To provide a dry etching system and a dry etching method by which a damage to a lower layer can be eliminated and the yield of elements can be improved. 下層のダメージを軽減し、素子の歩留りを向上することのできるドライエッチング装置及びドライエッチング方法を提供する。 - 特許庁
The elements mentioned in the list are written in a plotting layer based on the converted attribute data so that a second drawing data file 63b can be obtained. 該変換に供された属性データに基づいて、リストに挙げられたエレメントを作図レイヤに書き込み、第2図面データファイル63bを得る。 - 特許庁
The forming material of the hole transporting layer 70 contains at least one kind of metal elements that constitute the one electrode 23. 正孔輸送層70の形成材料は、一方の電極23を構成する金属元素のうちの少なくとも一種を含有している。 - 特許庁
The protective layer 4 contains silicon, oxygen and a metal element same as one kind of at least the metal elements contained in the magnet base 2. 保護層4は、ケイ素、酸素及び磁石素体2に含まれる金属元素のうちの少なくとも一種と同一の金属元素を含む。 - 特許庁
The Heusler alloy layer 92 contains a metal element made of any one of silver, gold, copper, paladium, or platinum, or of an alloy made of these elements. ホイスラー合金層92は、銀、金、銅、パラジウム、または白金のいずれか、またはこれらの合金からなる金属成分を含んでいる。 - 特許庁
An organic EL device includes a plurality of organic EL elements (8) each consisting of a pixel electrode (13), a light-emitting functional layer (18) and an opposite electrode (5). 有機EL装置は、画素電極(13)、発光機能層(18)及び対向電極(5)からなる有機EL素子(8)を複数含む。 - 特許庁
After the garnet ferrite layer is deposited on the substrate, a pattern made of unit elements with a suitable size by a photo lithography method etc. is formed. ガーネットフェライト層の基板上への堆積後に、フォトリソグラフィー法等により適切な大きさの単位要素からなるパターンを形成する。 - 特許庁
A groove is formed depending on the elements allocated on the floor at the core layer portion wherein the pressure-resistant floor material of the predetermined shape and thickness is arranged on the base floor. 所定形状、所定厚の耐圧床材を基礎床上に配設した芯層部に床配設物に応じて溝を形成する。 - 特許庁
The ground layer 17 and/or the island-shaped crystals 12-1 to 12-5 are made to incorporated rare earth elements. そして、基層17及び島状結晶12−1〜12−5の少なくとも一方に、少なくとも一種の希土類元素を含有させる。 - 特許庁
The semiconductor device comprises a support substrate (1), an embedded insulating layer (2) provided on the substrate, semiconductor elements (3, 5 and 6) provided on the insulating layer, a trench (T) provided in the insulating layer so as to surround the elements, and a passivation film (8) made of an amorphous insulator provided to embed the trench and to cover the elements. 支持基板(1)と、前記支持基板の上に設けられた埋め込み絶縁層(2)と、前記埋め込み絶縁層の上に設けられた半導体素子(3、5、6)と、前記半導体素子を取り囲むように前記埋め込み絶縁層に設けられたトレンチ(T)と、前記トレンチを埋め込み且つ前記半導体素子の上を覆うように設けられた非晶質の絶縁体からなるパッシベーション膜(8)と、を備えた半導体装置を提供する。 - 特許庁
By a method of manufacturing transistor elements, the gate electrode 320 made of metal is formed on a transparent glass substrate 310, a transparent gate insulating layer 330 is formed on the gate electrode, further a conductive layer comprising an ITO, namely the origin of the source and drain electrodes 350, 360, is formed, and the upper surface of the conductive layer is covered with a negative resist layer. 透明ガラス基板310上に金属からなるゲート電極320を形成し、その上に、透明なゲート絶縁層330を形成し、更に、ソース・ドレイン電極350・360の元になるITOからなる導電層を形成し、その上面をネガ型レジスト層で覆う。 - 特許庁
Each of organic EL elements 100a-100c has an anode 102, a functional layer including a charge injection transporting layer 103 and an organic luminous layer 105, and a cathode 107 laminated and formed in this order on a substrate 101, and the shape of the organic luminous layer 105 is defined by banks 104. 有機EL素子100a〜100cの各々では、基板101上に、陽極102、電荷注入輸送層103および有機発光層105を含む機能層、陰極107がこの順に積層形成され、有機発光層105の形状がバンク104により規定されている。 - 特許庁
