「sample surface」を含む例文一覧(2601)
＜前へ 1 2 .... 35 36 37 38 39 40 41 42 43 .... 52 53 次へ＞- To provide a particle-size measuring device, a particle-size measuring method and a computer program for measuring particle size, based on fluorescent X-ray spectra of the particles on the surface of a sample.
本発明は、試料表面の粒子の蛍光Ｘ線スペクトルに基づいて粒子径を測定する粒子径測定装置、粒子径測定方法及びコンピュータプログラムを提供する。 - 特許庁 - The adjusting liquid may be a special liquid for adjusting the liquidity (viscosity, surface tension, etc.) of a liquid to be stirred other than a diluting liquid used in the dilution of the sample, a physiologically saline solution, etc.
調整液は、サンプルの希釈に用いられる希釈液，生理的食塩水などの他、被攪拌液の液性（粘度，表面張力など）を調整するような特殊な液体であっても良い。 - 特許庁 - In this electrophoresis method, the whole surface of an electrophoresis plate 10 in which a tubular electrophoresis path is two-dimensionally formed is irradiated with excitation light, and the image of fluorescence or light emission from a sample is picked up by a two-dimensional sensor 35.
２次元的に管状の電気泳動路を形成した電気泳動板１０の全面に励起光を照射し、試料からの蛍光または発光を２次元センサーで撮像する。 - 特許庁 - To provide a glow discharge emission spectrophotometer and a method capable of accurate analysis, even when the thickness of a thin film is extremely thin relative to the sample having the thin film on a substrate, where the surface of the substrate or the thin film has a mirror-surface shape.
基板の上に薄膜を有し、かつ基板や薄膜の表面が鏡面状の試料について、薄膜の厚さが極めて薄い場合であっても、正確に分析ができるグロー放電発光分光分析装置および方法を提供する。 - 特許庁 - Also, the sample preparation method for the charged particle device includes a step of forming fine irregularities on the surface of the substrate and a step of attaching metal fine particles on the surface of the substrate by sputtering.
また、荷電粒子線装置の試料作成方法であって、基板表面に微細な凹凸を形成するステップと、前記基板表面にスパッタにより金属微粒子を付着させるステップと、を有することを特徴とする試料作成方法を提供する。 - 特許庁 - The reflecting surface of the mirror 18 comprises a combination of a plurality of flat reflecting surfaces and the center points of the respective flat reflecting surfaces are present on an equiangular spiral having the center on the surface of the sample 26 within the plane parallel to a diffraction plane.
ミラー１８の反射面は複数の平坦反射面の組み合わせからなり、回折平面に平行な平面内において、各平坦反射面の中心点は、試料２６の表面上に中心を有する等角螺旋の上にある。 - 特許庁 - To provide a new method for surface defect detection and its device which can quantitatively measure a defect in atom size generated on the surface and interface of a sample in a manufacturing process for semiconductor devices or the like in real time with high precision.
半導体デバイスの製造プロセス等において試料の表面および界面に発生する原子サイズの欠陥を実時間で、且つ高精度で定量測定することのできる、新しい表面欠陥検出方法およびその装置を提供する。 - 特許庁 - Thereby, since the lens strength of the medium lens 8 and the lens strength of the diffraction lens 9 are required to be individually adjusted when the sample 5 is replaced, positions of the diffraction image surface 22 and the medium image surface 33 can be efficiently corrected.
これにより、試料５を交換したときには、中間レンズ８のレンズ強度と回折レンズ９のレンズ強度を個別に調整すればよいので、回折像面２２と中間像面３３の位置修正を効率良く行うことができる。 - 特許庁 - To provide a method for collecting cathode luminescence which simultaneously collects the outgoing cathode luminescence from a radiated sample surface by electron beam and the outgoing cathode luminescence from an opposite surface by using equivalent sensitivity.
