「diffraction」を含む例文一覧(7687)
＜前へ 1 2 .... 129 130 131 132 133 134 135 136 137 .... 153 154 次へ＞- The inorganic filler comprises a wet-ground product of calcium carbonate and kaolin, contains calcium carbonate (A) and kaolin (B) in a weight ratio A:B of from 9:1 to 1:9 and has an average particle size measured by a laser diffraction scattering method of from 0.1 to 1.0 μm.
湿式下で調製された炭酸カルシウムとカオリンとの粉砕物からなり、炭酸カルシウム（Ａ）とカオリン（Ｂ）とをＡ：Ｂ＝９：１乃至１：９の重量比で含み、且つレーザ回折散乱法での平均粒径が０．１乃至１．０μｍの範囲にあることを特徴とする。 - 特許庁 - To reduce error detection which arises by diffraction of light or the like in an apparatus for coating with a process liquid including optical detection means for detecting a contaminant on a substrate or an abnormal condition that a part of the substrate is made in a state of a rise by the contaminant.
基板上の異物もしくは基板の一部が異物により盛り上がり状態になされた異常状態を検出する光学的な検出手段を具備した処理液塗布装置において、光の回析等により生ずる誤検出を低減させる。 - 特許庁 - It is desirable for the sintered body to contain MgO in addition, and if it contains MgAl_2O_4 and MgO, it is preferred that the peak intensity of MgO (200) plane in an X-ray diffraction pattern is in the range from 0.5 to 50, provided that the peak intensity of MgAl_2O_4 (311) plane is 100.
この焼結体は、ＭｇＯをさらに含むことが好ましく、ＭｇＡｌ_２Ｏ_４及びＭｇＯを含む場合、Ｘ線回折によるＭｇＡｌ_２Ｏ_４（３１１）面のピーク強度を１００としたときのＭｇＯ（２００）面のピーク強度が０．５〜５０であること好ましい。 - 特許庁 - The SiC dummy wafer being obtained by forming an SiC film on the surface of a basic material by CVD and then removing the basic material comprises an SiC shaped body having such properties as the half peak width of SiC (111) face measured by X-ray diffraction is 0.2° or less and the warp is 0.5 mm or less.
ＣＶＤ法により基材面にＳｉＣ膜を成膜した後基材を除去して得られ、Ｘ線回折により測定されるＳｉＣ（１１１）面の半値幅が０．２°以下、反りが０．５mm以下の性状を備えたＳｉＣ成形体からなるＳｉＣダミーウエハ。 - 特許庁 - This slide fastener includes a lock pin and/or a spring composed of molecularly oriented polyethylene terephthalate-based resin having a half value width of azimuthal distribution of an X-ray diffraction strength of 30° or less in a crystal surface 100 (spacing of approximately 3.40Å).
結晶面（１００）（面間隔約３．４０Å）について、Ｘ線回折強度の方位角分布の半値幅が３０°以下である分子配向したポリエチレンテレフタレート系樹脂からなるロックピンおよび／またはスプリングを含むことを特徴とするスライドファスナーである。 - 特許庁 - To provide a light splitting and coupling device, a beam splitter, and an array waveguide diffraction grating type light branching and coupling device, which have a conversion area that achieves a low loss rate, and effectively prevent a reflection of an optical signal caused in the conversion area.
低損失化を実現する転換領域を備えるとともに、その転換領域で生じる光信号の反射を効果的に防止することを可能とする光分岐結合器、ビームスプリッタおよびアレイ導波路回折格子型光合分波器を提供する。 - 特許庁 - In an optical pickup device 100, a polarization filter 10a, a diffraction grating 9, a BS plate 6 and a polarization filter 10b are arranged in this order from the side of a semiconductor laser 1 on an optical path of laser light to be emitted from the semiconductor laser 1 to reach a front monitor 8.
光ピックアップ装置１００は、半導体レーザー１から出射されフロントモニタ８に到達するレーザー光の光路上に、半導体レーザー１側から、偏光フィルタ１０ａ、回折格子９、ＢＳ板６および偏光フィルタ１０ｂの順序で配置される。 - 特許庁 - The asymmetric diffraction grating area 200A includes a transmitting substrate 21, transflective halftone films 22 selectively and periodically laid at a prescribed pitch on the transmitting substrate 21, and a plurality of light-shielding films 23 formed on the respective halftone films 22.