A gettering layer 3 made of silicon with either of combinations of oxygen, oxygen and carbon, oxygen and nitrogen, oxygen, carbon and nitrogen is formed right above the BOX layer 2, and an S layer 4 made of single crystal silicon is formed right above the gettering layer 3 to form semiconductor elements thereon. BOX層2の直上に、酸素、酸素と炭素、酸素と窒素、酸素と炭素と窒素のいずれかの組み合わせを含むシリコンからなるゲッタリング層3が形成され、ゲッタリング層3の直上に、半導体素子を形成するための単結晶シリコンからなるS層4が形成されている。 - 特許庁
Laminated layers formed of the first conductive material layer and the antiferromagnetic layer (or a single layer of the first conductive material layer) are selectively etched by using hard masks 40a, 40b constituted of insulating films as selecting masks, an isolating trenches 44 are formed, and TMR elements Ta-Tc corresponding to the magnetic tunnel junction part are obtained. 第1の導電材層及び反強磁性層の積層(又は第1の導電材層の単層)に絶縁膜からなるハードマスク40a,40bを選択マスクとする選択エッチング処理を施して分離溝44を形成し、磁気トンネル接合部に対応したTMR素子Ta〜Tcを得る。 - 特許庁
The respective electric conductor elements have a conductive layer 1302 arranged on an nonconductive layer so that the nonconductive layer 1300 abuts on both opposed ends of the nonconductive element, and the conductive layer forms an electric passage when the electric interconnection structure is incorporated between opposed circuit boards. 非導電性層(1300)が非導電性要素の対向する両端に当接するように、各導電体要素は非導電性層上に配置された導電性層(1302)を有し、導電性層は、電気相互接続構造が対向する回路基板間に組み込まれる際に電気路を形成する。 - 特許庁
To provide a radial transverse electric polarizer device that includes a first layer of a material having a first refractive index, a second layer of a material having a second refractive index, and a plurality of elongated elements azimuthally and periodically spaced apart and disposed between the first layer and the second layer. 第1屈折率を有する材料の第1層、第2屈折率を有する材料の第2層、及び方位角で周期的に隔置されて第1層と第2層との間に配置された複数の細長い要素を含むラジアル横方向電気偏光器装置を提供すること。 - 特許庁
The photoelectric converter 10 has a first semiconductor layer which contains a mixed crystal compound composed of a metal chalcogenide, a metal oxide, and a metal hydroxide such that in the total of the number of atoms of chalcogen elements making up the metal chalcogenide and oxygen elements, a number-of-atoms ratio of the chalcogen elements is larger than a number-of-atoms ratio of the oxygen elements. 光電変換装置10は、金属カルコゲン化物と金属酸化物と金属水酸化物との混晶化合物を含み、前記金属カルコゲン化物を構成するカルコゲン元素および酸素元素の合計の原子数における前記カルコゲン元素の原子数比率が前記酸素元素の原子数比率よりも大きい第1の半導体層を具備する。 - 特許庁
A multi-chip module can be manufactured by aligning a plurality of chip elements to a substrate via an adhesive, temporarily pasting the plurality of the chip elements, disposing the buffer film for multi-chip packaging between the chip elements and a bonding head so that the heat resistant resin layer exists on the chip element side, and heating and pressurizing the plurality of the chip elements to the substrate with the bonding head. マルチチップモジュールは、複数のチップ素子を、接着剤を介して基板にアライメントし、仮貼りした後、チップ素子とボンディングヘッドとの間に、マルチチップ実装用緩衝フィルムを、その耐熱性樹脂層がチップ素子側になるように配置し、複数のチップ素子をボンディングヘッドで基板に対し加熱加圧して接続することにより製造できる。 - 特許庁
