「etching method」を含む例文一覧(6852)
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半導体素子構造およびエッチング方法 - 特許庁 - METHOD FOR DRY ETCHING OF HIGH-K FILM
Ｈｉｇｈ−ｋ膜のドライエッチング方法 - 特許庁 - SACRIFICIAL FILM ETCHING METHOD AND ITS DEVICE
犠牲膜のエッチング方法およびその装置 - 特許庁 - METHOD OF ETCHING INSULATING FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
半導体装置の絶縁膜エッチング方法 - 特許庁 - ETCHING METHOD, PLASMA TREATMENT DEVICE, STORAGE MEDIUM
エッチング方法、プラズマ処理装置、記憶媒体 - 特許庁 - ETCHING DEVICE FOR PRINTED BOARD AND METHOD THEREFOR
プリント板のエッチング装置およびその方法 - 特許庁 - METHOD FOR SUPPRESSING VARIATION IN DIMENSION IN POLYIMIDE ETCHING
ポリイミドエッチングの寸法ばらつきを抑える - 特許庁 - PLASMA PROCESSING DEVICE AND METHOD OF PLASMA ETCHING
プラズマ処理装置及びプラズマエッチング方法 - 特許庁 - SILICON ANISOTROPICALLY ETCHING METHOD AND APPARATUS THEREOF
シリコンの異方性エッチング方法及び装置 - 特許庁 - DEVICE AND METHOD FOR ETCHING TIN OXIDE FILM
酸化錫膜のエッチング装置および方法 - 特許庁 - METHOD FOR EVALUATING ETCHING AMOUNT OF SOI WAFER
ＳＯＩウエハのエッチング量の評価方法 - 特許庁 - TEMPERATURE-MEASURING APPARATUS, FILM-FORMING APPARATUS, ETCHING APPARATUS, METHOD FOR MEASURING TEMPERATURE, AND ETCHING METHOD
温度測定装置、成膜装置、エッチング装置および温度測定方法、エッチング方法 - 特許庁 - METHOD AND EQUIPMENT FOR ETCHING OXIDE FILM
酸化膜のエッチング方法およびその装置 - 特許庁 - SHALLOW TRENCH ETCHING METHOD FOR ELEMENT ISOLATING SILICON
素子分離用Ｓｉシャロートレンチエッチング方法 - 特許庁 - ETCHING METHOD FOR OXIDE FILM ON GLASS SUBSTRATE
ガラス基板上の酸化膜のエッチング方法 - 特許庁 - APPARATUS FOR MEASURING ETCHING DEPTH AND METHOD THEREFOR
エッチング深さ測定装置及びその方法 - 特許庁 - METHOD AND DEVICE FOR ETCHING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
半導体基板のエッチング方法及び装置 - 特許庁 - METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR AND ETCHING SYSTEM
半導体製造方法およびエッチングシステム - 特許庁 - METHOD AND APPARATUS FOR ETCHING DIELECTRIC FILM
誘電体膜のエッチング方法及び装置 - 特許庁 - METHOD AND APPARATUS FOR ETCHING LSI DEVICE
ＬＳＩデバイスのエッチング方法および装置 - 特許庁 - METHOD OF ETCHING HIGH DIELECTRIC CONSTANT MATERIALS
高誘電率材料をエッチングする方法 - 特許庁 - ETCHING METHOD FOR ETCHING MATERIAL HARD TO ETCH, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR USING THE SAME, AND SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
難エッチ材のエッチング方法及びそれを用いた半導体製造方法及び装置 - 特許庁 - METHOD FOR ETCHING GALLIUM NITRIDE SEMICONDUCTOR
窒化ガリウム系半導体をエッチングする方法 - 特許庁 - THREE-DIMENSIONAL SHAPE MEASURING DEVICE, ETCHING CONDITION DETERMINATION METHOD, AND ETCHING PROCESS MONITORING METHOD
立体形状測定装置、エッチング条件出し方法およびエッチングプロセス監視方法 - 特許庁 - METHOD AND STRUCTURE OF PATTERN MASK FOR DRY ETCHING
ドライエッチング用パターンマスクの方法と構造 - 特許庁 - To provide a dry-etching gas composition, an etching method, and a manufacturing method of a capacitor.