非対称回折格子領域２００Ａは、透過基板２１と、透過基板２１上に選択的かつ所定ピッチで周期的に配置された半透過性の複数のハーフトーン膜２２と、ハーフトーン膜２２のそれぞれに形成された複数の遮光膜２３とを備える。 - 特許庁 - To facilitate a control of a structure of a diffraction grating and a control of properties of a surface contacted with a sample as an optical structure for inducting an evanescent wave in a method for manufacturing an analyzing element for analyzing the sample utilizing a surface plasmon resonance(SPR).
表面プラズモン共鳴（ＳＰＲ）を利用した試料分析のための分析素子の製造方法に関し、エバネッセント波を誘起する光学構造として回折格子の構造制御及び試料と接触する表面の性状制御を容易にする。 - 特許庁 - To more improve the safety of a seal of light diffraction structure by expressing the execution of forgery/modification by adding data to a hologram seal of a type for recording data in a reflection layer by a laser or the like by a similar means as an appearance change of the hologram seal.
反射層にレーザー等で記録を行なうタイプのホログラムシールに、同様な手段で追記して偽造・変造したことが、ホログラムシールの外観上の変化として表れるようにして、光回折構造シールの安全性をより一層高めることを課題とする。 - 特許庁 - In this case, since the first and second diffraction sections are formed on the same substrate, the relative inclination of the two targets regarding the specific direction can be detected precisely, based on a change in the quantity of received light by the photo detectors.
この場合に、第１回折部と第２回折部とが同一基板上に形成されているため、光検出器での受光光量の変化に基づいて、特定方向に関する２つの対象物の相対的な傾きを精度良く検出することが可能となる。 - 特許庁 - The distribution feedback surface-emitting laser has a plurality of first photonic crystal regions causing laser oscillation, a second photonic crystal region causing light diffraction in the out-of-plane direction, and an optical absorber provided above the second photonic crystal region and absorbing light of wavelength λ.
レーザ発振を起こす複数の第１のフォトニック結晶領域と、面外方向への光回折を起こす第２のフォトニック結晶領域と、第２のフォトニック結晶領域の上に設けられている波長λの光を吸収する光吸収体を有する。 - 特許庁 - A solid phase of amorphous (-)-FTC and (-)-cis-FTC called II and III(-)-cis-FTC which is distinguishable from I(-)-cis-FTC by its powder X-ray diffraction pattern, heat characteristic and production methods is provided.
Ｘ線粉末回折パターン、熱特性、および製造の方法によってＩ型（−）−シス−ＦＴＣと区別することができ、ここでは非晶質（−）−ＦＴＣおよびＩＩおよびＩＩＩ型（−）−シス−ＦＴＣ）と呼ばれる（−）−シス−ＦＴＣの固相を提供する。 - 特許庁 - Additionally, the active layer 502 has a diffraction grating 510 that includes a gain medium having the gain in the core of the waveguide, and has a first gain where at least one of the thickness and width of the medium for composing the core of the waveguide or cladding changes periodically.
また、活性層５０２が、利得を有する利得媒質を導波路のコアに含み、導波路のコアもしくはクラッドを構成する媒質の少なくとも厚さ、または幅の一方が周期的に変化する第１の利得を有する回折格子５１０を備えている。 - 特許庁 - The optical pickup device is provided with a 3-wavelength laser 101 having three laser elements 101a to 101c of different emitted wavelengths housed in the same casing, and a diffraction-grating 102 for axis correction for making the optical axes of laser beams emitted from laser elements nearly coincident.
光ピックアップ装置は、出射波長の異なる３つのレーザ素子１０１ａ〜１０１ｃを同一筺体内に収容した３波長レーザ１０１と、各レーザ素子から出射されたレーザ光の光軸をほぼ一致させる軸補正用回折格子１０２を備えている。 - 特許庁 - The base plate includes a waveguiding film and a diffraction grating means and couples an incident light field into the waveguiding film beneath the well, to generate a diffracted light field, thereby enabling detection of the change in the effective refractive index of the waveguiding film.
基材プレートは、薄膜導波路及び回折格子手段を含んでいて、入射光の領域をウエルの下方の薄膜導波路中に入り結合して回折光の領域を発生させ、よって、薄膜導波路の有効屈折率の変化の検出を可能とする。 - 特許庁 - The semiconductor film uses a semiconductor film, having a crystal structure containing silicon as a main component where among lattice planes detected by the reflected electron diffraction pattern method, the plane {101} occupying proportion is 10% or more, and the plane {111} occupying proportion is less than 10%.
