a calibration function g(θ) wherein a real lattice constant a0 is represented by a0=a(θ)g(θ) is shown as a quaternary function of θ and the coefficient thereof is determined by the method of least squares to obtain a calibration function. 複数の回折面のブラッグ角を測定し、得られたブラッグ角θからそれぞれ格子定数a(θ) を求め、真の格子定数a_0をa_0=a(θ)g(θ)で表す校正関数g(θ) をθの4次の関数で表し、その係数を最小自乗法で決定して校正関数を得る。 - 特許庁
The phase distribution I(x, y) is calculated in a step 101 and the max. and min. values of the phase distribution I(i, j) are detected along the parallel lines in the x-axis direction virtually drawn on the plane where a diffraction optical element is mounted in the process of steps 102 to 115. ステップ101において位相分布I(x、y)を演算し、ステップ102〜115の処理によって、回折型光学素子が置かれる平面上に仮想的に引かれた互いに平行なx軸方向の線に沿って、位相分布I(i、j)の極大値及び極小値を検索する。 - 特許庁
And by forming a light receiving spot shielding one part of the reflected light from both ends of the vertical direction for a tangent of the groove, difference of luminosity of left and right for a tangent of a groove in a light receiving spot in which a diffraction angle of the reflected light is varied by LPP is improved. そして、グルーブの接線に対して垂直方向の両端から反射光の一部を遮光した受光スポットをフォトディテクタ上に形成することにより、LPPによって反射光の回折角が変化した受光スポットにおけるグルーブの接線に対して左右の明度の差を向上させる。 - 特許庁
The anti-blocking agent comprises (A) aluminosilicate particles having an X-ray diffraction image characteristic in kaolin and (B) amorphous silica particles at a weight ratio of (A)/(B)=70/30-10/90 and substantially does not cause segregation, when the agent is subjected to the tapping treatment according to the tapping type bulk density testing method. (A)カオリンに特有のX線回折像を有するアルミノケイ酸塩粒子と(B)非晶質シリカ粒子とを、重量比で、(A):(B)=70:30乃至10:90の割合で含有してなり、タタキコミカサ比重試験法にしたがってタッピング処理を行ったときに実質上偏析が生じないアンチブロッキング剤。 - 特許庁
A sample containing the hydroxyapatite is taken out and is formed into a shape with at least a detection surface 3 by such method as compression molding, then a forming body 1 is burned, and a substance existing on the detection surface 3 of an obtained sintered body 2 is analyzed, for example, by the X-ray diffraction method. ハイドロキシアパタイトを含む試料を取り出し、該試料を圧縮成形等の方法により少なくとも検出面3を有する形状に成形し、次いで、該成形体1を焼成し、得られた焼結体2の検出面3に存在する物質を例えばX線回折法により解析する。 - 特許庁
The return light is reflected to a direction in parallel and reverse to an incident direction by the conjugate reflection optical system 221 to be fed back to the semiconductor laser medium 211, even when a direction of the light dispersed by the diffraction grating 214 is shifted along a rotary shaft direction of the polygon mirror 213 by the occurrence of the fallen polygon mirror 213. ポリゴンミラー213に面倒れが生じ、回折格子214により分散される光の方向がポリゴンミラー213の回転軸方向へずれてしまっても、共役反射光学系221により、入射方向と並行かつ逆方向へ反射され、半導体レーザ媒質211へ帰還する。 - 特許庁
To provide an optical recording medium free from the generation of noise caused by the distortion of the recording medium and having excellent raw preservability, resolution, diffraction efficiency or the like while maintaining the sensitivity of a photopolymer and utilizing the change in the refractive index of a foaming agent, to provide an optical recording method, and to provide an optical recording/reproducing method. 本発明は、フォトポリマーの感度を維持し、気泡材としての屈折率の変化を利用しつつ、記録媒体の歪みによるノイズ発生がなく、生保存性、解像度、回折効率等に優れた光記録媒体、光記録媒体及び光記録再生方法を提供すること。 - 特許庁
Coincidence between a calculated pattern and a measured pattern is calculated quantitatively (step S19) by using at least one factor among (1) the number of diffraction points as a crystallographic pattern, (2) a face interval ratio as a geometric condition, (3) an angle between faces, (4) a camera constant, and (5) an average error of an angle between photographs. 計算パターンと前記実測パターンの一致度を、結晶学的条件として▲1▼回折点数、幾何学的条件として▲2▼面間隔比、▲3▼面間角度、▲4▼カメラ定数、及び▲5▼写真間角度の平均誤差のうち、少なくとも一つの因子を用いて定量的に計算する(ステップS19)。 - 特許庁
