In the etchingmethod, the etching of the glass plate is performed by spraying the etching liquid on the glass surface and removing the etching liquid thereafter. エッチング方法としては、ガラス表面にエッチング液を吹き付け、その後エッチング液を除去することによってガラス板のエッチングを行う。 - 特許庁
To provide a plasma etchingmethod which ensures a higher etching rate and mask selection ratio of an etching object portion and also suppresses the etching stop. エッチング対象部のエッチングレートおよび対マスク選択比が高く、かつ、エッチングストップを抑えたプラズマエッチング方法を提供すること。 - 特許庁
ETCHINGMETHOD FOR INSULATING FILM AND FORMATION METHOD FOR WIRING LAYER 絶縁膜のエッチング方法および配線層の形成方法 - 特許庁
ETCHING END DETECTION METHOD, WAFER AND MANUFACTURING METHOD THERFOR エッチング終点検出方法、ウエハ及びウエハの製造方法 - 特許庁
PLASMA DRY ETCHINGMETHOD AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE プラズマドライエッチング方法および半導体装置の製造方法 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR ELEMENT AND DRY ETCHINGMETHOD 半導体素子を作製する方法、及びドライエッチング方法 - 特許庁
METHOD FOR ETCHING, METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL ELEMENT AND OPTICAL ELEMENT エッチング方法、光学素子の製造方法及び光学素子 - 特許庁
SILICON WAFER ETCHINGMETHOD AND SURFACE LAYER ANALYZING METHOD FOR SILICON WAFER シリコンウェーハエッチング方法、シリコンウェーハの表層分析方法 - 特許庁
METHOD OF DRY ETCHING TRANSPARENT SUBSTRATE AND METHOD OF INSPECTING PHOTOMASK 透明基板のドライエッチング方法及びホトマスクの検査方法 - 特許庁
ETCHINGMETHOD, HEATER UNIT AND METHOD OF MANUFACTURING FOR THE SAME エッチング加工方法、ヒーター装置およびその製造方法 - 特許庁