「shape pattern」を含む例文一覧(3752)
＜前へ 1 2 .... 26 27 28 29 30 31 32 33 34 .... 75 76 次へ＞- To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition which improves a pattern shape and exposure latitude and reduces bridge defects, and a pattern forming method using the same.
パターン形状及び露光ラチチュード（Exposure Latitude）の改善とブリッジ欠陥の低減との両立を可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition which improves exposure latitude, depth of focus and pattern shape and to suppress standing waves, and a pattern forming method using the same.
露光ラチチュード、フォーカス余裕度及びパターン形状の改善、並びに、定在波の抑制を可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a screen printer with small fluctuation in a pattern shape by which very fine and high aspect ratio pattern can be formed, a screen printing method and a manufacturing method of electromagnetic wave shield plate using the same.
パターン形状のばらつきが少なく、かつ非常に微細かつ高アスペクト比なパターンが形成可能なスクリーン印刷機並びにそれを用いたスクリーン印刷方法及び電磁波シールド板の製造方法を提供すること。 - 特許庁 - Then, in the formation of the mask pattern 4, fine particles having a nanosize particle diameter are scattered for distributing uniformly, and the particle diameter of the fine particle, a distribution state, or the like is adjusted in relation to the shape of the mask pattern 4.
そして、そのマスクパターン４の形成に際して、粒径がナノサイズの微粒子を散布して一様に分布させるとともに、マスクパターン４の形状十の関係でその微粒子の粒径や分布状況等を調整する。 - 特許庁 - The mask pattern 36 is removed and a mask pattern 37 is formed on the surface of the substrate 21 so that a substrate processing area including the concave 27 may be formed into a prescribed shape.
その後に、上記凹部形成用マスクパターン３６を除去し、然る後に、凹部２７を含む基板加工領域を設定の形状に加工するための成形用マスクパターン３７を半導体基板２１の表面に形成する。 - 特許庁 - To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition for forming a pattern excellent in sensitivity, resolution and roughness characteristics and having a good shape, and to provide a method for forming a pattern using the composition.
感度、解像度及びラフネス特性に優れ且つ良好な形状のパターンを形成可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びにそれを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a resist protective film material for immersion lithography which is excellent in water repellency and water sliding property, hardly causes defects in development and provides a good shape of resist pattern after development, and to provide a pattern forming method using the material.
撥水性と滑水性に優れ、現像欠陥が少なく、現像後のレジストパターン形状が良好な液浸リソグラフィー用レジスト保護膜材料、更にはこの材料を用いたパターン形成方法の提供。 - 特許庁 - To provide an actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition excellent in sensitivity, resolution, roughness properties, pattern shape, temporal stability and outgassing properties, and to provide a method of forming a pattern using the composition.
感度、解像性、ラフネス特性、パターン形状、経時安定性及びアウトガス特性に優れた感活性光線性または感放射線性樹脂組成物及び該組成物を用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an actinic-ray- or radiation-sensitive resin composition which has excellent resolution and I-D bias and which allows a pattern of a favorable shape to be formed, and to provide a method of forming a pattern using the composition.
解像力及び疎密特性に優れ且つ良好な形状のパターンを形成可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びにそれを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a template having a fine pattern for forming a photo-curing resin, equipped with light transmittance, mold release characteristics, durability, mechanical strength and shape stability and also including dimensional precision of the fine pattern.
光透過性、離型性、耐久性、機械的強度、形状安定性を備え、かつ微細パターンの寸法精度を備える、光硬化性樹脂を成形するための微細パターンを有するテンプレートの製造方法の提供。 - 特許庁 - To improve shape accuracy and positional accuracy of a pattern to be formed and to increase the service life of a sheet plate for transfer in the sheet plate for transfer used when a fine pattern is formed on a base plate.
基板上に微細なパターンを形成する際に使用される転写用シート版において、形成されるパターンの形状精度及び位置精度を改善するとともに、転写用シート版の寿命の増大を図る。 - 特許庁 - In another case where the die forms one or more straight lines or curves, its pattern is press molded on the metal sheet together with the concavo-convex patterns of figure edges and inner faces, and connected in a belt shape with the pattern side front faced.
