A servomotor controlling part turns the rotating shaft of the servomotors in both ways by an angle, 360° for instance, necessary for maintenance during the time when plotting is ceased, and so controls as to spread lubricant existing between the rotating shaft and a bearing part supporting the rotating shaft over the whole periphery of the rotating shaft. サーボモータ制御部は、描画動作休止時にサーボモータの回転軸を左右にメインテナンスに必要な角度、例えば360°回転させ、回転軸とこの回転軸を保持する軸受け部との間に介在する潤滑剤を回転軸全周に塗り広げるように制御する。 - 特許庁
To provide an attaching holder of a pre-moistened wipe container with which the pre-moistened wipe container is easily installed at an effective position inside a room, at the upper part of a toilet paper holder or the like for instance, a stable mounted state is maintained in use and which is manufactured at a low cost in simple structure. ウェットティシュ容器2を室内の有効位置、例えばトイレットペーパー保持具 の上方等に簡単に設置することができ、しかも、使用時には安定した装着状態の維持を行え、また、構造が簡単で安価に製造できるウェットティッシュ容器の取付ホルダを提案する。 - 特許庁
A Y-shaped integrated object 34 integrally including a second exhaust pipe 24, an expansion tube 25, and a branch exhaust pipe 26 is provided as the peripheral wall member of the exhaust passage for instance, and an end part in the circumferential direction of the Y-shaped integrated object 34 has the joint 35 jointed by welding. 排気通路周壁部材として、たとえば、第2の排気管24,膨張管25及び分岐排気管26等を一体に含むY字状一体物34を備え、このY字状一体物34の周方向の端部は、溶接により接合してなる接合部35を有している。 - 特許庁
For instance, when a cloth 11 such as underwear is clamped by the wearing part 2 and the auxiliary part 3 and then the projection part 5 is fitted in the recessed part 6, the spring member 7 is spread, elastic force for clamping the projection part 5 from both sides acts, and the health member wearing tool 1 is fixed to the cloth 11. 例えば肌着等の布地11を装着部2と補助部3により挟み込んだ後に、凸部5と凹部6を嵌合させると、ばね部材7が拡がり凸部5を両側から挟む弾性力が作用し、布地11に健康部材装着具1を固定できる。 - 特許庁
(7) The court shall decide on the provisional measures out of turn, but not later than within fifteen days from the filing of a request to this effect. The court of second instance shall decide on the appeal filed against the decision on the provisional measures out of turn, but not later than within fifteen days from the filing of the appeal. (7) 裁判所は,順不同で,暫定措置について,この趣意での請求の提出から遅くとも15日以内に決定を下す。第2審裁判所は,暫定措置に関する決定に対して提起された不服申立について,順不同で,その提起から遅くとも15日以内に,決定を下す。 - 特許庁
2. Appeals shall lie from decisions taken by the Minister under this Law or its Implementing Regulations, including decisions taken by the Minister in accordance with paragraph 1, to the Council of State, Disputes Committee that shall take its decision on the merits and in final instance. (2) (1)に従って大臣によって行われた決定を含み,本法又はその施行規則に基づいて大臣によって行われた決定に対する不服申立は,最高行政裁判所訟務委員会に対して行わなければならず,同裁判所は,その本案最終審判決を下す。 - 特許庁
Where serious reasons arise, the author alone shall have the right to request the court of first instance to prevent putting the work in circulation, withdraw the work from circulation or allow making substantive modification to the work, notwithstanding his disposal of the economic exploitation rights.
重大な理由が生じた場合、利用財産権の処分できるにせよ、著作者は単独で第一審裁判所に対して、著作物が流通に置かれることの防止、流通からの回収、又は著作物への実質的な修正認めることを請求する権利を有するものとする。 - 特許庁
1. Lapse as provided for in Article 116.1(e) of the Law shall be declared following the proceeding lapse, begun either ex-officio or at the instance of an interested party, after hearing the patent owner and within the time limits indicated in the preceding Rule. (1) 特許法第116条(1)(e)節に規定されている失効は,失効の手続に従って宣誓されなければならないものとし,職権又は関係当事者の要求により開始されるものとし,これらは特許所有者に聴聞の後,規則39規定の期限内に行われなければならないものとする。 - 特許庁
The provincial governments [Landesregierungen] shall have the power to allot by statutory order industrial designs litigation for the areas of several first instance courts to one such court insofar as this is procedurally expedient. The provincial governments may delegate these powers to the provincial justice administrations.