珪素を主成分とし結晶構造を有する半導体膜であって、反射電子回折パターン法で検出される格子面の内、｛１０１｝面が占める割合が１０％以上であり、｛１１１｝面が占める割合が１０％未満である半導体膜を用いる。 - 特許庁 - An emission element 1 includes: a quantum cascade active layer 4 being an active layer using the intersubband transition; an n-type buffer layer 3 and an n-type guide layer 5 as first conduction-type semiconductor layers; and a photonic crystal layer 7 as a two-dimensional diffraction grating.
発光素子１では、サブバンド間遷移を用いた活性層である量子カスケード活性層４と、第１導電型の半導体層としてのｎ型バッファ層３およびｎ型ガイド層５と、２次元回折格子としてのフォトニック結晶層７とを備える。 - 特許庁 - To provide an apparatus which can fully, promptly and precisely analyze using an inexpensive and simple structure by preventing diffraction rays, which become interfering rays, from being generated on the side of the X-ray source in an apparatus for X-ray fluorescence analysis analyzing samples having crystal structures.
結晶構造を有する試料を分析する蛍光Ｘ線分析装置において、妨害線となる回折線をＸ線源側で発生しないようにすることにより、十分迅速で正確な分析ができ、安価で簡単な構造の装置を提供する。 - 特許庁 - Laser light from a light source 31 is divided into maser reference light for master hologram data playback and pump light for photorefractive amplification by a beam splitter 32, and the master reference light is emitted to a master hologram recorded in a master medium 22, so as to generate diffraction light.
光源３１からのレーザ光をビームスプリッタ３２によりマスターホログラムデータ再生用のマスター参照光とフォトリフラクティブ増幅用のポンプ光とに分割し、マスター参照光をマスター媒質２２に記録されたマスターホログラムに照射し、回折光を発生させる。 - 特許庁 - In each TiO_2 film of the optical multilayer film formed by alternately stacking TiO_2 films and SiO_2 films, the X-ray diffraction peak intensity ratio (anatase structure/rutile structure) of anatase structure to rutile structure is within a range of 70/30 to 100/0.
ＴｉＯ_２膜とＳｉＯ_２膜とを交互に積層してなる光学多層膜において、ＴｉＯ_２膜中におけるアナターゼ構造とルチル構造のＸ線回折ピーク強度比（アナターゼ構造：ルチル構造）が７０：３０〜１００：０の範囲内であることを特徴としている。 - 特許庁 - In this way, since lenses or the diffraction lattices are not used, the concentration measuring instrument of hemoglobin can be made compact and the complexities of measurement in immunological method is reduced; and a small-sized stable concentration measuring instrument of hemoglobin of high accuracy or a HbA1c measuring instrument can be realized.
このように、レンズや回折格子を使用しないため装置の小型化が可能で免疫法のように測定の煩雑さも少なく、小型で安定した高精度なヘモグロビン濃度測定装置或いはＨｂＡ１ｃ測定装置を実現することができる。 - 特許庁 - Light is made incident on a flat substrate, into which a fine metal body is embedded, localized plasmon is excited to locally reinforce photoelectric field in the vicinity of the fine body, and information is recorded/ reproduced to/from a fine area exceeding the diffraction limit by using the light.
微小金属体を埋め込んだ平坦な基板に光を入射し、局在プラズモンを励起して微小体近傍の光電場を局所的に増強し、その光を用いることにより、回折限界を超えた微小領域に情報の記録再生を行う。 - 特許庁 - This ring of apertures (12b) segments azimuthally the collection space so that the signal outputs from detectors (44) that are saturated by the pattern diffraction or scattering may be discarded and only the outputs of unsaturated detectors are used for anomaly detection.
開口のこのようなリング（１２ｂ）は、パターン回折や散乱によって飽和される検出器（４４）からの信号出力が捨てられるように収集スペースを方位角で区分し、飽和されていない検出器の出力のみが異常検出のために使用される。 - 特許庁 - Alternatively, the notch filter includes a diffraction grating configured by parallel arranging a large number of metal wires on a transparent substrate and disposing a film of a low attenuation material whose refractive index has an imaginary part of ≥0 and ≤0.3 on surfaces of the metal wires opposite to the substrate.