カソードルミネッセンスの集光方法に関し、電子線を照射した試料面側から出射されるカソードルミネッセンスと、電子線を照射した試料面側とは逆の試料面側から出射するカソードルミネッセンスを同時に同等の感度で集光する。 - 特許庁 - While the sample stock solution injected from a liquid injection section 22 of the rear end 20 is transferred along the inner peripheral surface of the hollow fiber membrane 40 by the effect of centrifugal force, the stock solution permeates this membrane 40 and is dropped to the inside surface of the front end (wetted section) 30.
後端部２０の注液部２２から注入された試料原液は、遠心力の作用により中空糸膜４０の内周面に沿って移送されつつ同膜４０を透過して先端部（受液部）３０の内面に滴下される。 - 特許庁 - A focusing signal processing section 17 detects that a surface of the observation sample S is positioned at the focusing position of the objective lens 2 based on AF light that is emitted from a reference light source 3, is reflected on the surface, and comes via the objective lens 2.
合焦信号処理部１７は、対物レンズ２の合焦位置に観察試料Ｓの表面が位置したことの検出を、基準光源３から発せられて該表面で反射して対物レンズ２を介して到来するＡＦ光に基づいて行う。 - 特許庁 - A toroidal member 3 has a taper inner diameter part 8 having the inner circumferential surface inscribed on the outer circumferential surface of a taper diameter part 1e of the sample container 1, and the taper inner diameter part 8 has the second taper angle β(°) which is different from the first taper angle α(°) of the plug member 2.
円環部材３は、試料容器１のテーパ径部１ｅの外周面に内接する内周面を持つテーパ内径部８を有し、該テーパ内径部８は、栓部材２の第１のテーパ角度α（°）と異なる第２のテーパ角度β（°）を持つ。 - 特許庁 - In an optical system evaluating sample 10 used to evaluate an optical system, particles 12 exist on a surface of a transparent base board 11, and a film 13 including a light reagent is formed on the surface of the transparent base board 11 by covering the particles 12.
光学系の評価に用いられる光学系評価用試料１０は、透明基板１１の表面上に粒子１２が存在し、光試薬を含む膜１３が透明基板１１の表面上に粒子１２を覆って形成されたものである。 - 特許庁 - A thin-film layer of a photoelectric transducing material is formed on the back side of a transparent film 12 is which a lattice 11 is stuck to its surface side, the sample slide is created, and samples 2 are stuck to parts on the surface of the transparent film 12 between the parts in the lattice 11 so as to be used.
表側に格子１１を付着させた透明膜１２の裏側に光電変換材料の薄膜層を形成して試料スライドを作成し、試料２を格子１１の間の透明膜１２表面に付着して使用するようにする。 - 特許庁 - Between dense area set on surface of one-end side of the sample object 2 and roughness area set on surface of the other-end side, not only pattern density and color shading vary, but also moire pattern of gradation in which interval between patterns varies is produced.
つまり、見本体２の一端側表面に設定された密領域と、他端側表面に設定された粗領域との間で、模様密度及び色の濃度が変化するだけでなく、模様の間隔が変化するグラデーションのモアレ模様が現出される。 - 特許庁 - To obtain a scanning probe microscope capable of expanding a measuring range in the measurement of a sample of which the surface irregularities are severe and capable of measuring accurate physical characteristics not affected by the unstable deformation of the leading end of the laser reflecting surface of a cantilever.
表面凹凸の激しい試料の測定において測定範囲を広げること および カンチレバーのレーザ反射面先端の不安定変形の影響の無い正確な物理特性を測定可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - A surface analyzing apparatus includes a means for irradiating a sample surface with two types of ions having different sizes; an instrument for measuring mass spectra of ions emitted from the sample surface by a time-of-flight secondary ion mass spectrometer; and an information processing device for outputting the difference between two mass spectra measured by irradiation with different types of ions from the measured mass spectra.