連邦州政府(Landesregierungen)は,数箇所の地方裁判所の裁判管轄権内にわたる工業意匠争訟を,手続の促進に役立つ限りにおいて1つの当該裁判所に施行令により委託する権限を有する。連邦州政府は,この権限をその州の法務部に委譲することができる。 - 特許庁
For all actions for which the Community trade mark courts have jurisdiction within the meaning of Article 91(1) of the Community Trade Mark Regulation (Community trade mark litigation), the Provincial Courts [Landgerichte] shall have exclusive jurisdiction as Community trade mark courts of first instance without regard to the value in dispute.
共同体商標裁判所が共同体商標規則第91条(1)に定める管轄権を有するすべての訴訟(共同体商標訴訟)については,係争中の価額に関係なく,地方裁判所(Landgerichte)が第1審の共同体商標裁判所として専属管轄権を有する。 - 特許庁
The competent court for the grant, assignment, amendment or revocation of a non-contractual licence is the three-member court of first instance at the place of residence of the petitioner, which judges in accordance with the proceeding of articles 741 to 781 of the Code of Civil Procedure Law.
強制ライセンスの許諾,譲渡,変更又は取消を行う所管裁判所は,申立人の居住地における,3名の裁判官から成る第1審裁判所とし,当該裁判所は民事訴訟法第741条から第781条までに規定される手続にしたがって審判を行うものとする。 - 特許庁
The Court of First Instance of the district in which the goods are produced or the services are provided or the district in which the undertaking whose goods or services bear the trademark has its registered offices shall be competent to grant provisional measures.
当該商品の製造地若しくは当該サービスの提供地,又は当該商標を伴う商品若しくはサービスが帰属する企業が登録上の事務所を有している地域の第1審裁判所は,所管裁判所として仮処分を付与する権限を有するものとする。 - 特許庁
The flat panel loudspeaker mounting structure 36 is roughly constituted in such a manner that the diaphragm 31 is attached to an actuator module 32 in an abutted state at a prescribed part so as to transmit the vibration and it is attached to a front case 12 through a frame-like gasket member 33 composed of silicone rubber for instance. フラットパネルスピーカ実装構造36は、振動板31が、振動が伝達されるように所定の部位でアクチュエータモジュール32に当接状態で取り付けられ、かつ、例えばシリコーンゴムからなる枠状のガスケット部材33を介して、フロントケース12に取り付けられて概略構成されている。 - 特許庁
To improve mounting workability and to ensure connection in relation to a connector for a flexible flat connection member for connecting an electric circuit of an internal printed circuit board to another electronic component, in a portable telephone, a notebook-type personal computer or a mobile notebook, for instance. 本発明は、例えば、携帯電話、ノート型パーソナルコンピュータ、モバイルノート等において、内部プリント基板の電気回路と他の電子部品とを接続する、フレキシブルな平板状接続部材用のコネクタに関し、装着性の改善と、接続の確実性を図ることが課題である。 - 特許庁
The identification (ID) information 845 generated from an ID generation means 1844 is sent to an ID frame generation means 1845, the ID information from the ID generation means 1844 is buried in a leading frame (0 order frame) for instance to attain an ID frame and it is sent to the selection means 1846. ID発生手段1844から発生された識別(ID)情報845は、IDフレーム生成手段1845に送られ、ID発生手段1844からのID情報を例えば先頭フレーム(0番フレーム)埋め込んでIDフレームとし、選択手段1846に送る。 - 特許庁
To provide a semiconductor device and its manufacturing method including a capacitance element (for instance, a MIM capacitance element) having a large margin for a leak current, and capable of easily leveling an interlayer insulating film by decreasing a step of the interlayer insulating film when forming the capacitance element. リーク電流に対するマージンが大きい静電容量素子(例えばMIM静電容量素子)を備え、静電容量素子を形成するときの層間絶縁膜の段差を低減して層間絶縁膜の平坦化を容易にできる半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a metadata generation apparatus and a metadata generation method, which use information (for instance, positional information by GPS or the like and a photographed date and time) that can be acquired always with a digital camera or the like provided in a cellular phone to automatically generate metadata related to a photographed place of digital content. 携帯電話に備えられたデジタルカメラ等においては常時取得可能な情報(例えばGPS等による位置情報と撮影日時)を利用して、デジタルコンテンツの撮影場所に関連したメタデータを自動的に生成するメタデータ生成装置およびメタデータ生成方法を提供する。 - 特許庁