或は一本以上の直線や曲線を形成する型の場合は、形状辺や内面の凹凸模様と共に金属板にその模様をプレス成形して、その面が表面になるようにベルト状に接続する。 - 特許庁 - On a polysilicon film 4 on a semiconductor substrate 1, a resist pattern 5a of a line shape is formed in a memory cell region S, and a dummy resist pattern 5b is formed on a region P excepting the memory cell region S.
半導体基板１上のポリシリコン膜４上において、メモリセル領域Ｓではライン状のレジストパターン５ａが形成され、メモリセル領域Ｓ以外の領域Ｐではダミーのレジストパターン５ｂが形成される。 - 特許庁 - The surface shape of the transparent tabular body 3 is evaluated by image analysis using the determined stripe pattern 1 and only the reflected image by the surface of the transparent tabular body 3 of the stripe pattern 1.
その後、決定されたストライプパターン１を使用して、ストライプパターン１の透明板状体３の表面による反射像のみを用いて画像解析によって透明板状体３の表面形状を評価する。 - 特許庁 - To provide a method of processing a glass substrate by which a pattern faithful to a shape pattern of a photomask can be provided in a thin glass substrate which deforms when provided with a film used as etching mask.
エッチングマスクとなる膜を設けて変形が生じる薄いガラス基板に対して、フォトマスクが有する形状パターンに忠実なパターンをガラス基板に設けることができるガラス基板の加工方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a pattern printing film, with which a thermal pressure bonding with a favorable yield can be realized at the giving of a pattern on a resin base material sheet under the condition that a shape has a favorable accuracy and neither wrinkle nor poor adhesion nor the like develops.
樹脂基材シート上に絵柄を付与する際に、形状精度良く、しかも、しわや密着不良などの発生がなく、歩留まり良く熱圧着することができる絵柄印刷フィルムを提供するものである。 - 特許庁 - To make small-sized a lighting system for an optical shape measuring instrument, and to improve the reliability without making an optical system large-sized even when a different pattern is irradiated by an irradiation optical system of a pattern irradiating method.
パターン照射法の照射光学系から異なるパターンを照射するようにしても、光学系が大きくならないようにして、光学的形状測定装置の照明装置の小型化と信頼性の向上を図る。 - 特許庁 - To provide a method for forming a fine structural pattern having an uneven shape uniformly and densely formed to a region wider than a conventional one, and a method for forming a matrix for the pattern.
本発明は、従来よりも広い領域に均一かつ高密度で形成された凹凸形状を有する微細構造パターンを形成する方法、及びその母型を形成する方法を提供することである。 - 特許庁 - Ultra-fine particles are jetted from a nozzle 11 and deposited on a substrate 3 via a plate-shaped mask 2 on which an opening pattern is formed, thereby forming on the substrate 3 the thin film having a shape corresponding to the opening pattern.
開口パターンが形成された平板状のマスク２を介して、ノズル１１から噴射された超微粒子を基板３上に堆積させ、前記開口パターンに対応する形状の薄膜を基板３上に成膜する。 - 特許庁 - Thereby, in a fourth interlayer insulation film formed above the data line 6a and the projecting pattern 81, only the parts corresponding to the data line 6a and the projecting pattern 81 are swollen and the other part has a nearly flat shape.
これにより、データ線６ａ及び凸パターン８１の上方に形成される第４層間絶縁膜は、データ線６ａ及び凸パターン８１の部分のみが盛り上がり、他の部分は略平らな形状を有する。 - 特許庁 - By a variable display means 30 arranging a variable display part in a matrix shape of 3×3, a pattern matching game of contents stopping and displaying each pattern after patterns are fluctuated and displayed for a prescribed period is executed.