試料表面にサイズの異なる少なくとも２種類のイオンをそれぞれ照射する手段、前記試料表面から放出されるイオンの質量スペクトルを飛行時間型二次イオン質量分析器により計測する計測器、および計測された質量スペクトルから異なる種類のイオン照射で計測された２つの質量スペクトルの差を出力する情報処理装置を有することを特徴とする表面解析装置。 - 特許庁 - In the method for measuring the temperature dependence of the dielectric characteristics employs the means for arranging a gap between a detection electrode and the surface of the sample, adjusting the dielectric liquid put in the gap to a desired temperature, and measuring the dielectric characteristics of the surface of the sample being in contact with the dielectric liquid having the adjusted temperature.
上記課題を解決するために、誘電特性の温度依存性測定方法は、 検出用電極と試料表面との間に間隙を配し、その間隙に充填される誘電性液体を所望の温度に調整し、当該調整温度の前記誘電性液体の接する試料表面の誘電特性を測定することを特徴とする手段を採用した。 - 特許庁 - When performing mass spectrometry, the material S to be analyzed for the mass spectrometry included in the sample is ionized and desorbed, by utilizing an electric field on the surface 1s of the first reflector 10 enhanced by resonance generated in the optical resonator by irradiating laser light L to a sample in contact with the surface 1s of the first reflector 10.
質量分析を行う際には、第１の反射体１０の表面１ｓに接触された試料に対してレーザ光Ｌを照射することにより、光共振体内に生じる共振によって増強された第１の反射体１０の表面１ｓにおける電場を利用して、試料中に含まれる質量分析の被分析物質Ｓをイオン化させると共に脱離させる。 - 特許庁 - The control section converts an orthonormal function system approximating a surface of the sample by linear combination into a new orthonormal function system by the Gram-Schmidt process by using an internal product defined by expression 1, and then defines, as an approximate curved surface of the sample, linear combination of a function group based on, as coefficients, projections calculated for each of functions of the new orthonormal function system.
制御部は、試料の表面を線形結合により近似する正規直交関数系を、次式で定義される内積を用いてグラム・シュミット法により新たな正規直交関数系に変換し、新たな正規直交関数系の各関数に対して算出した射影を係数とした関数群の線形結合を試料の表面の近似曲面とする。 - 特許庁 - Optical scanning equipment based on a confocal optical system inspects the surface of a wafer to be inspected as a sample, identifies the defects or contaminations on the sample surface detected by the inspection according to its type, outputs and displays the position of the identified defects or contaminations on a wafer screen corresponding to the specimen by a symbol indicative of the type of the defects or contaminations.
検査対象ウエーハである試料の表面をコンフォーカル光学系による光学的走査装置によって検査し、該検査によって検出された該試料表面上の欠陥や異物をその種類別に識別し、該識別された欠陥や異物の位置を各欠陥や異物の種類別を示す記号によって該試料に対応するウエーハ画面上に出力表示するようにした。 - 特許庁 - The calibrated sample, which has a twining crystal structure having a serrated uneven cross section in its (110) surface, is manufactured by annealing a La_2CuO_4 single crystal, of which the (110) surface is formed into a mirror surface by polishing, at 230-500°C and subsequently cooling the annealed crystal gradually.
この出願の発明による校正試料の作製方法は、（１１０）面を鏡面研磨したＬａ_2ＣｕＯ_4単結晶を２３０から５００℃の温度でアニールした後、徐冷することにより、（１１０）面に断面が鋸歯状の凹凸を有する双晶構造の校正試料を作製することを特徴とする。 - 特許庁 - The sheet resistance in the wafer or a sample 4 can be inspected without penetrating a surface 18 and damaging the surface 18 by allowing a plurality of probes 10, 12 that do not form any oxides or form a conductive oxide and are arranged at an interval to come into contact with the surface 18 of the wafer 4.