ドライエッチング用ガス組成物、エッチング方法およびキャパシタの製造方法を提供する。 - 特許庁 - PLASMA ETCHING SYSTEM AND PATTERN FORMING METHOD
プラズマエッチング装置およびパターン形成方法 - 特許庁 - EXPOSURE MASK ETCHING METHOD AND DEVICE
露光マスクのエッチング方法及びエッチング装置 - 特許庁 - METHOD AND DEVICE FOR ETCHING SUBSTRATE
基板エッチング方法および基板エッチング装置 - 特許庁 - METHOD FOR ETCHING NON-CONDUCTIVE SUBSTRATE SURFACE
非導電性基板表面のエッチング方法 - 特許庁 - METHOD OF FORMING IMAGE BY SAND ETCHING
サンドエッチング加工による画像形成方法 - 特許庁 - TREATMENT APPARATUS AND TREATMENT METHOD OF DRY ETCHING
ドライエッチング処理装置および処理方法 - 特許庁 - METHOD OF ETCHING OPENING HAVING HIGH ASPECT RATIO
高アスペクト比の開口をエッチングする方法 - 特許庁 - METHOD AND DEVICE FOR ETCHING ONE-SIDE SURFACE OF WAFER
ウエ−ハ片面エッチング方法及び装置 - 特許庁 - ETCHING APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING TEMPERATURE THEREOF
エッチング装置及びその温度制御方法 - 特許庁 - ETCHING PROCESSING APPARATUS AND METHOD THEREFOR
エッチング処理装置及びエッチング処理方法 - 特許庁 - DETOXIFICATION METHOD FOR RUTHENIUM ETCHING COMPOSITION
ルテニウムのエッチング用組成物の除害方法 - 特許庁 - DRY ETCHING APPARATUS AND ITS CLEANING METHOD
ドライエッチング装置およびそのクリーニング方法 - 特許庁 - METHOD FOR MANUFACTURING COMPONENT HAVING ETCHING BUMP GROUP
エッチングバンプ群を有する部材の製造法 - 特許庁 - ETCHING METHOD OF CRYSTAL SYSTEM SEMICONDUCTOR DEVICE
結晶系半導体基板のエッチング方法 - 特許庁 - ETCHING LIQUID, ETCHING METHOD, AND METHOD FOR PRODUCING COUNTER SUBSTRATE FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL
エッチング液、エッチング方法、並びに、液晶表示パネル用対向基板の製造方法 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING APPARATUS AND PLASMA ETCHING METHOD
プラズマ処理装置およびプラズマエッチング方法 - 特許庁 - DEVICE AND METHOD FOR ETCHING SEMICONDUCTOR WAFER
半導体ウェーハのエッチング装置及び方法 - 特許庁 - PLASMA ETCHING DEVICE AND PLASMA CLEANING METHOD
プラズマエッチング装置及びプラズマクリーニング方法 - 特許庁 - The etching method uses the resist liquid.
当該レジスト液を使用するエッチング方法。 - 特許庁 - FOCUS RING HEATING METHOD, PLASMA ETCHING METHOD, PLASMA ETCHING APPARATUS, AND COMPUTER STORAGE MEDIUM
フォーカスリングの加熱方法、プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置及びコンピュータ記憶媒体 - 特許庁 - PLASMA ETCHING DEVICE, SEASONING METHOD OF THIS AND PLASMA ETCHING METHOD USING THEM
プラズマエッチング装置及びこのシーズニング方法並びにこれ等を用いるプラズマエッチング方法 - 特許庁 - DRY ETCHING METHOD OF OXIDE SEMICONDUCTOR FILM
酸化物半導体膜のドライエッチング方法 - 特許庁 - METHOD OF MANUFACTURING CAPACITOR ELECTRODE, METHOD OF ETCHING AND ETCHING SYSTEM, AND STORAGE MEDIUM
キャパシタ電極の製造方法、エッチング方法およびエッチングシステム、ならびに記憶媒体 - 特許庁 - ETCHING SOLUTION FOR STRUCTURE OBSERVATION OF COPPER OR COPPER ALLOY, ETCHING METHOD AND STRUCTURE OBSERVATION METHOD
銅または銅合金の組織観察用エッチング液、エッチング方法および組織観察方法 - 特許庁
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