透明な基板上に金属線を平行に多数配置し、該金属線の基板と反対側の表面に、屈折率の虚数部が０以上０．３以下である低減衰材料からなる膜を配置して構成される回折格子からなる前記のノッチフィルター。 - 特許庁 - Since an irradiation object of inspection light is formed as the inspection pattern having a larger area than the diffraction pattern, the irradiation object can be aimed surely, even if the diameter of inspection light irradiated from an irradiation part is large, to thereby execute an inspection work easily.
照射部から照射される検査光の直径が大きくても、検査光の照射対象を面積が回折パターンより大きい検査用パターンとしたことで、確実に照射対象を狙うことができ、検査作業を容易に実施することができる。 - 特許庁 - The gallium oxide powder having a (D90-D10)/D50 value of 1.00-1.50 is provided in D10, D50 and D90 by volume standard particle size distribution obtained by measuring by a laser diffraction scattering-type particle-size distribution measuring method.
レーザー回折散乱式粒度分布測定法により測定して得られる体積基準粒度分布によるＤ１０、Ｄ５０及びＤ９０において、（Ｄ９０−Ｄ１０）／Ｄ５０の値が１．００〜１．５０であることを特徴とする酸化ガリウム粉末を提案する。 - 特許庁 - The two encrypted images formed on one and the same base material become visually recognizable simultaneously only when irradiated with two types of light sources having the irradiation angle suited to the two types of diffraction gratings when restoration is performed, thereby a concealed image is decrypted and becomes readable.
同一基材上に形成した前記２つの暗号画像は、復元の際に、前記２種の回折格子に適合した照射角を持つ２種の光源で照射した時にのみ、同時に視認されるため、隠蔽された画像が復号され判読可能となる。 - 特許庁 - The depth d of the recessed groove 26 shifts the phase of exposure light to the vicinity of 3π radian, whereby as compared with the case of shifting the phase to the vicinity of π radian, the diffraction efficiency of transmission ± first order light or the contrast to the transmission 0-th order light can be enhanced.
凹溝２６の深さｄが露光光の位相を３πラジアン近傍にずらすようにすることにより、その位相をπラジアン近傍にずらす場合より、透過±１次光の回折効率あるいは透過０次光に対するコントラストを高くすることができる。 - 特許庁 - When aligning the crystal direction of the sample to an optical axis of a scanning transmission electron microscope, accurate and quick crystal direction alignment can be performed since a direction for inclining the sample can be directly determined from the shape of the electron beam diffraction image.
本発明によれば、ＳＴＥＭの光軸に対して試料の結晶方位を合わせる際、試料を傾斜させるべき方向を電子線回折像の形状から直接判断することができるため、正確かつ迅速な結晶方位合せが可能となる。 - 特許庁 - A miniature spectrum detector can be obtained which can easily detect a peak wavelength distribution included in the light of an unknown wavelength even without using any optical components such as a diffraction grating and a prism, thus eliminating the need for the optical axis alignment of a complex optical system.
本発明によれば、回折格子やプリズム等の光学部品を用いなくとも、波長が未知の光に含まれるピーク波長の分布を容易に検出することができ、複雑な光学系の光軸調整不要な小型のスペクトル検出器を実現することができる。 - 特許庁 - The binder for a glass chopped strand mat comprises a polyester resin powder (A) having a volume-average particle diameter Dv of 280-350 μm and a coefficient Cv of variation of volume-based particle diameter distribution of 10-35% as measured by the laser diffraction scattering method.
レーザー回折散乱法による体積平均粒子径Ｄｖが２８０〜３５０μｍであり、体積基準の粒子径分布の変動係数Ｃｖが１０〜３５％であるポリエステル樹脂粉末（Ａ）を含有してなることを特徴とするガラスチョップドストランドマット用バインダー。 - 特許庁 - The cellulose nanofiber has an average polymerization degree of not less than 600 and not more than 30,000, an aspect ratio of 20-10,000, and an average diameter of 1-800 nm, and has an X-ray diffraction pattern having a Iβ type crystal peak.
本発明のセルロースナノファイバーは、平均重合度が６００以上３００００以下であり、アスペクト比が２０〜１００００であり、平均直径が１〜８００ｎｍであり、Ｘ線回折パターンにおいて、Ｉβ型の結晶ピークを有することを特徴とする。 - 特許庁 - To prevent presence of information from being clearly grasped in mixing the specified information for mechanical read-out different from a diffraction grating pattern in a decorative picture consisting of the pattern, to increase the information content and to make a display body less liable to a counterfeit and an imitation.