Therefore, even when the number of display devices 4 is small and document data to be drawn can not be drawn up to the final page by a method for drawing one page in each display device 4 for instance, more pages can be drawn by drawing the plurality of pages in one display device 4. そのため、例えば、表示装置4の数が少なく、各表示装置4に1ページ描画する方法では描画対象である文書データを最終ページまで描画できない場合であっても、1つの表示装置4に複数ページを描画することで、より多くのページを描画することができる。 - 特許庁
An input signal correction-computed to subtract the high frequency component signal y of the load pressure x of the hydraulic actuator 4 extracted by the high pass filter 11b, for instance, from a flow command r to a hydraulic pump 2 is input to response restrained object equipment. そして、例えばハイパスフィルタ11bにて抽出された油圧アクチュエータ4の負荷圧xの高周波成分の信号yを、油圧ポンプ2に対する流量指令rから減算するように、補正演算された入力信号が応答抑制対象機器に対して入力される。 - 特許庁
This fraudulent information read preventer 1 is composed of a sheet main body 2 formed of a synthetic resin material of the roughly same size as paper money housed inside the purse for instance and a magnetic layer 3 formed on one or both side faces of the sheet main body 2. 本発明を適用した不正情報読み取り防止具1は、例えば財布内に収納される紙幣と略同じ大きさ合成樹脂素材より形成されるシート本体2とこのシート本体2の一側面、あるいは両側面に形成される磁性層3とから構成されるものである。 - 特許庁
Then, the image data, on the postcard, that are selectively designated by a given selection condition (for instance, age or sex) are sought from the database, and the name and address described on the postcard are secondarily inputted from the image data as the personal data for identifying the customer to be additionally registered with the database. そして所定の選定条件(例えば年令や性別)により選択的に指定されたはがきのイメージデータをデータベースから求め、このイメージデータからはがきに記載された氏名・住所を、顧客を同定する個人データとして二次入力してデータベースに追加登録する。 - 特許庁
When the language code of APID_OMG corresponds to Japanese and a bundle product code corresponds to a portable device 7-1, for instance, the key server 5 transmits a URL corresponding to an EMD server (e.g., an EMD server 4-1) displaying a page described in Japanese, to a personal computer 1. 例えば、APID_OMGの言語コードが日本語に対応し、バンドル製品コードがポータブルデバイス7−1に対応しているとき、鍵サーバ5は、日本語で記述されているページを表示させるEMDサーバ(例えば、EMDサーバ4−1)に対応するURLをパーソナルコンピュータ1に送信する。 - 特許庁
The measurement means 61 between the cutting edge and the reference part includes an imaging device 62 capable of simultaneously photographing the reference part 7s and the tool tip 18t, and an image processing means 63 for processing images simultaneously photographed by the imaging device 64 to calculate the distance L3, for instance. 刃先・基準部間計測手段61は、例えば、前記基準部7sと工具先端18tとを同時撮影可能な撮像装置62と、この撮像装置64で同時撮影された画像を処理して前記距離L3を演算する画像処理手段63とでなる。 - 特許庁
By connecting the hand switches 4 to the device main body 2 via the extension unit 6 and pushing down either a switch A or a switch B of the hand switches 4, for instance, motion of a scissors type hand piece 3A as a first hand piece which is selected and connected can be controlled. この拡張ユニット6を介して装置本体2にハンドスイッチ4を接続して、該ハンドスイッチ4のスイッチA、Bのどちらかを押下操作することによって、例えば選択接続された第1のハンドピースとしてのシザース型ハンドピース3Aの動作を制御することができるようになっている。 - 特許庁
For instance, when inputting the RF signals of the same strength to an RF circuit 62 at the plurality of frequencies f_T, the data D_SM for detecting the signal S_M-DC of the equivalent level by the S meter circuit 92 are obtained by measurement beforehand, and the calibration information 140 stores the data D_SM. 例えば、複数のf_TにてRF回路62に同一強度のRF信号を入力したときに、Sメータ回路92により同等レベルのS_M−DCが検出されるD_SMが予め測定により求められ、較正情報140はこのD_SMを格納する。 - 特許庁