In the corrosion resistant member, at least the region of the corrosion resistant member exposed to the corrosive gas containing the halogen element or its plasma contains ≥99.5 mass% Y expressed in terms of Y_2O_3 and has ≤0.4° half-value width of a peak belonging to the (222) plane of cubic Y_2O_3 in X-ray diffraction. 少なくともハロゲン元素を含む腐食性ガスまたはそのプラズマに曝される部位が、Yの含有量がY_2O_3換算で99.5質量%以上、X線回折における立方晶Y_2O_3の(222)面帰属ピークの半値幅が0.4°以下である耐食性部材とする。 - 特許庁
The optical system which guides a luminous flux from a light source to a deflection means has at least a diffraction optical plane and at least a resin lens, thus the beam spot having a small diameter is available, high speed writing is possible, the cost is low and image is not deteriorated even when environmental temperature changes. 光源からの光束を偏向手段に導く光学系が少なくとも一つの回折光学面と、少なくとも一枚の樹脂レンズとを有することにより、小径なビームスポットが得られ、且つ、高速書込が可能で、低コストで、しかも環境温度が変化しても画像劣化が発生しない。 - 特許庁
The hologram combiner optical system arranged with hologram elements for introducing both of the light from a prescribed image display element and the light from the external world to the eyes of a user, in which the ratio of optical power by the diffraction of the hologram elements to the optical power over the entire part of the optical system is below 1. 所定の画像表示素子からの光と外界からの光とを共に使用者の眼に導くホログラム素子を配置したホログラムコンバイナ光学系であって、光学系全体の光学的パワーに対する前記ホログラム素子の回折による光学的パワーの比は、1未満である。 - 特許庁
In a semiconductor light emitting element in an MQW diffraction grating structure to be used mainly for a gain coupling DFB laser, the well layer of an MQW-A is made thicker than that of the well layer of an MQW-B so that the rate of a gain coupling coefficient to a refractivity coupling coefficient can be increased. 主に利得結合DFBレーザに用いられるMQW回折格子構造の半導体発光素子において、MQW−Bの井戸層に対してMQW−Aの井戸層を厚く形成することにより、屈折率結合係数に対する利得結合係数の割合を大きくする。 - 特許庁
The device detects the face image P not affected by diffraction light from the gratings 1a, 1b by photographing an acquired image 1 with illuminating from a direction along an X axial direction, photographing an acquired image 2 with illuminating from a direction along a Y axial direction and combining the two images 1, 2. X軸方向に沿った方向から照明して取得画像1を撮像し、Y軸方向に沿った方向から照明して取得画像2を撮像し、2つの画像を合成することにより、透明回折格子1a、1bからの回折光の影響のない顔画像Pを検出する。 - 特許庁
In the observation optical system with an objective lens system, an image reversing means for converting an object image formed by the objective lens system into an erect normal image, and an eyepiece system for observing the erect normal image, the diffraction optical element is formed on the way of the optical path of the image reversing means. 対物レンズ系と該対物レンズ系により形成される物体像を正立像とするための像反転手段と、該正立像を観察するための接眼レンズ系とを有する観察光学系において、該像反転手段の光路中に回折光学素子が形成されていること。 - 特許庁
The invention relates to an ε-type crystal of N-benzyl-N-ethyl-2-(7-methyl-8-oxo-2-phenyl-7, 8-dihydro-9H-purin-9-yl) acetamide identified by powder X-ray diffraction pattern and/or differential scan calorimetric analysis thermogram, and having an excellent heat stability, etc. 粉末X線回折パターンおよび/または示差走査熱量分析サーモグラムで特定され、優れた熱安定性などの性質を有する、N−ベンジル−N−エチル−2−(7−メチル−8−オキソ−2−フェニル−7,8−ジヒドロ−9H−プリン−9−イル)アセトアミドのε型結晶。 - 特許庁
Thereby, an input light directed to the mirror 43 is partially scattered at the rim part of the mirror 43, and diffraction light generated by its mutual interference is not generated in the arrangement direction so that optical crosstalk due to leakage of a signal light to another output port can be reduced. これにより、ミラー43に照射された入力光の一部がミラ43ーの縁部で散乱し、かつ、これらが互いに干渉して生じる回折光は、上記配列方向上に生じないので、他の出力ポートに信号光が漏れ込む光クロストークを低減させることができる。 - 特許庁
The optical multiplexer 10 comprises an optical waveguide having: a core 13 extending between a first end face 11 and a second end face 12; and a clad 14 surrounding the core 13, wherein a diffraction grating for coupling light between the optical waveguide and the outside is formed on the first end face 11. 光合波器10は、第1端面11と第2端面12との間に延在するコア13と、このコア13を取り囲むクラッド14とを有する光導波路からなり、この光導波路と外部との間で光を結合するための回折格子が第1端面11に形成されている。 - 特許庁
