VACUUM TRANSFER DEVICE AND VACUUMPROCESSING DEVICE 真空搬送装置及び真空処理装置 - 特許庁
VACUUMPROCESSING APPARATUS AND VACUUM CARRIER 真空処理装置及び真空搬送装置 - 特許庁
VACUUM SEALING STRUCTURE AND VACUUMPROCESSING APPARATUS 真空シール構造および真空処理装置 - 特許庁
VACUUM PROCESSOR AND VACUUMPROCESSING METHOD 真空処理装置、及び真空処理方法 - 特許庁
VACUUM PROCESSOR, AND VACUUMPROCESSING SYSTEM 真空処理装置および真空処理システム - 特許庁
METHOD FOR VACUUMPROCESSING SUBSTRATE 基板の真空処理方法 - 特許庁
To provide a vacuumprocessing apparatus and a vacuumprocessing method for downsizing vacuum chamber and processing only a required part of a substrate. 真空チャンバを小型にするとともに、必要な部分だけの処理を可能とする。 - 特許庁
VACUUM CARRYING METHOD AND VACUUMPROCESSING SYSTEM 真空搬送方法および真空処理装置 - 特許庁