The soundproof device 1 is equipped with an intermediate part having a footing plate 31 capable of being connected to the mechanical system and two wing elements 32a and 32b connected with the footing plate 31, the wing elements are connected to side parts of angle elements 2a and 2b through a soft sound layer, and the angle elements are equipped with footing parts capable of being connected to the mounting body. 防音装置1は機械システムに連結可能な基礎プレート31を具備する中間部分と、基礎プレート31によって連結される二つのウイング要素32a、32bとを具備し、各ウイング要素は軟音層を介してアングル要素2a、2bの側方部分に連結され、これらアングル要素は取付本体に連結可能な基礎部分を具備する。 - 特許庁
In the apparatus and the methods, at least one color filter layer is constituted of at least two color filter elements of different colors which are each individually recorded in the optical transducer elements at least out of the two optical transducer elements. 上記の装置および方法において、前記少なくとも1つの色フィルタ層は、前記少なくとも2つの光トランスデューサエレメント中の個々の光トランスデューサエレメントに、その色フィルタエレメントの各々が記録される、色が異なる少なくとも2つの色フィルタエレメントから構成される。 - 特許庁
To provide a manufacturing method of organic functional elements, such as high-performance organic EL elements, organic solar cells and organic thin film transistors, which will not cause degrading in the characteristics of the organic functional elements, when a high-boiling point solvent is removed for drying, when an organic functional layer is manufactured by a printing method. 有機機能層を印刷法で作製した場合において、高沸点溶を除去乾燥する際に有機機能性素子の特性の低下が起きず、高性能な有機EL素子、有機太陽電池および有機薄膜トランジスタのような有機機能性素子の製造方法を提供する。 - 特許庁
The sintered compact used for the dielectric layer 1 of a ceramic capacitor is produced by adding to a main component comprising barium titanate, the subcomponents including A-site elements comprising Ba and rare earth elements, and B-site elements comprising one or more selected from Ti, Zr, Sn and Hf, and then firing. セラミックコンデンサの誘電体層1に用いられる焼結体は、チタン酸バリウムからなる主成分に、Ba及び希土類元素を含むAサイト元素と、Ti、Zr、Sn、Hfから選ばれる1種以上の元素を含むBサイト元素とを含む副成分を添加して焼成してなる。 - 特許庁
In this electron device 1, the electron supply parts 7 formed in the diamond layer 6 have a small work function as compared with, for instance, Cu or the like because of containing one or more kinds of metal elements selected from alkaline metal elements and alkaline-earth metal elements. 電子素子1においては、ダイヤモンド層6内に形成された電子供給部7は、アルカリ金属元素及びアルカリ土類金属元素から選ばれる1種類以上の金属元素を含有しているため、例えばCu等に比べ仕事関数が小さいものとなっている。 - 特許庁
The electromagnetic shielding layer 13 is manufactured so that only a portion for a prescribed number of braiding elements among the number of braiding elements expressed by the number of picks in the circumference direction A are formed with the bundles 15 of conductive metal strands, and a portion for the remaining number of braiding elements are formed with the bundles 16 of the soft magnetic metal strands. 電磁遮蔽層13は、円周方向Aのピックの数で表される打ち数のうち所定の打ち数分だけ導電性の金属素線の束15で形成するとともに、残りの打ち数分を軟磁性の金属素線の部分の束16で形成するように製造されている。 - 特許庁
The optical cable 1, comprising a plurality of optical elements 2, in which a coating layer 7 is provided on the outer circumference of a coated optical fiber 5, and the elements 2 are juxtaposed without being twisted, is installed as a trunk line, and the arbitrary optical elements 2 are pulled out from the optical cable 1 and distributed to be installed at the respective homes 14. 光ファイバ心線5の外周に被覆層7が設けられた複数本の光エレメント2が、撚られずに並列されて束ねられている光ケーブル1を幹線布設して、光ケーブル1から任意の光エレメント2を引き抜いて各住居14へ分配布設する。 - 特許庁