To improve, when a pattern is drawn on a substrate by scanning the substrate with plural light beams from plural light beam irradiation devices, the drawing quality by correcting variation in intensity distribution of diffraction light of the light beams due to variation in operation angle of a mirror of a spatial optical modulator. 複数の光ビーム照射装置からの複数の光ビームにより基板を走査して、基板にパターンを描画する際、空間的光変調器のミラーの動作角度のばらつきによる光ビームの回折光の強度分布のばらつきを補正して、描画品質を向上させる。 - 特許庁
An area other than the crystal grain of a measuring object is coated thinly with an amorphous liquid material, an amorphous powder of high X-ray absorptivity is further applied thereto to be fixed, and only the crystal information about a specified crystal is thereby acquired by X-ray diffraction. 測定対象である結晶粒以外の領域を非晶質の液状材料で薄く塗布して覆い、さらにX線吸収率が高い非晶質粉末を塗布して固着させて特定の結晶についての結晶情報のみをX線回折によって得る。 - 特許庁
To reduce warpages and curls of an optical wiring layer by relaxing stresses exerting on the optical wiring layer and to form optical elements such as a waveguide pattern, a mirror and a diffraction grating by using dry etching, a dicing saw and an electron beam exposure of the like to a minimum. 光配線層にかかる応力を緩和し、光配線層のそりやまるまりを抑えることを第1の課題とし、ドライエッチングや、ダイシングソー、電子線露光などをなるべく用いずに導波路パターンや、ミラーや回折格子といった光学素子を形成することを第2の課題とする。 - 特許庁
To provide an optical composite film having a two- or three- dimensionally controlled refractive index and useful for an optical element such as a diffraction grating, a light guide, a microlens array, a three- dimensional optical integrated circuit, a three-dimensional high-capacity optical memory or a three-dimensional photonic crystal light modulation device and to provide a method for producing the composite film. 回折格子、光導波路、マイクロレンズアレイ、3次元光集積回路、3次元大容量光メモリー、3次元フォトニッククリスタル光変調素子等の光学素子として有用な、2次元または3次元的に屈折率が制御された複合体膜と、その製造方法を提供する。 - 特許庁
In the limonite, the limonite-containing material which contains the limonite and the limonite-containing concrete which contains the limonite, the limonite has acquired a reflective strength at a plane index (110) in X-ray diffraction which is stronger than that at a plane index (111) by a treatment wherein a raw limonite is dried while being irradiated with an ultra-violet light. リモナイト及びこのリモナイトを含有するリモナイト含有材並びにリモナイト含有コンクリートでは、リモナイトは、紫外線を照射しながら乾燥させることにより、X線回折における面指数(110)での反射強度を面指数(111)の反射強度より大きくする。 - 特許庁
It is preferable that the aluminum source powder is composed of: 1-10 mass% aluminum hydroxide having ≤5 μm particle diameter equivalent to 50% cumulative percentage by mass measured by a laser diffraction method; and 99-90 mass% aluminum oxide powder. アルミニウム源粉末は、レーザ回折法により測定される、質量基準の累積百分率50%相当粒子径が5μm以下の範囲内である水酸化アルミニウム粉末1〜10質量%と、酸化アルミニウム粉末99〜90質量%とからなることが好ましい。 - 特許庁
Since the liquid 25, degassed at the degassing section 40, is arranged and bubbles contained in the liquid 25 or produced during exposure can be removed, abnormal exposures such as abnormal diffraction can be prevented, resulting in a resist pattern having a proper profile. これにより、レジスト膜の上には、脱気部40により脱気された液体25が配されるため、液体25に含まれる泡や、露光時に生じる泡を除去することができるので、回折異常等の露光異常を防止することができ、その結果、良好な形状を有するレジストパターンを得ることができる。 - 特許庁
That is, light transmittance of the amplitude adjusting part 22D is designed in advance so that amplitude of the zeroth order diffraction component becomes an appropriate value, a DC component generated in a space light modulator 18 during reproduction becomes appropriate amplitude by attenuating the amplitude to a predetermined value. 即ち、振幅調整部22Dの光透過率は、0次の回折成分の振幅が適正な値となるように予め設計されており、再生時に空間光変調器18で生成された直流成分は、その振幅が所定値まで減衰されて適正な振幅となる。 - 特許庁
This hologram consists of a hologram film 10 in which a diffraction grating is recorded, a substrate 11 disposed with a joining material 13 on one surface of the hologram film 10, and a polymer film 12 disposed with a joining material 13 to the other surface of the hologram film 10. 回折格子が記録されたホログラム膜10とホログラム膜10の一方側に接合材料13を介して配置された基板11と,ホログラム膜10の他方側に接合材料13を介して配置された高分子フィルム12とよりなり,高分子フィルム12の膜厚は100μm以下である。 - 特許庁