For example, in some situations, the selection of an appropriate computing system to execute an instance of a program is based in part on physical or logical proximity to other resources, such as stored copies of the program, executing copies of the program, and/or available computing systems. 例えば、一部の状況において、プログラムのインスタンスを実行すべき適切なコンピュータシステムの選択は、そのプログラムの格納されたコピー、そのプログラムの実行中のコピー、及び/または利用可能なコンピュータシステムなどの、他のリソースに対する物理的近さ、または論理的近さに或る程度、基づく。 - 特許庁
The modular plug removal prevention device 1000 is composed of, for instance, a holding frame 100, and an insertion member 200 inserted in inside walls 102a and 103a of the holding frame 100 and between a locking lever formation surface 11d and a ceiling surface 104. 本発明に係るモジュラープラグ着脱防止具1000は、例えば、保持枠100と、保持枠100の内壁102a、103a内であって、ロック用レバー形成面11dおよび天井面104aの間に挿入される挿入部材200とから構成されている。 - 特許庁
This microprocessor obtains a value of an object instance variable not by accessing a register file 6 but accessing a memory 7 when the specified bits MSB of register specification fields 4b, 4c of an instruction code take prescribed values and a mode register 1 indicates an object program execution mode. 本発明は、命令コードのレジスタ指定フィールド4b,4cの特定のビットMSBが所定の値になり、かつモードレジスタ1がオブジェクトプログラム実行モードを示している場合に、レジスタファイル6ではなく、メモリ7をアクセスして、オブジェクトインスタンス変数の値を得るマイクロプロセッサである。 - 特許庁
To quietly drive an air control futon for supplying hot air or cold air to bedding constituted of a coverlet and a mattress and controlling a sleeping environment in the case of using it in a hospital or a house for, instance, and to provide a more comfortable sleeping environment. 掛けふとんや敷ふとんで構成する寝具に温風もしくは冷風を供給して就寝環境をコントロールするエアーコントロールふとんを、例えば病院や家庭において使用する場合に静かに運転することができるとともに、より快適な就寝環境を実現できるようにする。 - 特許庁
When the stopped/displayed specific symbols is a second specific symbol, the special game executing means executes a second special game to open/close the variable winning means on the instance, and after that, the privilege giving means gives the player the privilege to shorten the time for variably displaying symbols. 停止表示された特定図柄が第2の特定図柄である場合、特別遊技実行手段は可変入賞手段を一瞬のうちに開閉させる第2の特別遊技を実行し、その後、特典付与手段によって、図柄の変動表示の時間を短くする特典が付与される。 - 特許庁
When the deceleration of a vehicle is large, for instance, the time from a shift command to the start of shift is reduced by raising the indicated oil pressure PA of the constant standby pressure before the start of shift higher than normal so that the device can correspond to a quick shift required at a sudden deceleration. 例えば車両の減速度が大きいときには変速開始までの定圧待機圧の指示油圧PAを通常時よりも大きくして、変速指示時から変速開始までの時間を短縮することで、急減速時に要求される素早い変速に対応できるようにする。 - 特許庁
To provide a lamp fitting for a vehicle which can prevent or alleviate glare caused as part of light irradiated from a projector type optical system is reflected at a lens (for instance, an outer lens) and reflected light from the lens gets incident into a reflecting body such as a parabola type optical system reflector. プロジェクタ型の光学系から照射された光の一部がレンズ(例えばアウターレンズ)で反射し、そのレンズからの反射光がパラボラ型の光学系のリフレクタ等の反射体に入射することに起因するグレアを防止又は低減することが可能な車両用灯具を提供する。 - 特許庁
To provide an attaching metal fitting which is easily constructed and has an excellent finish appearance in the case of supporting a siding material partially cut off in order to match a dimension with a window upper part or a window lower part for instance, and an attaching structure of the siding material using the attaching metal fitting. 例えば窓上部または窓下部に寸法を合わせるために一部を切断したサイディング材を支持する場合において、施工が容易であり、仕上がりの体裁も良好な取付金具およびその取付金具を用いたサイディング材の取付構造を提供すること。 - 特許庁
A nozzle N which moves in a scan direction Ds along a surface Wf of a substrate W discharges an application liquid which contains a photo-curable material, and a light emitter E moving so as to follow the nozzle N emits light (UV light for instance) to the application liquid. 基板Wの表面Wfに沿って走査移動方向Dsに移動するノズルNから、光硬化性材料を含む塗布液を吐出させるとともに、ノズルNに追随するように移動させた光出射部Eから光(例えばUV光)を塗布液に照射する。 - 特許庁