ウエハまたは試料４のシート抵抗検査は、酸化物を形成しないか又は導電性酸化物を形成する、間隔をおいて配置された複数の接触子１０、１２をウエハ４の表面１８に接触させることにより、表面１８に侵入せずに、それを損傷せずに行なうことができる。 - 特許庁 - Since a metal thin film 17 is formed on the outer interface 19 of the clad, a surface plasmon phenomenon is excited, a light entering at the predetermined incident angle influenced by an atmosphere on a surface of the metal thin film 17 and depending on a characteristic of the sample is used for excitation of the surface plasmon phenomenon, and light intensity is reduced.
クラッド外境界面１９には金属薄膜１７が形成されているため、これにより表面プラズモン現象が励起され、金属薄膜１７の表面の雰囲気に影響された、試料の特性に依存した所定の入射角の光が表面プラズモン現象の励起に使われ、光の強度が減少される。 - 特許庁 - A large number of sample molecules 1 of measuring objects is dispersedely arranged on a surface 10S of a substrate 10 with a large number of metal fine particles 5 dispersed on the surface, and a plurality of small areas U1, U2 or the like narrower than a prescribed area W is extracted from the prescribed area W on the surface 10S of the substrate 10.
多数の金属微粒子５が表面に分散配置されてなる基板１０の表面１０Ｓ上に測定対象となる多数の試料分子１を分散して配し、基板表面１０Ｓ上の所定の領域Ｗから上記所定の領域Ｗより狭い複数の小領域Ｕ１、Ｕ２・・・を抽出する。 - 特許庁 - A plasma processing device, which performs surface treatment for a workpiece sample by ionizing the raw gas inside a vacuum container with an evacuation means, a raw gas supply means, a processing sample installation means and a high frequency power application means to a workpiece sample, is constituted to control the temperature of a workpiece substrate to a temperature pattern which is preset according to proceeding of treatment.
排気手段と、原料ガス供給手段と、被加工試料設置手段と、被加工試料への高周波電力印加手段を有する真空容器内で、前記原料ガスをプラズマ化し、被加工試料の表面処理を行うプラズマ処理装置において、被処理基板の温度を処理の進行に従って予め設定された温度パターンに制御するよう構成したことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 特許庁 - Under the condition where the sample measuring surface of a dielectric resonator 20 is approached to a standard sample having a known dielectric constant with a fixed space D, the dielectric constant and thickness of the standard sample are properly changed, and the change of resonance frequency of the dielectric resonator 20 to the respective dielectric constant and thickness is measured to gain a calibration curve of the change of resonance frequency according to the dielectric constant and thickness.
誘電体共振器２０の試料測定面を誘電率が既知の標準試料に一定間隔Ｄをあけて接近させた一定の条件において、その標準試料の誘電率と厚みを適宜変更し、それぞれの誘電率、厚みに対するその誘電体共振器２０の共振周波数の変化を測定し、誘電率、厚みに応じた共振周波数の変化の検量線を取得する。 - 特許庁 - This new topograph measuring method and its device are characterized by detecting the electrostatic force working between the cantilever and the sample, and feeding back a cantilever bias potential at which the electrostatic force becomes minimum to the cantilever, in the noncontact type atomic force microscope for scanning the sample surface by the cantilever to execute measurement, while maintaining an attraction gradient between the cantilever and the sample constant.
本発明による新トポグラフ測定方法およびその装置は、カンチレバーと試料間の引力勾配を一定に維持しながらカンチレバーで試料表面を走査することにより計測する非接触型原子間力顕微鏡において、カンチレバーと試料間に作用する静電気力を検出し、該静電気力が最小となるカンチレバーバイアス電位をカンチレバーにフィードバックすることを特徴とする。 - 特許庁 - In the second washing step thereafter, the dispensing nozzle can be easily washed because the outer surface of the dispensing nozzle has been washed beforehand in the first washing step and the inner surface of the dispensing nozzle holding the sample is washed in a state almost without contact with air.