３×３のマトリクス状に可変表示部を配置した可変表示手段３０で、所定期間に渡って図柄を変動表示してから各図柄を停止表示させるという内容の図柄合わせゲームが実行される。 - 特許庁 - To provide a method for drawing a figure, etc., for preparing a basic pattern by numerically converting the shape of the basic pattern adaptable to more persons in the tolerance of one size of clothes (e.g. No.9 size of JIS Standards) and drawing the figure.
衣服のワンサイズ（例えば、ＪＩＳ規格の９号サイズ等）の許容範囲の中でより多数の人に適合できる原型の形状を数値化して作図し、原型を作成する作図方法等を提供すること。 - 特許庁 - In the coil component, the cross section of a conductor pattern P1 is in a recessed and projected shape in the lamination direction of a ceramic layer C2 or the like, and recesses and projections 13 are formed along the extension direction of the conductor pattern P1.
コイル部品において、セラミック層Ｃ２等の積層方向において導体パターンＰ１の断面が凹凸状をなしていると共に、導体パターンＰ１の延在方向に沿って凹凸１３が形成されている。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method by which a manufacturing process of a stripe-like irregularity pattern of a flat panel display and a barrier rib of a plasma display panel can be shortened and the irregularity pattern and the barrier rib of an excellent shape can be formed.
フラットパネルディスプレイのストライプ状凹凸パターン及びプラズマディスプレイパネルのバリアリブ製造工程を短縮化でき、形状の優れた凹凸パターン及びバリアリブを形成できる製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a repairing method where, even in the case a pattern formed at an ALC (autoclaved lightweight concrete) panel has a complicated shape, when defective parts such as peeling, notching and holes are generated on the pattern, these defective parts are repaired by a simple operation.
ＡＬＣパネルに形成された模様が複雑な形状を有している場合であっても、この模様に剥離や切欠或いは穴等の欠損部が生じたとき、これらの欠損部を簡単な作業で補修する。 - 特許庁 - To provide an etchant composition for a copper-containing material, which prevents shape failure of circuit wiring of a fine pattern and generation of sludge, thereby to be able to form circuit wiring of a fine pattern not suffering from disconnection or short circuit.
微細パターンの回路配線の形状不良及びスラッジの発生を防止することにより、断線やショート等がない微細パターンの回路配線を形成し得る銅含有材料用エッチング剤組成物を提供する。 - 特許庁 - A pattern of the pattern light figure to be projected is adjusted by the irradiation light source part 5 operated by an irradiation light control part 5 corresponding to the determined surface shape, to thereby measure accurately various objects 6.
求めた表面形状に応じて照射光制御部５が照射光源部５により投影するパターン光像のパターンを調整することで多種の対象物６に対して精度よく測定を行うことができる。 - 特許庁 - The optical processing element has a pattern formed by arraying a plurality of metal fine structural bodies, having a diameter D<λ to incident light, having a wavelength λ of linear shape on a substrate at an interval d1<D as a unit array pattern.
波長λの入射光に対し、直径ＤがＤ＜λである金属微細構造体の複数個を基板上に間隔ｄ１＜Ｄで離隔して直線状に配列させたパターンを単位配列パターンとする。 - 特許庁 - The light source slit 150 has a slit pattern 154 and is mounted on a surface of the photodetector 130 where the photodetector array 132 is formed so that the slit pattern 154 overhangs in an eaves shape over the light source 110.
光源スリット１５０はスリットパターン１５４を有し、スリットパターン１５４が光源１１０の上にひさし状に張り出すように、フォトディテクターアレイ１３２が形成された光検出器１３０の面に取り付けられている。 - 特許庁 - On a processed surface of a base body 10 where a functional pattern in a desired shape is to be formed, a 1st film is formed of a liquid-repellent film 11 which repels the liquid material for forming the functional pattern.
所望形状の機能性パターンを形成しようとする基体１０の被処理面に、機能性パターンを形成するための液状材料に対して撥液性を有する撥液膜１１からなる第１膜を形成する。 - 特許庁 - Thus, the matching patterns in different featured spaces, that is, the shape of the object and the brightness(luminance) of the surrounding environment are individually provided so that the pattern matching precision can be improved, and that the learning arithmetic load of the matching pattern can be reduced.