回折格子パターンにより構成される装飾画像内に、それとは異なる機械読み取り用の特定情報を混在させる際、前記情報の存在が明確に把握されることがなく、かつ情報量を多くし、偽造・模造を一層困難にする。 - 特許庁 - The method includes the adjustment step of adjusting the rotation of the diffraction grating so that the center of a spot concerning one of the sub-beams is displaced by half the distance of the track pitch from the center of a spot from such a main beam in the radial direction of the optical disk.
このうち何れか一方のサブビームに係るスポットの中心が、光ディスクの半径方向においては、メインビームに係るスポットの中心から、トラックピッチの半分の距離変位させられるように、回折格子を回転調整する調整工程を備える。 - 特許庁 - To provide a hologram recording material which is applicable to a high density optical recording medium, a three-dimensional display, a holographic optical element, etc. and in which reconcilement between high sensitivity, high diffraction efficiency, good storage stability and adaptivity to dry processing are realized, and to provide a hologram recording method.
高密度光記録媒体、３次元ディスプレイ、ホログラフィック光学素子等への応用可能な高感度かつ高回折効率、良保存性、乾式処理を両立することができるホログラム記録材料、ホログラム記録材料及びホログラム記録方法を提供する。 - 特許庁 - The stimulation element section 14 has a common n-InP lower clad layer, an active layer 32 in common with a variable wavelength layer, and a common i-InP layer, and has a p-InP spacer layer 34, a p-diffraction grating 36, and a p-InP buried layer 38 on it.
励起素子部１４は、共通のｎ−ＩｎＰ下部クラッド層、波長可変層と共通の活性層３２、及び共通のｉ−ＩｎＰ層を備え、その上にｐ−ＩｎＰスペーサ層３４、ｐ−回折格子３６、ｐ−ＩｎＰ埋め込み層３８を備える。 - 特許庁 - To provide an aberration correcting element suppressing light quantity loss by the transfer defects of the adjacent zonal level differences of a diffraction lens while sufficiently correcting the color aberration of an objective lens and to provide an optical pickup device and a recording and reproducing device for which a manufacture cost is suppressed.
対物レンズの色収差を十分に補正しつつ回折レンズの隣合う輪帯段差の転写不良による光量損失を小さく抑えた収差補正素子を提供し、製造コストを抑えた光ピックアップ装置及び記録・再生装置を提供する。 - 特許庁 - A hydrated crystal form of (±)-cis-FTC (that is, racemic cis-FTC) which is distinguishable from other form of FTC by its powder X-ray diffraction pattern, heat characteristic and production methods in a similar way, and a dehydrated form of the hydrate are also provided.
同様にＸ線粉末回折パターン、熱特性、および製造の方法によって、ＦＴＣの他の型と区別することができる、（±）−シス−ＦＴＣの水和した結晶型（すなわちラセミ体のシス−ＦＴＣ）、およびこの水和物の脱水された型も提供する。 - 特許庁 - When reproducing the BD, a voltage is applied to the electrode 67 for the phase shift, the voltage is also applied to the electrode 66 for the diffraction, and by diverging the light beam and lowering the light intensity of a center part, thereby the optical spot formed on the disk is shaped.
ＢＤ再生時には、位相シフト用電極６７に電圧を印加するとともに、回折用電極６６にも電圧を印加し、光ビームを発散させて中央部分の光強度を低下させることにより、ディスク上に形成される光スポットを整形する。 - 特許庁 - In the copper based alloy comprising, by weight, 2.0 to 4.0% Ti and 0.05 to 0.50% Fe, the total of the other impurity elements is ≤0.01 wt%, and the X-ray diffraction intensity ratio of I(311)/I(111)≥0.5 is satisfied.
Ｔｉを２．０〜４．０重量％及びＦｅを０．０５〜０．５０重量％含有する銅基合金において、他の不純物元素が合計で０．０１重量％以下であり、Ｘ線回折強度比：Ｉ（３１１）／Ｉ（１１１）≧０．５を満たすことを特徴とする銅合金。 - 特許庁 - A translucent plate has 1st and 2nd reflecting surfaces which face each other and a diffraction grating is formed at part of one of the 1st and 2nd reflecting surfaces to arrange a plurality of light beams compactly on a plate of a photodetecting element.