The VCM includes a set of magnetic sensing elements; a lens carrier physically connected to the set of magnetic sensing elements for placing a lens; a pedestal; a set of printed circuit boards (PCB) fixed onto the pedestal; and a flat coil formed on a patterned metal layer on the set of PCB so as to face the magnetic sensing elements. VCMは、一組の感磁素子と、一組の感磁素子に剛結合され、レンズを載置するレンズキャリアと、台座と、台座に固設される一組のプリント回路基板(PCB)と、一組のPCBにあるパターン化金属層において、感磁素子に対向するように形成されるフラットコイルとを含む。 - 特許庁
The tin-plating or aluminum-plating surface treated steel material with excellent corrosion resistance contains an intermetallic compound consisting of one or more Group IIa (alkaline earth metal) elements and one or more Group IVb elements in a tin-based plating layer or an aluminum-based plating layer on a surface of the steel material. 鋼材表面の錫系めっき層またはアルミ系めっき層中に、1種以上のIIa族(アルカリ土類金属)元素と1種以上のIVb族元素により構成された金属間化合物を含有する耐食性に優れた錫めっき系またはアルミめっき系表面処理鋼材。 - 特許庁
The optical retardation compensation elements are provided with negative uniaxial first optical retardation layers (24a, 24b) and further the sum of retardation Rthf in the liquid crystal layer normal direction of the optical retardation compensation elements and in-plane retardation Re in the case of black display of the liquid crystal layer satisfies an inequality 8.0≤Rthf/Re≤9.7. 位相差補償素子は、負の一軸性の第1位相差層(24a、24b)を有し、且つ、位相差補償素子の液晶層の法線方向のリタデーションの合計Rthfと液晶層の黒表示時の面内リタデーションReとの関係が、8.0≦Rthf/Re≦9.7を満足する。 - 特許庁
An organic insulating layer 9 is disposed on a substrate 1 formed with scanning lines, signal lines 12 and switching elements 30 disposed near their intersections and the pixel electrodes 10 conducted to the switching elements 30 through contact holes 18 are formed on this layer 9. 走査線,信号線12及びそれらの交差部近傍に設けられるスイッチング素子30が形成された基板1上に、有機絶縁層9を設け、この有機絶縁層9上に、コンタクトホール16を介してスイッチング素子30に導通される画素電極10を形成する。 - 特許庁
This electromagnetic wave shielding film has a transparent polymeric film (A), a transparent conductive layer (B), and concurrently vapor- deposited layer (C) composed of at least one kind of element in the period 4 of group VIII of the periodic table of elements and at least yttrium or one kind of lanthanum-based rare-earth element on the periodic table of elements. 透明高分子フィルム(A)と、透明導電層(B)と、少なくとも1種類の元素周期表第VIII族第4周期元素と、少なくとも1種類のイットリウム又は元素周期表のランタン系希土類元素からなる共蒸着層(C)を有する電磁波シールドフィルム。 - 特許庁
The organic EL device has a plurality of light emitting elements (120) arranged on a substrate (100), a wiring layer (107) of a power source disposed on the outer circumference side of the substrate (100), a two-layered electrode layer (123) for covering the plurality of light emitting elements (120), and a sealing substrate (200) for further covering these parts. 本発明の有機EL装置は、基板(100)上に配列された複数の発光素子(120)と、基板外周側に配された電源の配線層(107)と、前記複数の発光素子を覆う2層電極層(123)と、これらの部分を覆う封止基板(200)とを備える。 - 特許庁
Elements 27a for outputting an electric signal of a level in response to an amount of a latent image charge condensed in a condensing part 29 formed in an interface between the photo-conductive layer 22 and the charge transport layer 23 are arranged to be in parallel to the elements 26a each other. 記録用光導電層22と電荷輸送層23との界面に形成された蓄電部29に蓄積された潜像電荷の量に応じたレベルの電気信号を出力させるためのエレメント27aがエレメント26aと互いに平行となるように配設されている。 - 特許庁
Then, organic EL elements 16 equipped with luminous layers made of organic EL layers 18 are formed in a matrix shape on the insulation layer 15 for black matrix, with a light-taking out direction from the organic EL elements 16 on an opposite side of the substrate against the insulation layer 15 for black matrix. そして、ブラックマトリックス用絶縁層15上に有機EL層18からなる発光層を備えた有機EL素子16をマトリックス状に形成し、有機EL素子16からの発光の取り出し方向をブラックマトリックス用絶縁層15に対して基板12と反対側とする。 - 特許庁