対象物の形状と周囲環境の明るさ（輝度）という異なる特徴空間のマッチングパターンを個別に持つため、パターンマッチング精度が向上し、かつマッチングパターンの学習演算負荷も少なくなる。 - 特許庁 - To provide a technique relating to a data representation method which saves a manifold inherent surface shape at a permissible grade and is suitable for pattern classification, and a pattern identification method utilizing the above data representation method.
Ｍａｎｉｆｏｌｄ固有の表面形状を、許容できる程度に保存し、且つパターン分類に適した、データ表現方法、及びその表現方法を利用した、パターン識別方法に係る技術を提供すること。 - 特許庁 - To provide a stencil mask or an aperture, which has an extremely small corner R value of rectangle opening pattern, thereby forming a resist pattern in a good rectangular shape, and to provide its production method.
矩形開口パターンのコーナＲ値が非常に小さく、その結果として矩形性の良好な形状のレジストパターンを形成できるステンシルマスク又はアパーチャ、およびそれらの製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a magnetic recording medium which is manufactured in high yield by highly accurately forming all of a pattern shape which comprises magnetic layers by using a highly accurate resist pattern in which servo information having excellent reliability is written.
信頼性に優れたサーボ情報が書き込まれ、高精度のレジストパターンを用いて磁性層からなるパターン形状の全てを高精度で形成することにより歩留まりよく製造できる磁気記録媒体を提供する。 - 特許庁 - To provide a droplet discharging apparatus having improved controllability of the geometry of a pattern through control of the shape of droplets deposited with different timing, a pattern forming method, a method of manufacturing an electro-optical apparatus and the electro-optical apparatus obtained thereby.
異なるタイミングで着弾した液滴の形状を制御して、パターンの形状制御性を向上した液滴吐出装置、パターン形成方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for applying a filter process only reacting to the shape of a wiring pattern instead of the reaction to foreign substances, and detecting the disconnections of the wiring pattern and defects of width abnormality from a processed result.
異物に反応せずに、配線パターンの形状にのみ反応するフィルタ処理を適用し、その処理結果から配線パターンの断線または幅異常の欠陥を検出する方法を提供することにある。 - 特許庁 - To provide a positive photosensitive resin composition that is developed with an aqueous alkali solution and enables a pattern which is excellent in heat resistance and mechanical characteristics, while having a good shape, and to provide a method of forming a pattern and electronic components.
アルカリ水溶液で現像可能であり、耐熱性、機械特性に優れる良好な形状のパタ−ンが得られるポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品を提供する。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method of a template, which has light transmittance, mold releasability, durability, mechanical strength, shape stability and the dimensional precision of a fine pattern and also has the fine pattern for molding a photosetting resin.
光透過性、離型性、耐久性、機械的強度、形状安定性を備え、かつ微細パターンの寸法精度を備える、光硬化性樹脂を成形するための微細パターンを有するテンプレートの製造方法の提供。 - 特許庁 - On the other hand, while antenna sensitivity is deteriorated by forming the pattern 23 for shield, the length and shape of an antenna pattern 30 are advised so that it is possible to improve the antenna sensitivity, and to achieve the antenna sensitivity without any obstacle for practical use.
一方、シールド用パターン２３を形成することによりアンテナ感度が低下する分は、アンテナパターン３０の長さ及び形状を工夫してアンテナ感度を改善し、実用上支障のないアンテナ感度を実現した。 - 特許庁 - To provide a method of estimating the shape of a resist pattern formed by exposure using a charged particle beam exposure device which exactly simulates the resist pattern and does not take a so long time for calculation thereof.
荷電粒子線露光装置を使用して露光を行った場合に、形成されるレジストパターンを正確にシミュレートでき、かつ計算時間があまり長時間とならないレジストパターン形状の推定方法を提供する。 - 特許庁 - A check point where the necessity of the layer change of a return current route on a solid pattern should be decided is detected from a signal line and the shape of a pattern adjacent to the signal line by a check point detection means 110.