To suppress the generation of a leakage current accompanying the deterioration of crystallinity on respective layer interfaces of a collector and a base and an emitter and the base in a semiconductor multilayer film, for instance the semiconductor multilayer film for which respective semiconductor layers to be used for the collector, the base and the emitter are continuously formed by epitaxial growth. 半導体多層膜、例えば、コレクタ、ベース、エミッタに供する各半導体層をエピタキシャル成長により連続して形成する半導体多層膜において、上記コレクタ/ベース及びエミッタ/ベースの各層界面での、結晶性の悪化に伴うリーク電流の発生を抑制する。 - 特許庁
For instance, the core layer (104) may be significantly more resistant to irradiation growth and/or irradiation creep than the at least one cladding layer (102), and the at least one cladding layer (102) may have an increased resistance to hydrogen absorption and/or corrosion relative to the core layer (104). 例えば、コア層(104)は、少なくとも一つのクラッド層(102)に比べて、対照射成長耐性および/または対照射クリープ耐性を有し、また少なくとも一つのクラッド層(102)は、コア層(104)よりも、対水素吸蔵および/または腐食に対するより高い耐性を有していてもよい。 - 特許庁
Here, a solvent with a moisture concentration and an oxygen concentration regulated at 100 ppm by mass or less is used, for instance, one with less moisture concentration and less oxygen concentration than is used at an atmosphere in which coating and drying of the organic solution takes place. このとき、溶媒として、水分濃度及び酸素濃度が100質量ppm以下に規制された溶媒を使用し、例えば、水分濃度及び酸素濃度がそれぞれ、有機溶液の塗布及び乾燥を行う雰囲気の水分濃度及び酸素濃度よりも低い溶媒を使用する。 - 特許庁
When a player can display a specified display role (a bell, for instance) in all games during the MB game state, so that game state is shifted to an RT game state as the grant of a privilege game that is relatively advantageous to the player. このMB遊技状態中の全てのゲームにおいて、遊技者が特定の表示役(例えば、ベル)を表示させる事が出来た場合に、遊技者に相対的に有利な特典遊技の付与として、RT遊技状態へ遊技状態が移行させられる様に構成されている。 - 特許庁
In a data classifier creation device 1, first a 1:1 data creation part 20 creates a 1:1 data set being a set of 1:1 data for classifier creation on the basis of data stored in an instance data storage part 11 and stores the 1:1 data set in a 1:1 data storage part 12. データ分類器作成装置1では、まず、1対1データ作成部20は、事例データ格納部11に格納されたデータを基に、分類器を作成するための1対1データの集合である1対1データ集合を作成し、1対1データ格納部12に格納する。 - 特許庁
To provide a hook member which can be arranged on a wall surface or the like of a rental room, for instance, beforehand, to which fixtures cannot be arbitrarily attached, facilitates fixing of articles like a photograph and a poster thereto by the fixtures like pushpins, and also allows hanging of hangers including clothes hangers. 例えば賃貸物件の室内など、自由に固定具を取り付けられない壁面などにあらかじめ配設しておくことにより、簡単に写真、ポスターなどの物品を押しピンなどの固定具で固定できるとともに、洋服用ハンガーなどのハンガー類を引掛けることもできるフック部材を提供する。 - 特許庁
Furthermore, the interior finishing material is produced to knead the humidity control material such as a coating wall material (for instance, a diatom-earth wall) 13, a joint material and putty, the thermal storage material (thermal storage material of concentration of about 50%), and coated by a trowel or a spatula to complete interior finishing. さらに、内装仕上げ材は、塗り壁材(例えば珪藻土壁)13、目地材、パテ等で、パウダーなどの調湿材、蓄熱材(蓄熱材の濃度50%程度)を練り込んで作られており、これを所望のところに鏝やへらで塗り込んで内装を仕上げるようにしている。 - 特許庁
For instance, the context-specific information can include locational information regarding the user, weather information at the current location of the user, traffic information at the user's current location, proximity information for the user to a given transportation mode (airport, train station, and so on), as well as user preferences information. 例えば、状況固有の情報には、ユーザに関する位置情報、ユーザの現在位置の気象情報、ユーザの現在位置の交通情報、所与の輸送手段(空港、鉄道の駅など)へのユーザの近接性情報、ならびにユーザ選択情報を含めることができる。 - 特許庁