The light deflection elements 28 are arranged opposite to the light source 41 side of the display device 70, deflect light H made incident from an incident surface of the light deflection elements 28, emits the light to the light propagation layer 23 and emits diffusion light from a light emission surface of the light propagation layer 23. 光偏向要素28は、表示装置70の光源41側に向けて配置され、光偏向要素28の入射面から入射した光Hを偏向して光伝搬層23に射出し、光伝搬層23の光射出面から拡散光を射出する。 - 特許庁
In the organic EL element 2, elements 7 each having an organic layer 6 including a luminescent layer sandwiched between a positive electrode 4 including wire 4a and negative electrodes 6 including wire 6a are formed as films on a substrate 3, and connection points P of the wires 4a, 6a are placed between luminescent parts 8 of the elements 7. 有機EL素子2は、配線4aを含む陽極4と、配線6aを含む陰極6との間に発光層を含む有機層5が挟まれた素子7が基板3の上に成膜され、素子7の発光部8間を配線4a,6aの接続点Pとしている。 - 特許庁
The film thickness measuring means 8 has a light source for irradiating a film layer with luminous flux; a plurality of light receiving elements for receiving reflected light or transmitted light generated in the film layer, by wavelength; and a host computer 10 for computing a plurality of solutions of film thickness values from signals detected by the light receiving elements. 膜厚測定手段8は光束を膜層に照射する光源と、膜層において発生した反射光又は透過光を波長別に受光する複数の受光素子と、受光素子により検出した信号から膜厚値の複数解を演算するホストコンピュータ10とを有する。 - 特許庁
The laminated reaction unit is made by using a plurality of thermal catalyst elements A comprising the porous metal substrate, an oxide layer formed on the surface of the metal substrate, and an oxide semiconductor carried by the oxide layer, and laminating the catalyst elements A so as to face the flow of a gas containing materials to be decomposed and to leave a predetermined space between them. 多孔金属基材と、金属基材の表面に形成した酸化被膜層と、この被膜層上に酸化物半導体を担持した熱触媒素子Aを複数枚用い、被分解物が含まれるガスの流れに対面し、かつ、所定の間隙を隔てて積層した積層型反応ユニット。 - 特許庁
The inhibitor of H_2S generation is comprised of a plurality of nuclei 1 comprised of an oxide of at least one element selected from alkali earth metal elements and rare earth elements, a porous oxide layer 2 whose average pore diameter is 0.5 nm to 10 nm formed on the surface of each of the nuclei 1, and noble metals 3, 4 deposited on the porous oxide layer 2. アルカリ土類金属及び希土類元素の中から選ばれる少なくとも一種の元素の酸化物よりなる核体1と、核体1の表面に形成された平均細孔径が 0.5nm〜10nmの多孔質酸化物層2と、多孔質酸化物層に担持された貴金属3,4と、からなる。 - 特許庁
When forming a plurality of organic electroluminescent elements 2 to 4 having a light color different from each other, composed of an anode 5, a hole transportation layer 6, light emitting layers 7 to 9, and a cathode 10, the electroluminescent elements are successively formed from the light emitting layer 7 of the element 2 of which deterioration of brightness is relatively large. 少なくとも陽極5/正孔輸送層6/発光層7〜9/陰極10からなり発光色が異なる複数の有機エレクトロルミネッセント素子2〜4を形成する際に、輝度劣化が大きい有機エレクトロルミネッセント素子2の発光層7から順に形成していく。 - 特許庁
The hard magnet layer is patterned to form a first pattern 43A covering the MR elements 42C, 42D and second and third patterns 43B, 43C holding the MR elements 42A, 42B therebetween in the in-plane direction. ハードマグネット層をパターニングし、MR素子42C,42Dを覆う第1のパターン43Aと、面内方向においてMR素子42A,42Bを挟むように第2および第3のパターン43B,43Cとを形成する。 - 特許庁
