SILICON SINGLE CRYSTAL-PULLING MACHINE シリコン単結晶引上げ装置 - 特許庁
CARTRIDGE INSERTING AND PULLING OUT DEVICE, CARTRIDGE TRANSPORTING MECHANISM PROVIDED WITH THE CARTRIDGE INSERTING AND PULLING OUT DEVICE, AND CARTRIDGE INSERTING AND PULLING OUT METHOD カートリッジ挿抜装置、該カートリッジ挿抜装置を備えたカートリッジ移送機構及びカートリッジ挿抜方法 - 特許庁
SILICON SINGLE CRYSTAL PULLING DEVICE シリコン単結晶引上げ装置 - 特許庁
SINGLE CRYSTAL PULLING APPARATUS, SILICON SINGLE CRYSTAL PULLING APPARATUS AND SILICON SINGLE CRYSTAL PULLING METHOD 単結晶引上げ装置、シリコン単結晶引上げ装置およびシリコン単結晶引上げ方法 - 特許庁
SILICON SINGLE CRYSTAL PULLING EQUIPMENT AND SILICON SINGLE CRYSTAL PULLING METHOD USING THE SAME シリコン単結晶の引上げ装置及びその引上げ方法 - 特許庁
SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL PULLING PROCESS AND PULLING APPARATUS THEREFOR 半導体単結晶の引上げ方法及びその引上げ装置 - 特許庁
CRUCIBLE FOR SINGLE CRYSTAL PULLING APPARATUS, AND SINGLE CRYSTAL PULLING APPARATUS 単結晶引上装置用坩堝及び単結晶引上装置 - 特許庁