その後の第二洗浄工程では、第一洗浄工程で分注ノズルの外壁面が予め洗浄され、かつ空気に触れ難い状態で検体を保持する分注ノズルの内壁面を洗浄するので分注ノズルの洗浄を容易に行える。 - 特許庁 - The gloss color sample of a face image is a chromatic color gloss face image which is obtained by adding a chromatic color component as its surface reflected light component to the face image determined as the reference by image processing and a plurality of surface reflected light components different in hues are presented.
顔画像の光沢色サンプルは、画像処理により、基準とする顔画像にその表面反射光成分として有彩色成分を加えた有彩色光沢顔画像であって表面反射光成分の色相の異なるものが複数個提示されてなる。 - 特許庁 - When a voltage is applied between these electrodes 30, 40 and a hydrogen atom is permeated into the test sample electrode 30 to reach to the above second surface, the hydrogen is ionized by a current flowing between the second surface positive-charged and the electrodes.
これらの電極３０，４０の間に電圧を印加し、水素原子が試験標本電極３０に浸透して前記第２の面に達すると、正に帯電した第２の表面と前記電極間を流れる電流によって前記水素原子がイオン化されるようにする。 - 特許庁 - To provide a surface analysis method, for detecting even an adhering substance which adheres to the surface of an analysis object sample nonuniformly or in a trace amount, and thereby cannot be detected conventionally, because the adhering substance is lower than the lowest limit to be detected.
本発明は、分析対象試料表面に不均一もしくは微量な状態で付着し、従来、検出下限以下で検出できなかったような付着物質であっても、検出可能とする表面分析方法を提供することを課題とする。 - 特許庁 - Next, the humidity-adjusting pin 14 of the measuring cell 8 is loosened to expose the surface of the resin base material 1 of the sample 7 to a high-humidity atmosphere and the surface shape of the same place as a dry state measured first by the atomic force microscope 20 is measured, after a fixed interval.
次に、測定セル８の湿度調整ピン１４を緩め、試料７の樹脂基材１の表面を高湿雰囲気に晒し、一定時間後に原子間力顕微鏡２０により始めに測定した乾燥状態と同じ箇所の表面形状を測定する。 - 特許庁 - To provide an organic synthesis device which is capable of allowing the center axis of a reaction vessel to coincide with the center of the rotation of a rotation means even if there is a gap between the outer peripheral surface and the inner peripheral surface when the sample is charged.
収容された際に、反応容器の外周面と反応容器収容部の内周面との間に隙間が空いてしまっても、反応容器の中心軸を回転手段の回転の中心に一致させることが可能な有機合成装置を提供する。 - 特許庁 - A difference of the radium of curvature is found as a relative value between the processed spherical surface shape of the optical element measured in this way and a spherical surface shape of the sample tool, and the lens, etc., is processed by using the tool having a radium of curvature from which the above difference is deducted.
このようにして測定された光学素子の加工球面形状と、サンプル工具の球面形状との間の相関値として曲率半径差分を求めて、これを差し引いた曲率半径を有する工具を用いてレンズ等を加工する。 - 特許庁 - When emitting light onto the surface of a measurement sample 10 during two-dimensional scanning, the light receiving system 180 of the scanning laser microscope receives laser light which is reflected on the surface and reaches through an objective lens 150 and a confocal diaphragm 170, and outputs information on the quantity of light.
受光系１８０は、二次元走査させながら測定サンプル１０の表面に照射したときに該表面で反射して対物レンズ１５０及び共焦点絞り１７０を通過して到来するレーザ光を受光して、その光量の情報を出力する。 - 特許庁 - Therefore, even if pollutant is generated from the sample by electron beam irradiation, the pollutant is shielded by the protective thin film 27 and can not enter the inside of the collimator 13, to thereby keep clean the reflecting surface of a poly-capillary 25 and the reflecting surface of the collimator body 20.