チェックポイント検出手段１１０により、信号線と信号線に隣接するべたパターンの形状から、べたパターン上のリターン電流ルートの層変更の必要性を判断すべきチェックポイントを検出する。 - 特許庁 - In order to form a machining pattern (electric conductive part 10a) corresponding to a shape of the dynamic pressure groove 11b on a surface of an electrode tool 1, a recessed part 10b having a depth D of 0.1 mm or higher is formed at an area other than the machining pattern.
電極工具１表面に、動圧溝１１ｂ形状に対応した加工パターン（導電部１０ａ）を形成するため、加工パターン以外の領域に深さＤが０．１ｍｍ以上の凹部１０ｂを形成する。 - 特許庁 - To easily form a decorative pattern for changing grain even in a product shape having a three-dimensional shape, for example, of an exterior material or the like of an industrial product, in a wood processing method and a processed product.
木材の加工方法および加工品において、例えば工業製品の外装材などの３次元形状を有する製品形状であっても、木目を変化させる装飾模様が容易に形成できるようにする。 - 特許庁 - To reduce resist development defects in development of a positive chemically amplifying photoresist film on a large diameter substrate of ≥8 in and to form a resist pattern of a good shape free from T-top shape or the like.
８インチ以上の大口径基板におけるポジ型の化学増幅型フォトレジスト膜現像時のレジスト現像欠陥を低減するとともに、Ｔ−トップ形状などのない良好な形状のレジストパターンを形成する。 - 特許庁 - To extract the scattering characteristic of a measuring object in addition, when the shape of its surface is measured in a measurement system for measuring a surface shape of a measuring object by the pattern projection method.
パターン投影法により測定対象物の表面形状を測定する測定システムにおいて、表面形状の測定時に、あわせて測定対象物の散乱特性を抽出することを目的とする。 - 特許庁 - This collector, for example when used in a wound electrode, preferably has the compression pattern part with a form such as a linear shape, or a curved shape which are consecutive or intermittent in the wound direction of the metal foil.
この集電体は、例えば巻回電極体に用いる場合、圧縮パターン部が金属箔の巻回方向に連続または断続する直線形状、曲線形状等の形状を有していることが好ましい。 - 特許庁 - To provide a radiation-sensitive resin composition of which cross-section plane is of inverse tapered shape, and which significantly excels in heat resistance, and is capable of forming a resist pattern that does not cause shape anomaly such as a protrusion on a side wall.
断面が逆テーパー状で、耐熱性が顕著に優れ、かつ側壁に突起などの形状異常の発生がないレジストパターンを形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。 - 特許庁 - In a polygonal metal mask 5, the aperture arranging directions of aperture groups 1p, 2p, 3p and 4p for a solder printing pattern of which the number corresponds at least to the number of the sides of polygonal shape of the mask are made parallel to the sides of the polygonal shape.
多角形をしたメタルマスク５において、少なくとも多角形の辺の数に対応した数のはんだ印刷パターン用の開口群１ｐ，２ｐ，３ｐ，４ｐの開口配列方向を、それぞれ多角形の辺に平行にした。 - 特許庁 - Two or more same shape electric conductive patterns A are arranged on a printed circuit board 11, conductive patterns B of the same shape as the electric conduction patterns A are formed in the position point symmetry to each of electric conductive pattern A.
プリント基板１１に同形の導電パターンＡを複数個配列して形成し、導電パターンＡのそれぞれに対して点対称になる位置に、導電パターンＡと同形の導電パターンＢを形成した。 - 特許庁 - The printed board for mounting components has printed pads formed, using at least either silk screen shape or resist pattern shape made different, depending on pin input-output characteristics of mounted circuit components.
部品が実装される印刷基板であって、印刷するパッド形状が、シルク形状、レジスト形状の少なくとも一つが実装される回路部品のピン入出力特性に依存して異なった形状で形成される。 - 特許庁
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