The reinforcing layer 30 is embedded with a plurality of reinforcing elements 15 in an abutting belt supply 12 and reinforcing elements 35, such as the one made of aromatic polyamide, slanting in the opposite direction to an equatorial plane S of the tire. 補強層30内には、隣接するベルトプライ12内の補強素子15とタイヤ赤道面Sに対して逆方向に傾斜する、例えば芳香族ポリアミドからなる補強素子35を複数埋設する。 - 特許庁
The optical source device is constituted of the light-emitting elements mounted on the reflective recesses of the enameled substrate for mounting the light-emitting elements, which are provided on both sides of the enameled substrate made by coating the core metal with the enameled layer. コア金属をホーロー層で被覆したホーロー基板の両面に反射凹部が設けられてなる発光素子実装用ホーロー基板の前記反射凹部に発光素子が実装されてなることを特徴とする光源装置。 - 特許庁
When CAD data is electronically delivered, detailed drafting standards of layer names, sizes of characters, types of lines, colors of elements, line types are determined, and elements included in CAD data must meet these standards. CADデータを電子納品する場合、レイヤ名、文字のサイズ、線の種類、要素の色や線種といった細かな製図基準が定められており、CADデータに含まれる要素は、これらの基準を満たさなくてはならない。 - 特許庁
The display device, wherein light-emitting elements EL holding an organic light-emitting layer between electrodes are arranged, is provided with a brightness limiting circuit 7a for limiting the maximum brightness of the light-emitting elements EL. 電極間に有機発光層を挟持してなる発光素子ELを表示領域1に配列してなる表示装置において、発光素子ELの最大輝度を制限する輝度制限回路7aを設けた。 - 特許庁
The plurality of conductor layers include: the transmission line 111 and a ground planar conductor 101 as the circuit conductor elements; and an electrically neutral isolated conductor layer 130 isolated from the circuit conductor elements in terms of a DC. これら複数の導体層は、回路導体要素としての伝送線路111及びグランド用面導体101と、回路導体要素から直流的に分離された電気的に中性な孤立導体層130とを含む。 - 特許庁
Therefore, when coating with a sealing resin 3, the semiconductor integrated- circuit elements 11 and the passive elements 12, etc., mounted on the top-surface- layer board 5, no sealing resin 3 flows into the continuity grooves 21. したがって、表面層基板5に実装されている半導体集積回路素子11や受動素子12等を封止樹脂3で被覆するときに、該封止樹脂3が導通溝21に流入することがない。 - 特許庁
The lower layer of the organic protective film 27 is provided with an inorganic protective pattern 21 in the shape of covering the elements such as the transistor Tr configured using a semiconductor material including a semiconductor substrate 11 among the elements. 有機保護膜27の下層には、素子のうち半導体基板11を含む半導体材料を用いて構成されたトランジスタTrなどの素子上を覆う形状で無機保護パターン21が設けられている。 - 特許庁
An insulation layer 15 covering the organic luminescence elements 10R, 10G and 10B is formed with a first opening 15A and a second opening 15B in each of the organic luminescence elements 10R, 10G and 10B. 有機発光素子10R,10G,10Bを覆う絶縁層15には、有機発光素子10R,10G,10Bの各々ごとに、第1の開口部15Aおよび第2の開口部15Bが設けられている。 - 特許庁
The heat-radiating elements are potential-free and probably protected against electric flashover due to the fact that the heat-radiating elements 56 are positioned at the opposing sides of the heat-generating element 56 with the insulating layer 8 placed in between. 熱放射要素56が間に絶縁層8を置いて熱発生要素56の対峙する側に位置するという事実のために、熱放射要素には電圧がなく高い確実性で電気的なフラッシュオーバーから保護される。 - 特許庁
Especially, the reflection layer RF includes a plurality of concave parts 15 which are respectively separated from the plurality of organic EL elements OLED through light transmitting insulation films 26, and make the reflected light travel toward corresponding organic EL elements OLED. 特に光反射層RFは複数の有機EL素子OLEDから光透過性絶縁膜26を介してそれぞれ離され各々対応有機EL素子OLEDに反射光を向かわせる複数の凹部15を含む。 - 特許庁