相対する第一および第二の反射面を有する透光性プレートの、該第一および第二の反射面のいずれか一方の面上の一部に回折格子が形成することで、複数の光を受光素子のプレート上にコンパクトに配置する事ができる。 - 特許庁 - The incident white light is separated into light having wavelength λ_1, which is diffracted with a Dammann type diffraction grating 401 of the first color separation plate 102, light having a wavelength λ_2 and passes without being diffracted, and a light having wavelength λ_3 which is diffracted in the opposite direction of the light having the wavelength λ_1.
入射された白色光は、第１の色分解板１０２のダンマン型回折格子４０１により回折する波長λ_１の光、回折せずに透過する波長λ_２、λ_１とは逆に回折する波長λ_３の光に色分解される。 - 特許庁 - To eliminate the problem of increase in a necessary space in addition to further improvement of a forgery preventing effect of an optical code or further improvement of a forgery preventing effect of the code when the code and an optical diffraction structure are used together.
光学コードの偽造防止効果をより一層向上させること、あるいは、光学コードと光回折構造を併用する際に、光学コードの偽造防止効果をより一層向上させるのに加えて、要するスペースが増える点を解消することを課題とする。 - 特許庁 - To provide a structural analysis method of a crystal for easily deciding whether spread shape of a peak to be measured is measured, by reflecting the nonuniform distribution of the composition within the crystal, when evaluating the structure of the crystal through X-ray diffraction.
Ｘ線回折により結晶構造評価を行う際、測定されるピークの拡がり形状が、結晶中の組成が不均一に分布していることを反映して決まっているか否かを、簡便に判定できる、結晶の構造解析方法を提供する。 - 特許庁 - This photographing lens possesses a diffraction optical surface, and is symmetric or nearly symmetric to a diaphragm, and a whole lens system is moved for focusing, and when a maximum photographing magnification is assumed as β, the condition of β≥0.5 is satisfied.
回折光学面を有し、絞りに対し対称型もしくは略対称型の撮影レンズであってフォーカシングに際しレンズ系全体を移動させるとともに最大撮影倍率をβとしたとき、 β≧０．５ の条件を満足することを特徴とする撮影レンズ。 - 特許庁 - The TMPB substance of the present invention is a crystal of 2-methyl-2-triazolylmethylpenam-3-carboxylic acid 1,1dioxidodiphenylmethyl ester having peaks in lattice face intervals in X-ray diffraction pattern of powder obtained with copper radioactive ray of λ=1.5418 angstrom passed through a monochromater.
本発明のＴＡＺＢ結晶は、モノクロメーターを通したλ＝１．５４１８Åの銅放射線で得られるＸ線粉末回折パターンで格子面間隔にピークを有する２−メチル−２−トリアゾリルメチルペナム−３−カルボン酸１，１−ジオキシドジフェニルメチルエステルの結晶である。 - 特許庁 - In the above configuration, distances between the collimator mirror M2 and the plane grating 3 and between the plane diffraction 3 and the telemeter mirror M3 are established to the specified values and then the light from the plane grating 3 is configured to be condensed to the axis of cylindrical mirror.
以上の構成においてコリメータ鏡Ｍ２と平面回折格子３および平面回折格子３とテレメータ鏡Ｍ３との距離を特定の値に設定し、平面回折格子３からの光がシリンドリカル鏡の軸に集光させるように構成されている。 - 特許庁 - The optical wiring 10 is set in a wavelength of guided light at about 850 nm and has a substrate 1, the optical waveguide 12 which is disposed on the substrate 11 and is formed with diffraction gratings 13 and 14, a surface light emitting laser 15 and a photodiode 16.
光配線１０は、導波光の波長が８５０ｎｍ付近に設定された光配線であって、基板１１と、基板１１上に配設され、回折格子１３、１４が形成された光導波路１２と、面発光レーザ１５と、フォトダイオード１６とを有する。 - 特許庁 - To solve such a problem that alignment between layers when stacking the layers is attended with difficulties in the conventional manufacturing method, because it is difficult to detect a displacement beyond a prescribed range of the period of a pattern when performing the alignment by using the pattern of a diffraction grating shape.
従来の作製方法では、層を積み重ねて行く際の層間の位置合わせに困難があるが、これは、回折格子状のパターンを用いて位置合わせを行なう際に、その周期分を超えた変位について、検出が困難であることに起因する。 - 特許庁
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