Interruption processing for the execution of a game control program is executed prime number times (5261 times) in one-time variation control time (10522 ms, for instance) including variation display time required from the start of variation to the lead-out display of a display result in a variable display device. 可変表示装置における変動開始から表示結果の導出表示までに要する変動表示時間を含む1回の変動表示制御時間(たとえば10522ms)において、遊技制御プログラム実行のための割込み処理を素数回(5261回)実行する。 - 特許庁
It is easy to select cooking, for instance, when cooking to be prepared is not decided, when a food kept in stock is desired to be used in cooking or the like and it is possible to more efficiently and easily select foods particularly by making cooking to be selected retrieval according to conditions. 特に、選択する料理を条件検索可能とすることで、例えば作る料理を決めていない場合や、ストックのある食材を利用した料理を選択したい場合などの料理の選択も容易になり、食材の選択を一層効率良く、かつ容易に行うことができる。 - 特許庁
In the arrangement configuration of the electromagnetic operation units 4 to the phase-to-phase areas 3D, the electromagnetic operation units 4 are so arranged as to be at least partially positioned in the phase-to-phase areas 3D (for instance, the insulation cases 3A-3C and the two electromagnetic operation units 4 are arranged alternately in a staggered manner). 前記の相間領域3Dに対する電磁操作器4の配置構成は、その電磁操作器4の少なくとも一部が相間領域3D内に位置するように配置(例えば、絶縁ケース3A〜3Cと2個の電磁操作器4とが千鳥足状で交互に配置)する。 - 特許庁
A set of input/output variables of a function block configuring a PLC control program is managed as an interface, and an instance having an interface type instead of the function block is used to permit the creation of the operation logic of the control program or the internal program of the function block. PLC制御プログラムを構成するファンクションブロックの入出力変数のセットをインタフェースとして管理し、ファンクションブロックの代わりに前記インタフェースを型としたインスタンスを用いて制御プログラム或いはファンクションブロックの内部プログラムの動作ロジックを作成することを許容する。 - 特許庁
The heat exchange injector assembly 22 of the invention includes a plurality of heat exchange elements 58 each of which comprises a fuel sleeve 70, a liquid oxidizer post 72 disposed in the fuel sleeve 70 and a multi-passage swirl member, for instance a double helix member 74, disposed in the liquid oxidizer post 72. 本発明の熱交換インジェクタアセンブリ22は、燃料スリーブ70と、燃料スリーブ70内に設けられた液体酸化剤ポスト72と、液体酸化剤ポスト72内に設けられた多通路渦流型部材、例えば二重らせん部材74と、を備える複数の熱交換要素58を含む。 - 特許庁
To miniaturize an apparatus for, for instance, forming a film while heating a semiconductor wafer by a heater installed on a mounting table, when preventing a raw gas from infiltrating into the space in the lower part side of the mounting table and installing a thermocouple and a power supply path member in the space. 載置台に設けられたヒータにより半導体ウエハを加熱しながら例えば成膜を行う装置において、載置台の下部側空間への処理ガスの回り込みを防止して、その空間に熱電対及び給電路部材を設置するにあたり、装置の小型化を図ること。 - 特許庁
To provide an oily gel body for a mat capable of removing oil components oozing from oily gel without damaging elasticity required for the mat for bedsore prevention for instance, reducing the migration of the oil components to an exterior body, and eliminating the twist, rounding, shift and separation of an oily gel material. 例えば褥瘡予防用マットに必要な弾性を損なうことなく、油性ゲルから滲み出した油成分を除去し、外装体への油成分の移行を少なくし、かつ、油性ゲル材の捩れ、丸まり、ズレ、分離を無くすことができるマット用油性ゲル体を提供する。 - 特許庁
The positions of alignment marks 33 and 34 are detected while mutually pressurizing an upper surface plate 13 and a lower surface plate 12 by a pressurizing motor 27 and the position of the lower surface plate 12 is adjusted by a position adjustment table 26 so that the position deviation becomes within 0.3 μm for instance. 加圧モータ27により上定盤13と下定盤12とを互いに加圧しながら、アライメントマーク33及び34の位置を検出し、それらの位置ずれが、例えば0.3μm以内となるように位置調整テーブル26により下定盤12の位置を調整する。 - 特許庁