このため、電子線照射によって試料から汚染物質が発生したとしても、その汚染物質は、保護薄膜２７で遮られてコリメータ１３の内部には入り込まず、ポリキャピラリ２５の反射面とコリメータ本体２０の反射面は清浄に保たれる。 - 特許庁 - The photoirradiation type thermoelectric measuring instrument is constituted in such a way that two relay electrode layers 24 and 26 are formed on the surface of an aluminum nitride substrate 12, and a GaAs sample 14 is stuck to the upper surface of the first relay electrode layer 24 through an adhesive layer 18 composed of indium having good thermal conductivity.
窒化アルミニウム製の基板１２には二つの中継電極層２４、２６が形成されていて、第１中継電極層２４の上には、熱伝導が良好なインジウムからなる接着層１８を介して、ＧａＡｓ試料１４が接着されている。 - 特許庁 - To provide a method for separating and purifying a nucleic acid, comprising making a solid phase surface to adsorb a sample solution containing RNA and plasmid DNA and then making the solid phase surface to desorb the nucleic acid through a washing process and the like, by which the highly pure plasmid DNA can quickly be obtained in a high yield.
ＲＮＡとプラスミドＤＮＡを含む試料溶液を固相表面に吸着させた後、洗浄等を経て脱着させて核酸を分離精製する方法において、迅速、高収量、高純度なプラスミドＤＮＡを得る方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for evaluating easily and quickly a film thickness and a distribution thereof of a thin film existing on a material surface, in particular, the method for evaluating the film thickness in a micro-part of the thin film existing on the material surface, and the film thickness distribution in a sample face.
簡便で迅速に、材料表面に存在する薄膜の膜厚及びその分布を評価する方法、特に材料表面に存在する薄膜の微小部の膜厚および、試料面内での膜厚の分布を評価する方法を提供する。 - 特許庁 - A solid bar-like light guide made of, for example, an elastomer resin for illuminating a transparent panel that is a display part of sheet-like film sample by releasing a light introduced from its end from the circumferential surface the transparent panel is arranged in a ring shape along the circumference of the film sample held on the transparent panel.
シート状のフィルム見本の展示部をなす透明パネルに、その端部から導入された光を外周面から放出して前記透明パネルをイルミネーション照明する為の、例えばエストラマー樹脂製の中実棒状の導光体を、該透明パネルに保持したフィルム見本の外周に沿ってリング状に配設する。 - 特許庁 - The controller 37 has a laser control part for controlling a sample stand driving part 7 so as to match the focus of the laser beam with the surface of the sample 2 on the basis of the measured value of the laser displacement meter 18 and an analyzing part for inputting the detected value of the element detecting unit 4 to perform predetermined analyzing processing.
コントローラ３７は、レーザー変位計１８の測定値に基づいて、試料２の表面に対してレーザー光のフォーカスを合わせるように試料台駆動部７を制御するレーザー制御部と、元素検出ユニット４の検出値を入力し、所定の分析処理を行う分析部とを有している。 - 特許庁 - This element analyzer includes: a plasma generation means 2 for irradiating pulse laser light 4 onto the surface of an analysis object sample 1, and vaporizing and exciting the sample 1; and a fluorescence condensing lens 9 for condensing fluorescence 8 emitted from a determination object element in the generated plasma 7.
本発明による元素分析装置は、パルスレーザ光４を分析対象試料１の表面に照射してこの試料１を気化・励起させるプラズマ生成手段２と、生成したプラズマ７中の定量対象元素から放出する蛍光８を集光する蛍光集光レンズ９とを備えている。 - 特許庁 - This standard sample for the spark emission spectral analyzer having a nonmetal particle dispersion layer 2 formed by dispersing nonmetal particles on the surface of a sample body 1 comprising a metal has a characteristic wherein a density distribution of the nonmetal particles dispersed in the nonmetal particle dispersion layer 2 is 100-25,000/cm^3.
金属からなる試料本体１の表面に非金属粒子を分散せしめた非金属粒子分散層２を有するスパーク発光分光分析装置用標準試料において、非金属粒子分散層２に分散する非金属粒子の密度分布を１００〜２５０００個／ｃｍ^3としたことを特徴とする。 - 特許庁 - To provide a scattered ion analyzer making it possible to analyze a sample with high resolution by generating a magnetic field parallel with an incident ion beam and equipped with a secondary electron detector capable of exactly detecting secondary electrons produced on the surface of the sample by incidence of the ion beam.
入射するイオンビームと平行な磁場を発生させることにより高分解能な試料の分析を可能とするイオン散乱分析装置において，上記イオンビームの入射により上記試料の表面に生成される２次電子を正確に検出可能な２次電子検出器を備えるイオン散乱分析装置を提供すること。 - 特許庁 - To provide a scanning electromagnetic wave microscope capable of positioning a distance between a probe tip and a sample in response to necessary resolution and physical quantity measurement distributed at an optional distance from a sample surface, and carrying out resolution-selective scanning by constant distance scanning and high speed scanning of interaction by constant scanning.
本発明は、サンプル表面から任意距離に分布する物理量測定や必要な分解能に応じたプローブ先端部とサンプル間距離の位置決めが可能で、距離一定走査による分解能選択走査と、相互作用を一定走査による高速走査が行える走査型電磁波顕微鏡を得ることにある。 - 特許庁 - The sample preparation method for the time-of-flight secondary ion mass spectrometry includes processes of: forming a solution of the mass-axis calibration material; forming a solution of the fragmentation-suppressing substance; and spraying the two types of solutions to the sample surface through the use of nebulizer.
飛行時間型二次イオン質量分析のための試料作成方法であって、質量軸校正物質を溶液化する工程と、フラグメンテーション抑制物質を溶液化する工程と、ネブライザーを用いて前記二種の溶液を試料表面に噴霧する工程とを含むことを特徴とする試料作成方法である。 - 特許庁 - SYSTEM FOR MEASURING SURFACE CHARACTERISTICS HAVING FORM BIREFRINGENCE, METHOD FOR MEASURING CHARACTERISTIC SIZE HAVING FORM BIREFRINGENCE, APPARATUS FOR MEASURING CRITICAL DIMENSION ON ANISOTROPIC SAMPLE WITH HIGH LATERAL RESOLUTION, AND METHOD FOR OBTAINING CRITICAL DIMENSION ON SAMPLE WITH HIGH LATERAL RESOLUTION
形状複屈折を有する表面特徴を測定するためのシステムおよび形状複屈折を有する特徴サイズを測定するための方法および高い横方向分解能で異方性サンプル上でクリティカルディメンションを測定するための装置および高い横方向分解能でサンプルにおけるクリティカルディメンションを求めるための方法 - 特許庁 - Conventionally, processes for resist coating→exposure→the etching of the opening parts→anodizing treatment→the removal of a resist are required in order to form the spot like well for fixing the sample but, since one anodizing treatment process to the whole surface may be performed, this sample plate is advantageous from an aspect of a manufacturing process, a working time, and a process cost.
従来はサンプルを固着させるスポット状のウェルを形成するために、レジスト塗布→露光→開口部エッチング→アノーダイジング処理→レジスト除去などの工程が必要であったが、本発明では全面へのアノーダイジング処理１工程だけで済むため、作製工程や作業時間、製造コストの面で有利である。 - 特許庁 - The measured region and the measurement period are determined from a change in the intensity of the fluorescence emitted from the plasma 7 at each wavelength generated, by irradiating the sample 6 with the pulse laser light 3 to the distance from the surface of the sample 6, and a change in the pulse laser light 3 with respect to the elapsed time, after it is irradiated.
計測領域および計測期間は、パルスレーザー光３が試料６に照射されて発生するプラズマ７から放出される蛍光の波長ごとの強度の試料６の表面からの距離に対する変化およびパルスレーザー光３の照射後の経過時間に対する変化に基づいて決定する。 - 特許庁
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